Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

자장 인가된 $SF_6$계 유도결합형 플라즈마를 이용한 SiC 식각 특성에 관한 연구

  • 경세진 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 김동우 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 이효영 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 염근영 (성균관대학교 재료공학과)
  • Published : 2003.08.20
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