• Title/Summary/Keyword: 시간압력

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Comparison of Dry Etching of AlGaAs/GaAs in High Density Inductively Coupled $BCl_3$ based Plasmas ($BCl_3$에 기초한 고밀도 유도결합 플라즈마에 의한 AlGaAs/GaAs 건식식각 비교)

  • ;;;;;S. J. Pearton
    • Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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    • 2003.03a
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    • pp.63-63
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    • 2003
  • 플라즈마 공정은 DRAM, 이종접합 양극성 트랜지스터(HBTs), 레이저, 평면도파로(planar lightwave circuit)와 같은 전자소자 및 광조자 제작에 있어서 핵심 공정중의 하나이다. 최근 미세 구조의 크기가 극도로 감소하게 됨에 따라 실제 소작 제작에 있어서 미세한 모양을 식각하는 공정이 매우 중요하게 되었다. 그 중에서 고밀도 유도결합 플라즈마(high density inductively coupled plasma)를 이용한 기술은 빠르고 정확한 식각률, 우수한 식각 균일도와 높은 재현성 때문에 습식식각 기술보다 선호되고 있다. 본 연구는 평판형(planar) 고밀도 유도결합 플라즈마 식각장치를 이용하여 BCl$_3$와 BCl$_3$/Ar 플라즈마에 따른 AlGaAs/GaAs의 식각결과를 비교 분석하였다. 공정 변수는 ICP 소스(source power)파워, RIE 척(chuck) 파워, 공정 압력, 그리고 Ar 조성비(0-100%)이었다. BCl$_3$에 Ar을 첨가하게 되면 순수한 BCl$_3$ 플라즈마에서의 AlGaAs/GaAs 식각률(> 3000 $\AA$/min) 보다 분당 약 1000$\AA$ 이상 높은 식각률(>4000 $\AA$/min)을 나타내었다. 이 결과는 Ar 플라즈마의 이온보조(ion-assisted)가 식각률 증가에 기인한다고 예측된다. 그리고 전자주사 현미경(SEM)과 원자력간 현미경(AFM)을 사용하여 식각 후 표면 거칠기 및 수직 측벽도 둥을 분석하였다. 마지막으로 XPS를 이용하여 식각된 후에 표면에 남아 있는 잔류 성분 분석을 연구하였다. 본 결과를 종합하면 BCl$_3$에 기초한 평판형 유도결합 플라즈마는 AlGaAs/GaAs 구조의 식각시 많은 우수한 특성을 보여주었다.79$\ell/\textrm{cm}^3$, 0.016$\ell/\textrm{cm}^3$, 혼합재료 2는 0.045$\ell/\textrm{cm}^3$, 0.014$\ell/\textrm{cm}^3$, 혼합재료 3은 0.123$\ell/\textrm{cm}^3$, 0.017$\ell/\textrm{cm}^3$, 혼합재료 4는 0.055$\ell/\textrm{cm}^3$, 0.016$\ell/\textrm{cm}^3$, 혼합재료 5는 0.031$\ell/\textrm{cm}^3$, 0.015$\ell/\textrm{cm}^3$, 혼합재료 6은 0.111$\ell/\textrm{cm}^3$, 0.020$\ell/\textrm{cm}^3$로 나타났다. 3. 단일재료의 악취흡착성능 실험결과 암모니아는 코코넛, 소나무수피, 왕겨에서 흡착능력이 우수하게 나타났으며, 황화수소는 펄라이트, 왕겨, 소나무수피에서 다른 재료에 비하여 상대적으로 우수한 것으로 나타났으며, 혼합충진재는 암모니아의 경우 코코넛과 펄라이트의 비율이 70%:30%인 혼합재료 3번과 소나무수피와 펄라이트의 비율이 70%:30%인 혼합재료 6번에서 다른 혼합재료에 비하여 우수한 것으로 나타났으며, 황화수소의 경우 혼합재료에 따라 약간의 차이를 보였다. 4. 코코넛과 소나무수피의 경우 암모니아가스에 대한 흡착성능은 거의 비슷한 것으로 사료되며, 코코넛의 경우 전량을 수입에 의존하고 있다는 점에서 국내 조달이 용이하며, 구입 비용도 적게 소요되는 소나무수피를 사용하는 것이 경제적이라고 사료된다. 5. 마지막으로 악취제거 미생물균주를 접종한 소나무수피 70%와 펄라이트 30%의 혼합재료를 24시간동안 장기간 운전

