RF magnetron sputtering법으로 증착된 a-IGZO 박막의 산소함량에 대한 특성연구 (The characteristic study according to the oxygen content of the A-IGZO thin film prepared by RF Magnetron Sputtering method)
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- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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- 한국전기전자재료학회 2010년도 하계학술대회 논문집
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- pp.386-386
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- 2010