본 논문에서는 프로브 급전 방식을 사용하여 무선 LAN용 주파수 대역인 2.4GHz와 5.775GHz 대역에서 동작하는 이중공진 패치 안테나를 설계 및 제작하였다. 이 때 상대급전의 임피던스 변화를 최소화하기 위하여 50$\Omega$ 급전위치를 찾아 설계하였으며, 각 소자간의 영향을 고려하여 충분한 거리를 두어 실험하였다. 안테나 성능 전산모의실험에는 Ensemble을 사용하였다 또한 5.775GHz 대역의 임피던스를 정합하기 위하여 접지와 단락을 시켰으며, 2.4GHz 대역의 임피던스를 정합하기 위하여 패치 모양을 변화시켰다. 측정된 결과를 보면 2.4GHz, 5.775GHz 대역에서 반사손실은 각각 -l4㏈, -l2㏈의 값을 나타냈으며, 전압정재파비는 2.0이하의 특성을 보였다
본 논문에서는 임피던스 정한 방법을 이용하여 IMT-2000 주파수 대역인 2.155 GHz 대역에 사용할 수 있는 능통 여파기를 설계 및 제작하였다. 임피던스 정합과 공진기를 구현하기 위하여 아미크로스트립 랑니을 이용하였다. 능동 여파기의 측정결과 중심주과수 2.18 GHz에서 대역폭 75 MHz, 삽입 이득 14.1 ㏈, 중심주파수를 기준으로 $\pm$200 MHz 떨어진 지점에서 23㏈의 가쇄 특성을 보였다.
토로이달코아와 상호절연된 撚線을 사용하여 30MHz~90MHz대역에 사용할 수 있는 새로운 형태의 임피던스 정합용변성기를 설계하고 제작하였다. 측정결과 전주파수대역에서 삽입손실 1.2[dB]이하, 정재파비2.0이하이었으며 100[%]의 대역폭으로 비교적 좋은 특성을 보여주고 있다. 제안한 변성기는 간편하고 제작이 용이하기 때문에 종래의 주파수절환형태의 정합회로를 대체하여 사용이 가능하리라 생각된다.
본 논문에서는 RF 플라즈마를 사용하는 공정장비의 임피던스 정합 특성 개선을 위해 RF Match 제어단의 제어 알고리즘과 하드웨어의 디지털화 방안에 대한 연구를 수행하였다. 개발된 제어단은 최적의 동작성능을 위하여 멀티 프리셋, 이득제어 기능 등 부가기능을 갖도록 설계/제작하였고, 또한 LCD 모듈의 설치를 통하여 RF Match의 실시간 상태 파악이 가능하도록 하였다. 개발된 제어단에 대한 실험결과로부터 RF 전력의 over/under shoot, 플라즈마 플리커 등의 현상이 제거되었고, 정합시간이 크게 단축되었음을 알 수 있었다.
본 연구에서는 반도체 플라즈마 장비 감시를 위한 CUSUM 제어 차트 설계기법에 관해 연구하였다. CUSUM 제어차트에 관여하는 설계변수의 다양한 조합에 대하여 플라즈마 장비의 감시 성능을 평가하였다. 평가를 위해 RF 정합망 감시시스템을 이용하여 플라즈마 임피던스 정합에 관여하는 정합변수에 대한 실시간 데이터를 수집하였으며, 여기에는 임피던스와 상위치에 대한 전기적 정보, 그리고 반사전력에 대한 정보가 포함된다. 평가결과, 설계변수의 조합에 대하여 감시 성능이 크게 달랐지만, 각 센서 정보의 감시 성능을 증진시키는 설계변수의 조합이 있었음을 확인하였으며, 이는 각 종 다양한 센서정보별 CUSUM 제어 차트의 설계가 필요함을 의미한다. 연구에서는 Raw 데이터 대비 성능 분석을 위해 CUSUM 제어 차트의 설계변수를 변수인 d와 ${\Theta}$값의 변화를 주어 다수의 (d, ${\Theta}$)의 조합에 따른 감시 성능을 평가하였으며, 평가에 이용된 데이터는 소스전력이 750 W, 압력이 15 mTorr, Ar 유량이 50 seem일 때 수집하였다.