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Effect of 4 Weeks' Walking Exercise with Blood Flow Restriction on Insulin Resistance, Adipokines and Gut Hormones in Middle Aged Obese Women (혈류를 제한한 4주간의 걷기운동이 중년 비만여성의 인슐린저항성과 아디포카인, Gut hormone에 미치는 영향)

  • Oh, Du-Hwan;Kim, Jung-Hoon;Zhang, Seok-Am;Lee, Jang-Kyu
    • Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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    • v.19 no.3
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    • pp.489-498
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    • 2018
  • This study was conducted to investigate the effect of walking exercise with blood flow restriction (BFR) on insulin resistance, adipokines and gut hormones in middle aged obese women. Eleven obese women (BMI > 25kg/m2; body fat > 30%) wore pneumatic pressure belts at both femurs and performed walking exercise consisting of walking for 2 min and resting for 1min twice per day, 3 days/wk for 4 weeks. Insulin significantly increased after exercise (p<0.05), while glucose increased slightly, but not significantly. Additionally, HOMA-IR decreased significantly after exercise (p<0.05), while adiponectin and visfatin increased, but not significantly. Finally, ghrelin (p<0.05) and GLP-1 (p<0.05) increased significantly after exercise. These results suggest that walking exercise with blood flow restriction for 4 weeks improves insulin resistance, adipokines, and gut hormones in obese middle-aged women. Therefore, high intensity walking exercise with blood flow restriction for short periods of time has more positive effects on prevention and treatment of obesity-related metabolic diseases.

Characteristics of Transparent Conductive Tin Oxide Thin Films on PET Substrate Prepared by ECR-MOCVD (PET 기판상에 ECR 화학증착법에 의해 제조된 SnO2 투명도전막의 특성)

  • Kim, Yun Seok;Jeon, Bup Ju;Ju, Jeh Beck;Sohn, Tae Won;Lee, Joong Kee
    • Korean Chemical Engineering Research
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    • v.43 no.1
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    • pp.85-91
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    • 2005
  • $SnO_2$ films were prepared at room temperature under a $(CH_3)_4Sn-H_2-O_2$ atmosphere in order to obtain transparent conductive polymer by using ECR-MOCVD (Electron Cyclotron resonance -Metal Organic Chemical Vapor Deposition) system. The electrical properties of the films were investigated as function of process parameters such as deposition time, microwave power, magnetic current power, magnet/showering/substrate distance and working pressure. An increase in microwave power and magnetic current power brought on $SnO_2$ film formation with low electric resistivity. On the other hand, the effects of process parameters described above on optical properties were insignificant in the range of our experimental scope. The transmittance and reflectance of the films prepared by the ECR-MOCVD exhibited their average values of 93-98% at wave length range of 380-780 nm and 0.1-0.5%, respectively. The grain size of the $SnO_2$ films that are also insensitive with the process parameters were in the range of 20-50 nm. On the basis of experimental data obtained in the present study, electrical resistivity of $7.5{\times}10^{-3}ohm{\cdot}cm$, transmittance of 93%, and reflectance of 0.2% can be taken as optimum values.

A Study on Connection of Fuel Processor and NG blower for Small Commercial Fuel Cell System (건물용 연료전지 시스템용 연료처리장치와 연료승압 블로워 연계 특성에 관한 연구)

  • Kim, Jaedong;Jang, Sejin;Kim, Bonggyu;Kim, Jinwook;Han, Sienho;Park, Dalryung
    • Journal of the Korean Institute of Gas
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    • v.21 no.5
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    • pp.36-44
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    • 2017
  • The small commercial fuel cell is a new energy system that produces electricity and heat through electrochemical reaction between air and hydrogen. In Korea, hundreds of domestic small commercial fuel cell systems have been installed and operated every years and many parts in fuel cell systems depend on overseas products. KOGAS(Korea Gas Corporation) has developed the fuel processor which is an important part of fuel cell system and has evaluated the long-term durability. And KOGAS has evaluated domestic and overseas NG blower and fuel processor connected to NG blower. The fuel processor developed by KOGAS have maintained an efficiency of 76% and constant performance over 3,000 hours. The NG blower developed in Korea showed similar characteristics as overseas NG blower in the evaluation of power consumption according to rear pressure and outside temperature. The fuel processor module, fuel processor connected to BOP showed excellent performance.

