• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2011.02a
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• pp.208-208
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• 2011

최근 유연기판 기술을 기반으로 대면적 roll to roll 공정기술 개발이 활발히 연구됨에 따라 이에 적용 가능한 대면적 플라즈마 소스의 중요성이 대두되고 있다. 대면적 플라즈마 처리 공정에 적용 가능한 소스 중 closed drift 타입의 선형 이온 소스는 제작 및 대면적화가 용이함에 따라 다양한 산업 분야에서 사용되고 있다. 선형 이온 소스를 다양한 표면처리 공정에 효과적으로 적용하기 위해서는 방전 특성에 대한 이해를 바탕으로 각 공정에 맞는 이온빔 전류 밀도, 방전 전압 등의 방전 인자 조절이 필수적이다. 본 연구에서는 표면 개질, 식각 및 박막 증착 등의 다양한 분야에 활용 가능한 선형 이온 소스를 개발하였으며, 선형 이온 소스를 통한 표면 식각 공정을 집중적으로 연구하였다. 전극 및 자기장 구조에 따른 선형 이온 소스 내 플라즈마 방전거동 분석을 위해 object oriented particle in cell(OOPIC) 전산모사를 수행하였으며, 이를 통해 식각 또는 증착 공정에 적합한 이온 소스의 구조 및 공정 조건을 예측하였다. 또한 OOPIC 전산모사를 통해 예측된 이온빔 인출 경향을 Faraday cup을 이용한 이온빔 전류 밀도 측정을 통해 확인하였다. 실리콘 기판 식각 공정의 경우, 이온 전류밀도 및 에너지에 따른 식각 거동 분석, 이온빔 입사각 변화에 따른 식각 특성 분석을 통해 최적 식각 공정 조건을 도출하였다. 특히, 이온빔 입사각 변화에 따른 식각률 변화는 일반적으로 알려진 입사각에 따른 스퍼터링율과 유사한 경향을 보였다. 이온빔 에너지 3 kV, Ar 압력 1.3 mTorr 조건에서 기판 정지 상태시 약 8.5 nm/s의 식각 속도를 얻었다.

• The Magazine for Energy Service Companies
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• s.37
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• pp.32-35
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• 2005

나용환(羅龍煥) 정보화시스템실장은 공단 내 SixSigma T/F팀장을 겸하고 있다. 지난 81년 입사하여 올해로 25년째를 맞고 있는 나실장은 공단 홈페이지 내 정보교류센터(IEC)를 운영하면서 쌍방향 정보교류를 구상한 끝에 공공기관으로서는 획기적인 것으로 평가되는 '캐쉬마일리지'제도를 시행하고 있다. 사이트 내에 ESCO투자제안방이 따로 있을 정도로 ESCO들에게 거는 기대가 크다고 말하는 나 실장에게 물었다.

• The Magazine for Energy Service Companies
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• s.20
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• pp.32-33
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• 2003

이승윤 과장은 고효율 인버터와 자동판매기, 직접부하제어시스템의 보급지원제도를 직접 만들어 운영하고 있는 수요관리실의 ''핵심인물''이다. 지난 85년 입사이후 10여년 동안 수요관리 실무를 담당해온 그는 합리적인 제도를 만드는 브레인으로서의 역할을 다하고 있다.

• Proceedings of the Korean Society of Coastal and Ocean Engineers Conference
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• 2002.08a
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• pp.31-34
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• 2002

Bragg 반사는 입사된 주기파의 진폭이 해저지형의 진폭의 2배가 될 때 파랑의 반사율이 공명현상(resonance)에 의해 매우 커지는 물리적 현상을 말한다. Bragg 반사를 응용할 경우, 외해로부터 입사되는 파랑 에너지의 상당량을 반사시킬 수 있으므로 항만이나 방파제 등의 해안구조물을 경제적으로 설계하고 보호할 수 있다. 또한, 해안선 보호 및 불필요한 침식이나 퇴적 등을 고려한 연안개발계획의 효율적 수립이 가능하다. (중략)

• Proceedings of the Korean Society of Coastal and Ocean Engineers Conference
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• 2003.08a
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• pp.245-248
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• 2003

