Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

  • 2012.10a
  • /
  • Pages.135-136
  • /
  • 2012
  • /
  • 2005-8446(pISSN)
Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)
권호 표지

Development of Nano Scale Patterning control technology Using Acoustic Emission and Magnetic Abrasive finishing

음향방출센서 및 자성입자연마를 활용한 나노 스케일 패터닝 제어 기술 개발

  • 이희환 (한양대학교 기계설계메카트로닉스공학과) ;
  • 이성환 (한양대학교 기계공학과) ;
  • 오소민 (한양대학교 기계설계메카트로닉스공학과) ;
  • 손권 (한양대학교 기계설계메카트로닉스공학과)
  • Published : 2012.10.24
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Keywords