자화 유도 결합 $C_2/BCl_3/O_2, Cl_2/BCl_3/N_2$플라즈마를 이용한 III-nitrides 식각특성에 관한 연구

• 이용혁 (성균관대학교 재료공학과 반도체 공정 연구실) ;
• 성연준 (성균관대학교 재료공학과 반도체 공정 연구실) ;
• 이재원 (삼성종합기술원 광반도체 연구실) ;
• 김태일 (삼성종합기술원 광반도체 연구실) ;
• 염근영 (성균관대학교 재료공학과 반도체 공정 연구실)

• Published : 1999.07.01

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