Bragg반사는 입사된 주기파의 파장이 해저지형의 파장의 두 배가 될 때 공명현상(resonance)에 의해 반사율이 매우 커지는 물리 현상을 말한다. 즉, 외해에서 주기성을 띄는 파랑이 입사해 올 때, 특정형태의 해저지형을 이용하면 상당량의 에너지를 외해로 반사시킬 수 있다. 이와 같은 Bragg 반사개념을 수중방파제(submerged breakwater)에 응용하면 항만이나 방파제 등의 해안구조물을 경제적으로 설계 및 보호 할 수 있고, 해안선 보호 및 불필요한 퇴적 등을 고려한 연안개발계획의 효율적 수립이 가능하다. (중략)

• Proceedings of the Korean Society of Coastal and Ocean Engineers Conference
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• 2002.08a
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• pp.42-48
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• 2002

잠제는 주로 입사하는 파를 천단에서 강제쇄파시키거나 마찰을 통한 에너지 감소로 파를 제어하므로 잠제의 천단수심과 천단의 길이는 잠제의 성능에 가장 중요한 요소라고 할 수 있다. 일반적으로 잠제의 천단수심이 깊은 경우 잠제에 의한 파랑제어를 충분히 기대할 수 없으므로 입사파의 제어를 위한 적정한 천단수심이 필요하게 되고 천단수심이 얕아짐에 따라 천단상에서 파의 대칭성이 무너지는 비선형성분이 탁월해진다. (중략)

• Proceedings of the Korean Society of Coastal and Ocean Engineers Conference
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• 2003.08a
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• pp.283-289
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• 2003

잠제는 수면 아래에 건설되는 대표적인 친환경의 해안ㆍ항만구조물로 일본을 위시한 외국에서는 이안제 등과 같은 대체표사제어구조물로 잠제를 다수 시공해 왔으며, 국내에서는 처음으로 부산시의 송도해수욕장에 해안침식방지를 위해 잠제를 건설하고 있다. 잠제에 의한 파랑제어의 주요한 메커니즘은 천단상에서의 입사파랑과 구조물과의 마찰 및 입사파랑의 강제쇄파에 의한 에너지 소산이다. (중략)

• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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• 2011.05a
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• pp.112-112
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• 2011

300 mm 웨이퍼용 도핑장치에서 2 MHz 유도결합 플라즈마와 8 kHz의 기판 바이폴라 펄스 바이어스에 의한 플라즈마에 대해 수치 계산이 수행되었다. 한 주기에서 0, -500, +100 V의 Pulse duration동안 기판 전체에 100, 500, 150 eV 부근의 이온 입사 에너지 분포를 보였으며, 이에 따라 기판 가장자리에서의 이온 입사 각도는 -30~+$30^{\circ}$ 사이에서 변화함으로서 도핑 불균일에 대한 원인을 확인하였다.

• Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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• 2003.07a
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• pp.218-219
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• 2003

광결합 현상은 근접한 도파로에서 발생하며 각 도파로의 에너지를 다른 도파로로 전이시킨다. 이러한 특성은 광스위치, 광변조기, 광필터 및 광결합／분리기에 널리 사용된다. 이중에서 많이 사용되는 소자중 하나가 방향성 결합기이며 크게 입력부, 접근부, 결합부로 나눌 수 있다. 이때 광결합 현상은 결합부뿐만 아니라 접근부에서도 발생하기 때문에 소멸비는 나빠지게 된다. 본 논문에서는 접근부의 입사각에 따른 소멸비 변화와 이에 대한 조건을 분석하였다. (중략)

• Journal of the Korean Magnetics Society
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• v.18 no.1
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• pp.9-13
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• 2008

Bismuth-substituted yttrium iron garnet($Bi_{0.5}Y_{2.5}Fe_5O_{12}$) films were deposited with the aerosol deposition method and their magnetic and optical properties were investigated as a function of the aerosol incident angle. The optical transmittance of Bi:YIG increased about 80% with increasing the aerosol incident angle from 0 degree to 30 degree, due to decrease of the defects which were formed from agglutinations of the Bi:YIG particles inside and/or surface of the film. The coercive force also decreased largely with increasing the aerosol incident angle due to the reduction of the collision energy between the particles and the substrate and the decrease of the defects.