Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

대면적 디스플레이 장치를 위한 선형 유도결합형 플라즈마 소오스에 관한 연구

  • 정승재 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 김경남 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 이영준 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 염근영 (성균관대학교 재료공학과)
  • Published : 2003.08.20
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