CMP(Chemical Mechanical Planarization) slurry for STI process is made by mechanically synthesized$CeO_2$as abrasive. The abrasive can be stabilized by electrostatic or steric stabilization in aqueous slurry and steric stabilization is more effective for long-term stability. Blanket-type$SiO_2$and $Si_3N_4$ wafers are polished with CMP slurry containing$CeO_2$synthesized in 50$0^{\circ}C$ or $700^{\circ}C$. Removal rate and surface uniformity of$SiO_2$and$Si_3N_4$wafer and selectivity are influenced by synthetic condition of abrasive, suspension stability and pH of slurries.
This study was performed to verify the stability and efficacy of Streptococcus iniae formalin killed cells on storage at refrigerator temperature in olive flounder, Paralichthys olivaceus. The vaccines preserved for 6, 12 and 15months showed high stability of potency. The antibody titers and protection efficacy to challenge test were significantly higher in booster immunized groups than prime immunized groups during storage. Especially, above 60% of relative percent survival obtained at low antibody revel in prime immunized groups indicates that innate and non-specific immune system might act against the S. iniae challenged.
Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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2010.08a
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pp.184-184
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2010
반도체 집적도의 비약적인 발전으로 각 박막 층간의 두께는 더욱 줄어들었고 이는 각 박막 층간의 확산에 대한 문제를 간과할 수 없게 하였다. 따라서 각 층간의 확산을 방지하기 위하여 두께가 수십 nm size의 확산방지막의 연구에 대한 관심도는 증가하게 되었다. 본 연구에서 분석을 위하여 사용된 Nano-indentation은 박막 표면에 다이아몬드 팁을 이용하여 압입을 실시하여 이때 시표의 반응에 의한 팁의 위치(Z-축)를 in-situ로 측정하여 인가력과 팁의 위치에 대한 연속 압입곡선을 측정하게 된다. 이를 통하여 박막의 hardness와 elastic modulus를 측정하게 되고, 연속 압입곡선 분석을 통하여 박막의 표면응력 변화를 측정한다. 이 논문에서는 반도체의 기판으로 사용되는 Si기판과 금속배선 물질인 Cu와의 확산을 효과적으로 방지하기 위한 W-C-N 확산 방지막을 제시하였고, 시료 증착을 위하여 RF-magnetron sputter를 사용하여 동일한 증착조건에서 질소(N)의 비율을 다르게 하여 박막 내 질소비율에 따른 확산방지막을 제작하였다. 이후 시료의 열적 안정성 측정을 위하여 상온, $600^{\circ}C$, $800^{\circ}C$로 각각 질소 분위기에서 30분간 열처리 과정을 실시하여 열적 손상을 인가하였다. 고온에서 확산방지막의 물리적 특성을 알아보기 위해 Nano-indentation을 이용하여 분석하였고, WET-SPM을 이용하여 표면 이미지와 거칠기를 확인하였다. 그 결과 질화물질이 내화물질에 비해 고온에서 물성변화가 적게 나타나는 것을 알 수 있었고, 균일도와 결정성 또한 질화물질에서 더 안정적이었다.
Journal of the Computational Structural Engineering Institute of Korea
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v.22
no.3
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pp.211-221
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2009
With recent trends of super-tallness, atypical plan shapes and zoning constructions in high-rise buildings, a structural stability of the building under construction is arising as a key issue for design and construction plan. To ensure the structural stability under construction, the differential column shortening of vertical members, the lateral displacement of tower frames, and differential settlement of raft foundation by unbalanced distributions of a tower self-weight before the completion of a lateral load resisting system should be checked by construction sequence analysis, which should be performed by systematic combinations with structural health monitoring, construction compensation program, and construction panning. This paper presents the scheme of zone-based construction sequence analysis by using the existing commercial analysis program, to check the stability of high-rise building under construction. This scheme is applied to 3-dimensional structural analysis for a real high-rise building under construction. The analysis includes real construction zoning plans and schedules as well as creep and shrinkage effects and time-dependent properties of concrete. The simplified construction sequence and assumed material properties were continuously updated with the change on construction schedule and correlations with in-situ measurement data.
Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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2015.08a
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pp.97-97
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2015
전 세계적으로 화석연료의 고갈 및 환경오염 문제를 해결하기 위해 신재생에너지에 대한 관심이 급증하고 있다. 이러한 신재생에너지에는 수소 에너지, 자연 에너지(태양열, 지열 등), 바이오 매스 에너지 등이 포함된다. 이 중 수소 에너지는 지구상에 풍부하게 존재하고 있는 물과 탄화수소로부터 얻어지며, 연소 시에도 다시 물을 형성하여 오염 물질을 배출하지 않는 차세대 무공해 에너지원으로써 주목을 받고 있다. 수소 제조를 위한 공정에는 수증기 개질 공정(steam reforming), 부분 산화(partial oxidation) 및 자열개질(autothermal reforming) 등이 있으며 실제로 생산되는 대부분의 수소는 탄소/수소비(1:4)가 높은 메탄($CH_4$) 가스를 이용한 메탄 수증기 개질 공정(steam methane reforming)을 통하여 제조된다. 이 때 수소 제조의 고효율화 및 저비용화를 위해서는 반응물에 대한 높은 선택도, 고활성도 및 높은 안정성을 갖는 촉매가 반드시 필요하며, 대표적으로 Ni, Pt, Ru 등이 보고되고 있다. 이러한 촉매들은 대부분 세라믹 pellet 형태로 제작되어 왔으나 열전도도가 낮고 물리적 충격에 취약하다는 단점이 존재한다. 따라서 우리는 이러한 단점을 극복하고, 촉매의 활성을 높이기 위하여 다공성 금속 합금 폼을 촉매 지지체로 도입하였다. 또한, 다공성 금속 합금 폼 표면에 촉매의 분산 및 안정성을 향상시키기 위해 지지체와 촉매 사이에 원자층 증착법을 이용하여 inter-layer를 도입하였다. 이들의 구조, 형태, 및 표면의 화학적 상태는 주사전자현미경, EDS (energy dispersive spectroscopy)가 탑재된 주사전자현미경, X-선 회절, 및 X-선 광전자 분광법을 이용하여 규명하였다. 더하여 정전압-전류 측정법 및 유도 결합 플라즈마 분광 분석기을 이용하여 전기 화학 반응을 유도하고, 반응 후 전해질의 성분분석을 통해 촉매와 지지체 간의 안정성을 평가하였다. 따라서 본 결과들은 한국진공학회 하계정기학술대회를 통해 좀 더 자세히 논의될 것이다.
Journal of Korean Tunnelling and Underground Space Association
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v.16
no.5
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pp.497-506
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2014
In this study, analysis results described in the companion paper was used to determine shapes of room-and-pillar underground structure. To select optimized shapes, structural stability, space applicability and vehicle applicability were considered. In the structural stability step, ratio between strength and stress of the pillar and the critical strain at the roof span were adopted. The space applicability was used to retain the sufficient space of underground structure as its purpose is for human activity. The vehicle applicability was used to consider a radius for rotation of construction equipments in the room-and-pillar underground structure. From the given procedure in this study, proper shapes of rock pillar and room can be selected to design supports at the pillar and roof.
This paper describes the design and construction of a 2-arch tunnel with varying section. This new design has advantages of 2-arch tunnels, which is rather expensive, but is still economically competitive compared to parallel tunnels. Economic analysis was also conducted. To secure the stability of the varying section tunnel, excavated part was reinforced by tie-bolts and RRS, and 2-arch part was supported by EPS blocks and concrete walls. Stability of the pillar was theoretically analyzed and also examined by numerical simulations for various widths. Displacement monitoring was conducted and results were compared with numerical results. Economic analysis showed reductions in construction cost and period by 11% and 10 months respectively.
Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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v.10
no.11
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pp.3494-3499
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2009
The stability of omeprazole in the aqueous solutions containing loxoprofen or Sodium bicarbonate was examined at room temperature. Loxoprofen or Sodium bicarbonate (60 mg) was added to omeprazole (600 ${\mu}g$/ml) solution to check the stability profile. Then, the solution was kept at room temperature for 80 hours. The concentration was assayed at each concentration by stability-indicating High performance liquid chromatography (HPLC) method. Aliquots of the solution were withdrawn at specified time intervals and assayed by chromatographic analysis for intact omeprazole. The relation between omeprazole concentration and peak area was linear from 5 to 160 ${\mu}g$/ml. The analysis method was precise with relative standard deviation (% RSD) no greater than 3.05 %. The remaining percentage-time curves revealed that omeprazole was degraded rapidly as functions of time and temperature following pseudo first-order kinetics. In conclusion, the stability of omeprazole was significantly affected by liquid solutions mixed with alkalizer (Sodium carbonate) or the NSAIDs (loxoprofen).
In this paper, reliability analysis was done on the characteristics of consolidation and settlement for the inner temporary dike where a weak ground improvement construction was applied. When the consolidation analysis on the foundation ground was done, the following conclusions were obtained by conducting the stability analysis on the effect of space of drains, the effect of consolidation time, and the residual settlement and differential settlement. When construction was done with a drain space which satisfied 95% probability of reaching a target consolidation in each divided area, the occurrence of a residual settlement was within the range, which did not exceed 10cm. It was shown that there was almost no possibility of the occurrence of differential settlement, which was above the permissible differential settlement slope.
Journal of the Korean Society for Nondestructive Testing
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v.20
no.5
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pp.431-437
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2000
Standard Test Block(STB) for UT(Ultrasonic Testing) is a block approved by authoritative for material, shape and quality. STB is used for characteristic tests, sensitivity calibration and control of the time base range of UT inspection devices. The material, size and chemical components of STB should be strictly controled to meet the related standards such as ASTM and JIS because it has an effect upon sensitivity, resolution and reproductivity of UT. The STBs which are not approved are sometimes used because the qualified STBs are very expensive. So, the purpose of this study is to survey the characteristics, quality and usability of Non-Standardized Test Blocks. Non-Standardized Test Blocks did not meet the standard requirements in size or chemical components, and ultrasonic characteristics. Therefore if the Non-Standardized Test Blocks are used without being tested, it's likely to cause errors in detecting the location and measuring the size of the defects.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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