• 제목/요약/키워드: 입사파

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증기증착 공정 감시를 위한 반도체 레이저 흡수 분광학 (Semiconductor laser-based absorption spectroscopy for monitoring physical vapor deposition process)

  • 정의창;송규석;차형기
    • 한국진공학회지
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    • 제13권2호
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    • pp.59-64
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    • 2004
  • 반도체 레이저를 광원으로 사용하는 원자흡수분광 방법으로 금속증기의 증착 공정을 감시하는 연구를 수행하였다. 전자빔 가열 방식을 이용하여 gadolinium (Gd) 금속을 대량으로 증발시켰다. 파장 영역이 770-794 nm (중심파장 780 nm)인 반도체 레이저빔과 388-396 nm 영역의 제 2 고조파 빔을 진공용기에 입사시켜 증발되는 금속증기의 원자흡수 스펙트럼을 실시간으로 기록하였다. 흡수 스펙트럼을 분석하여 증기의 원자밀도를 구했다. 전자빔 출력을 변화시키면서 측정한 원자밀도를 수정 결정 모니터 장치를 사용하여 측정한 증착률과 비교하였다. 산업적으로 많이 사용되는 Ti 등의 증착 공정 감시에 이 실험에서 구현한 레이저 분광장치를 적용할 수 있다는 것을 제시하였다.

라디에이션 응력의 평가방법에 따른 평균수위변화 (Variation of Wave Set-Up/set-Down due to the Evaluation of Radiation Stress)

  • 김경호;차기욱;조재희;윤영호
    • 한국해안해양공학회지
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    • 제5권4호
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    • pp.263-270
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    • 1993
  • 일정 경사 해저면을 갖는 해안에 입사한 파가 천수변형을 거치고 쇄파하는 과정에서 발생하는 라디에이션 응력 및 평균수위 변화를 다루었다. 일반적으로 선형파동 이론에 의해 산정된 라디에이션 응력은 쇄파대내 및 그 부근에서 과대 평가되는데, 이것이 평균수위 변동의 계산치와 실험치와의 불일치의 원인이 된다. 본 연구에서는 Svendsen(1984)이 제안한 라디에이션 응력을 수정해서, 수심의 함수로 표시하고, 계산결과를 선형이론, 쇄파의 성분파고 스펙트럼에 기초한 Sawaragi(19梨) 방법 및 기왕의 실험데이타와 비교하였다. 수정된 Svendsen의 방법은 실험치와 비교적 양호한 일치를 보여 주었다.

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내수해역에서의 선박통항과 관련한 쯔나미 재난 경감을 위한 기초연구 (Basic Study on Tsunami Disaster Mitigation for Ship Navigation in Inland Sea)

  • 김규광;이중우;강석진;권소현;이형하
    • 한국항해항만학회:학술대회논문집
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    • 한국항해항만학회 2011년도 추계학술대회
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    • pp.69-70
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    • 2011
  • 최근 해저지진의 활동에 따른 극한 쯔나미 파랑이 해안도시와 항만에 어마어마한 손상을 가져오고 있다. 전세계에 걸쳐 특정해역에서는 강한 정진형태의 부진동과 처오름이 관측되고 있다. 한반도에서는 그렇게 빈번한 발생을 나타내고 있지는 않으나, 과거기록을 보면 동해에서 몇 개의 중요한 발생사례도 존재한다. 본 연구에서는 특히 만이나 내수해역에서 최근 해저지진의 발생 추이를 분석하고 이에 따른 쯔나미 발생 메카니즘을 해석하여 새롭게 내수역에서의 수치모델에의 적용을 통해 공진을 통한 쯔나미 파랑의 변환을 다루어 통항선박에 대한 안정성 확보에 기초자료를 제공하고자 하였다. 내수역에서의 쯔나미 파랑에 대한 반응을 정합성 및 웨이블릿 해석으로 탁월 주기와 지속시간에 대한 분석으로 파악하였으며, 쯔나미파의 입사와 독립적인 공진모드의 도출은 쯔나미 재해의 경감을 위한 시설물 및 재난지역을 식별하는데 도움을 주고, 나아가서는 장래 재난에 대한 적절한 대비에 기여할 수 있을 것으로 본다.