파워를 이용하는 음향 변환자를 설계할 경우 전기적 신호의 에너지가 가급적 많이 음향 에너지로 바뀌어서 전달되도록 하여야 한다. 이를 위해서는 방사임피던스를 포함한 초음파 변환자의 임피던스와 파워 앰프의 출력 임피던스 간에 정합이 필요하다. 특히 구동부의 출력 임피던스 값이 매우 작은 경우 센서의 역률 개선이 꼭 필요하다. 본 논문에서는 광대역 수중 음향 발신기의 역률 개선을 위해서 ABCD 전송 행렬을 사용한 정합 기법을 제안한다.
본 논문에서는 커넥터의 S-파라미터로 특성임피던스를 계산하고 커넥터의 성능개선을 위해 설계변경을 한다. FEM(Finite Elements Method) 시뮬레이터로 커넥터의 S-파라미터를 계산하고 회로 시뮬레이터에서 동일한 R, L, C 값을 가지는 등가 회로모델을 추출한다. 인덕턴스와 커패시턴스로 특성임피던스를 계산하고 임피던스 부정합 상태를 확인한다. 특성임피던스 공식으로부터 커패시턴스를 증가시켜 임피던스 정합을 유도하고 커패시턴스는 신호선의 평행한 면적을 확장하여 증가시킨다. 결과적으로 반사손실이 약 5 dB 개선되었고 신호선 유효면적의 증가로 임피던스가 감소하여 삽입손실도 개선되었다.
본 논문에서는 초전도체 안테나와 같은 고효율 소형안테나를 해석하고 있다. 그런데 초전도체의 표면저항은 주파수의 제곱에 비례하여 증가하기 때문에 초전도체 안테나는 낮은 주파수대역에서 유용하다. 따라서 이에 사용되는 안테나의 크기가 커지게 되는데 이와 같은 안테나를 소형화 하는데 있어 정합회로의 역할은 매우 중요하다 할 수 있다. 본 논문은 초전도체 소형안테나를 구성함에 있어 손실특성을 최소화 할 수 있는 최적의 정합회로 구조를 준정근사법을 이용하여 해석한다. 또한 결과의 유효성을 확인하기 위해 안테나의 입력임피던스특성과 방사특성을 평가한다.
무선통신 분야에서 다량의 정보전송과 CDMA, PCS 등의 상업화에 의해 광대역 고출력 증폭기의 요구가 증가하고 있다. 제품화된 파워 모듈에 비해 트랜지스터로 구성한 전력증폭기는 비용의 감소와 효율증대, 생산성 향상의 이점이 있다. 3단의 증폭기를 사용하여 VHF(148∼174㎒),UHF(440㎒∼470㎒)대역에서 5W이상의 전력과 45%이상의 효율을 얻었으며, 적정한 바이어스회로와 임피던스 정합회로망을 설계하여 제작, 실험함으로서 기존의 파워 모듈과 동일한 크기, 성능을 나타냈으며, 발진, 방열, 하모닉제거등 전력증폭기에서 요구하는 사항을 만족하였다. 또한 UHF트랜지스터를 사용하여 VHF의 증폭기를 임피던스 매칭을 이용하여 설계할 수 있음을 실험에 의하여 입증하였다.
AlGaAs/GaAs HBT를 이용하여 1.9 GHz 대역 2단 MMIC 전력증폭기를 설계하였다. HBT의 실측 S 파라미터를 이용하여 정합회로를 설계하였으며, 목적에 따라 적절한 형태의 출력 정합 회로를 하이브리드 형태로 칩 외부에 부가할 수 있도록 설계하였다. HBT의 실측정 S 파라미터의 fitting을 통하여 비선형 등가모델을 추출하였고, load-pull 시뮬레이션으로 최대 출력 정합 임피던스를 결정하였다. 시뮬레이션 결과, 29 dBm의 출력 전력, 40 %의 전력 부가 효율, 그리고 16 dB의 전력 이득을 얻었다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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