자화 유도 결합 $C_2/BCl_3/O_2, Cl_2/BCl_3/N_2$플라즈마를 이용한 III-nitrides 식각특성에 관한 연구

• 이용혁;성연준;이재원;김태일;염근영
• • 한국진공학회:학술대회논문집
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  • 한국진공학회 1999년도 제17회 학술발표회 논문개요집
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  • pp.243-243
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  • 1999
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유도결합형 플라즈마 식각 공정시 실리콘 표면의 잔류막 형성과 물리적, 전기적 손상 에 관한 연구

• 김현수;남욱준;김정훈;이호준;주정훈;황기웅;염근영
• • 한국진공학회:학술대회논문집
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  • 한국진공학회 1995년도 제9회 학술발표회 논문개요집
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  • pp.100-100
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  • 1995
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평판형 디스플레이 적용을 위한 내장형 Multiple U-Type 안테나를 이용한 유도결합형 플라즈마에 관한 연구

• 임종혁;김경남;염근영
• • 한국진공학회:학술대회논문집
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  • 한국진공학회 2006년도 제30회 학술논문발표회 초록집
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  • pp.140-140
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  • 2006
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유도결합형 HBr/$Cl_2$ 플라즈마를 이용한 shallow trench 식각특성에 관한 연구

• 이영준;이주훈;안경준;이주욱;이정용;염근영
• • 한국진공학회:학술대회논문집
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  • 한국진공학회 1997년도 제12회 학술발표회 논문개요집
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  • pp.230-230
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  • 1997
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($C_2F_6$ 유도결합플라즈마(ICP)를 이용한 산화아연(ZnO) 식각에 관한 연구 (Inductively coupled plasma reactive ion etching of ZnO using C2F6 gas)

• 이건교;이병택
• • 한국재료학회:학술대회논문집
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  • 한국재료학회 2005년도 춘계학술발표대회 및 제8회 신소재 심포지엄 논문개요집
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  • pp.229-229
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  • 2005
• PDF

유도결합형 BC13/HBr/Ar계 플라즈마를 이용한 sapphire 식각 연구

• 이효영;김동우;정창현;염근영
• • 한국진공학회:학술대회논문집
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  • 한국진공학회 2003년도 제24회 학술발표회 초록집
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  • pp.215-215
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  • 2003
• PDF

유도 결합 플라즈마를 이용한 폴리이미드 표면개질 특성

• 김연준;변태준;한전건
• • 한국진공학회:학술대회논문집
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  • 한국진공학회 2008년도 제34회 동계학술대회 초록집
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  • pp.180-180
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  • 2008
• PDF

대면적 페라이트 유도결합플라즈마 소스에 관한 연구

• 박정균;임종혁;김경남;염근영
• • 한국진공학회:학술대회논문집
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  • 한국진공학회 2008년도 제34회 동계학술대회 초록집
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  • pp.189-189
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  • 2008
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자장 인가된 $SF_6$계 유도결합형 플라즈마를 이용한 SiC 식각 특성에 관한 연구

• 경세진;김동우;이효영;염근영
• • 한국진공학회:학술대회논문집
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  • 한국진공학회 2003년도 제25회 학술발표회 초록집
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  • pp.206-206
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  • 2003
• PDF

대면적 디스플레이 장치를 위한 선형 유도결합형 플라즈마 소오스에 관한 연구

• 정승재;김경남;이영준;염근영
• • 한국진공학회:학술대회논문집
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  • 한국진공학회 2003년도 제25회 학술발표회 초록집
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  • pp.207-207
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  • 2003
• PDF

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