Investigation of depending on ion drift velocity for board surface ion angular distribution function in $Cl_2$ discharge
($Cl_2$ 방전에서의 기판 표면 이온 각 분포 함수의 유동속도 의존성 조사)
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- Proceedings of the KIEE Conference
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- 2004.07c
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- pp.1927-1929
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- 2004