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메틸 라디칼과 산소 분자 반응에 관한 충격관 연구 (Shock Tube Study on the Reaction of Methyl Radical with Molecular Oxygen)

  • 신권수
    • 대한화학회지
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    • 제39권10호
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    • pp.769-775
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    • 1995
  • 메틸 라디칼과 산소 분자 사이의 반응 속도를 입사 충격파를 이용하여 1390부터 2250k 온도범위 및 1.5에서 5.3mol/$m^3$ 밀도 범위에서 213.9nm 파장에서의 메틸 라디칼의 흡수 스펙트럼을 측정하여 고찰하였다. 메틸 라디칼을 생성하기 위한 원천 분자로는 azomethane이 사용되었다. 실험 결과 $CH_3 + O_2{\rightarrow}CH_2O + OH$ 반응의 속도상수는 $k_2=1.35{\times}10^{12}\;exp( - 5900 K/T)\;cm^3 mol^{-1}s^{-1}$ 같이 표현할 수 있었다.

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접지된 유전체판 위에 위치한 스트립 격자에 TE편파된 평면파가 입사되는 경우에서의 bragg 및 off-bragg balzing 현상-실험 (Experiments of bragg and off-bragg blazing phenomena by strip grting over a grounded dielectric slab for TE polarization case)

  • 백운석;조웅희;이철훈;조영기;손현
    • 전자공학회논문지D
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    • 제34D권5호
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    • pp.1-6
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    • 1997
  • An analysis method for the electromagnetic scattering of a tE polarized plane wave from a periodic strip grating over a grounded dielectric slab is consisered from the viewpoint of reflectio ngraing problem. The strip gratings showing bragg and off-bragg balzing phenomena at the frequency of 10GHz are designed, respectively. The strip grating structure is implemented using aluminum plate (hround conductor), paraffin(dielectric material ; .xi.$_{\gamma}$=2.24) and copper (strip conductor ; 0.08mm thickness). The experimental results (reflection power) for bragg as well as off-bragg blazing phenomenon have been compared with the theoretical results and fairly good agreements between theory and experiment have been observed.ed.

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두께가 유한한 도체 스크린 내부 캐비티의 슬릿을 통한 전자파 공진 투과 (Electromagnetic Resonant Transmission through Slits in a Cavity inside Conducting Screen of Finite Thickness)

  • 이종익;조영기
    • 한국전자파학회논문지
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    • 제21권10호
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    • pp.1094-1102
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    • 2010
  • 본 논문에서는 두께가 유한한 도체 스크린 내부 캐비티의 슬릿을 통한 전자파 투과 문제를 슬릿 축에 대해 TE 편파된 평면파가 도체 스크린의 슬릿에 입사되는 경우에 대해 고려하였다. 모멘트 방법을 이용하여 슬릿을 통해 투과된 전력을 구하고, 슬릿의 등가 어드미턴스로부터 구성된 등가 회로 방법을 이용하여 계산된 것과 비교하였다. 공진조건 하에서 좁은 슬릿의 유효 슬릿 폭은 실제 슬릿 폭에 무관하게 $1/{\pi}$ 파장이 됨이 확인되었다. 제안된 구조에서의 공진 투과 현상을 캐비티 내부 슬릿의 등가 어드미턴스 변화와 관련하여 설명하였다.

평면파 입사시 신경회로망을 이용한 회절현상의 역모델링 (The Inverse Modeling of Diffraction Phenomena under Plane Wave Incidence using Neural Network)

  • 나희승
    • 대한기계학회논문집A
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    • 제24권5호
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    • pp.1175-1182
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    • 2000
  • Diffraction systematically causes error in acoustic measurements. Most probes are designed to reduce this phenomenon. On the contrary, this paper proposes a spherical probe a] lowing acoustic inten sity measurements in three dimensions to be made, which creates a diffracted field that is well-defined, thanks to analytic solution of diffraction phenomena. Six microphones are distributed on the surface of the sphere along three rectangular axes. Its measurement technique is not based on finite difference approximation, as is the case for the ID probe but on the analytic solution of diffraction phenomena. In fact, the success of sound source identification depends on the inverse models used to estimate inverse diffraction phenomena, which has nonlinear properties. In this paper, we propose the concept of nonlinear inverse diffraction modeling using a neural network and the idea of 3 dimensional sound source identification with better performances. A number of computer simulations are carried out in order to demonstrate the diffraction phenomena under various angles. Simulations for the inverse modeling of diffraction phenomena have been successfully conducted in showing the superiority of the neural network.

