Development of Nano Scale Patterning control technology Using Acoustic Emission and Magnetic Abrasive finishing (음향방출센서 및 자성입자연마를 활용한 나노 스케일 패터닝 제어 기술 개발)
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- Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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- 2012.10a
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- pp.135-136
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- 2012