$Cl_2$ 방전에서의 기판 표면 이온 각 분포 함수의 유동속도 의존성 조사
(Investigation of depending on ion drift velocity for board surface ion angular distribution function in $Cl_2$ discharge)
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- 대한전기학회:학술대회논문집
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- 대한전기학회 2004년도 하계학술대회 논문집 C
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- pp.1927-1929
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- 2004