도체 스크린의 좁은 슬릿을 통한 전자파 최대 투과 현상 (Maximum Electromagnetic Transmission through a Narrow Slit in Conducting Screen)

  • 이종익;조영기
    • 한국전자파학회논문지
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    • 제19권8호
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    • pp.832-836
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    • 2008
  • 본 연구에서는 무한 도체판의 좁은 슬릿에 TM 편파된 평면파가 입사되는 경우의 전자기적 결합 문제를 고려 하였다. 등가 회로를 이용하여 공진된 슬릿을 통한 최대 전력 투과 메커니즘을 설명하는데 연구의 주안점을 두었다. 슬릿이 공진되었을 때 좁은 슬릿을 통해 투과된 전력은 슬릿 폭에 무관하게 유효 슬릿 폭 1/pi 파장에 도달되는 전력과 동일함을 보였다. 제안된 구조와 두꺼운 도체 스크린에서의 좁은 슬릿을 통한 최대 전력 투과 현상들의 유사성을 등가 회로의 관점에서 기술하였다. 또한, 공진이 일어났을 때 슬릿에 의한 산란 전력과 슬릿을 통한 투과 전력이 동일함을 확인하였다.

고출력 펨토초 레이저와 플라즈마의 상호작용을 통한 극고속 X선 펄스의 발생

  • 정상영;황석원;이해준
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2010년도 제39회 하계학술대회 초록집
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    • pp.38-38
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    • 2010
  • 낮은 세기의 레이저와 정지한 전자가 반응하면 전자는 레이저 전기장 세기에 비례하여 가속되며 레이저의 파장과 같은 파장의 빛을 낸다. 반면, 레이저의 세기가 일정 수준을 넘으면 전자의 속도가 빛의 속도에 가까워지게 되어 가속이 둔화되는 현상이 나타나며, 더 이상 전기장의 세기와 가속도가 비례하지 않게 된다. 이러한 비선형적인 전자의 운동이 레이저 기본 파장의 조화파(harmonic)를 발생시키는데, 이를 상대론적 비선형 톰슨 산란(relativistic nonlinear Thomson scattering, RNTS)이라고 한다. 단일 전자를 가정한 경우 RNTS에 의해 아토초($10^{-18}$ 초) 길이의 X선 펄스가 발생하는 것이 시뮬레이션 연구를 통해 잘 알려졌다. [1] 그러나, 실제 실험에서 적용할 수 있는 것은 단일 전자가 아니라 고체, 플라즈마, 전자 빔 등의 전자 덩어리이다. 전자덩어리를 구성하는 각각의 전자가 아토초 펄스를 발생시더라도 각각의 펄스 간에 결맞음(coherence) 조건이 맞지 않으면 아토초 펄스는 발생되지 않는다. 또한, 강한 세기의 펄스를 얻는데도 결맞음은 중요하다. 이 연구에서는 결맞음 조건으로 얇은 타깃에 대한 거울 반사 조건, 즉 레이저가 얇은 타깃에 입사되며 거울의 반사 조건을 만족하는 위치에 검출기(detector)를 위치시키는 방법을 제안하였다. 박막이 충분히 얇을 경우 각각의 전자에 대하여 레이저가 발사되어 타깃에 맞고 검출되기까지의 시간이 거의 일치하게 된다. 거울 반사 조건에 의한 아토초 펄스 발생은 particle-in-cell 방법을 통한 시뮬레이션으로 검증되었다. 결맞음 조건을 위한 얇은 타깃으로는 박막과 나노선 배열(nanowire array)을 사용하였다. 전자들 간의 쿨롱(Coulomb) 힘은 결맞음이 유지되는 것을 방해하는데, 박막에 비해 나노선 배열이 쿨롱 힘의 영향을 적게 받기 때문에 결맞음이 더 잘 유지된다.

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고차 포물형 파랑 근사식 (Higher Order Parabolic Wave Equations)

  • 서승남;이동영
    • 한국해안해양공학회지
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    • 제19권3호
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    • pp.205-212
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    • 2007
  • 파랑변형을 계산하기 위한 $Pad{\acute{e}}$ 근사에 의한 포물형 근사모형들을 분석하였다. 기존 포물형 근사모형 보다 정밀도가 높은 $Pad{\acute{e}}(2,2)$ 근사모형을 제시하였고 일정 경사면에 대한 수치실험을 통해 본 모형은 기존의 모형보다 입사각이 큰 경우에도 성공적으로 적용할 수 있음을 입증하였다.