전기유동유체(ERF)를 이용한 지능구조물 시스템의 구성 및 응용

  • 최승복;박용군
    • Journal of KSNVE
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    • v.5 no.3
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    • pp.275-283
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    • 1995
  • 본 글에서는 지능구조물의 개념설명과 더불어 ERF의 특성, ERF를 함유란 함유 한 지능구조물 시스템의 구성, 동적 모델링과 진동제어 그리고 그 응용성에 관한 연구 현황과 방향에 대해 살펴보았다. 설명한 바와 같이 지능구조물은 새로운 차원의 신생 하는 첨단분야로서, 소음 및 진동에 관련된 무한한 잠재력과 다양한 응용성으로 미루 어 볼때 아주 매력적인 연구 분야이다. 그러나, 여러 응용 시스템의 상품화 단계로의 도약에 있어서 각 시스템 구성 요소 분야별 해결해야할 연구 사항들이 있다. 먼저, 액추에이팅을 수행하는 ERF 자체의 내구성 문제로서 고온에서 ERF의 효과 하락과 장시간 사용시 ERF에 의한 마멸, 고체 입자의 침전에 의한 초기 상태 불안정 등이 있다. 아울러 기존의 장치의 성능을 능가하기 위해 보다 큰 효과를 나타내는 새로운 차원의 ERF개발이 요구된다. 그리고 센서기술 분야에서는 호스트 재료에 보다 쉽게 결합이 되고 여러가지 형태의 요구조건을 만족시킬 수 있으며 외부 환경조건에 강건 하고 다양한 센서 개발이 요구된다. 또한, 보다 일번적인 동적 모델링을 통해 적용 시스템에 적합하고 강건한 제어기에 대한 연구가 진행되어야 한다. 마지막으로 능동 제어기를 실제로 구현하기 위한 호스트 재료 각 요소마다 센서의 설치, 페회로 피드백 시스템 장착, 상호간의 인터페이스 등의 기술 발전이 요구되며, 아울러 보다 효율적 인 시스템의 성능 특성을 실현할 수 있는 호스트 재료와 기계 메카니즘이 필요로 된다. 이상의 설명에서 알 수 있듯이 지능구조물에 대한 연구는 어느 한 분야에서만 아니라 기계, 전기전자, 토목, 물리, 재료과학 등 통합형식에 의한 접근 방향으로 추진되어야 할 것이다.서 세탁기의 진동 소음을 저감시키기 위해 진동 소음원에 대해 논술하고, 진동해석을 위해 컴퓨터 시뮬레이션 결과를 이용한 저진동 기술 개발에 대하여 기술하고자 한다.rotary piston)식 압축기는 약 20여년 전 부터 냉방용 압축기에서부터 널리 쓰이게 되었다. 약 10여년전부터 상용화 된 스크롤(scroll) 형 압축기도 현재 상대적으로 용량이 큰 가정용 냉방기를 중심으로 많이 쓰이고 있다. 스크류형 압축기는 보통 중대형 상업용에 주로 쓰인다. 해결하려 하였고, 수치해석은 피스톤의 운동을 배제한 단순화한 흡배기계의 정상상태 유동해석이 주를 이루어왔다. Taghaui and Dupont 등[5]은 KIVA코드를 사용하여 흡기포트와 연소실 그리고 밸브의 움직임을 동시에 고려한 수치해석을 도입하였다. 하지만 이들이 밸브의 운동을 고려하기 위해 사용한 이동격자는 격자점은 시간에 따라 변화하지만 그 격자의 수가 일정하게 유지되어 있어서 밸브의 완전개폐를 해석할 수가 없다. 강희정[6]은 단일 실린더와 단일 배기밸브를 갖는 문제로 단순화하여 피스톤과 밸브의 움직임을 고려하므로써 배기행정 후 소음이 어떻게 전파해 나가는가를 연구하였다. 본 연구에서도 최소밸브간격과 최대밸브간격 사이에서만 계산이 가능하나 흡기의 경우는 밸브가 닫힐 때 생기는 압력파가 중요하므로 실린더와 밸브사이에 벽면조건을 주어 밸브의 개폐를 모사하였다.술을 보유하고자 한다. 이용한 해마의 부피측정은 해마경화증 환자의 진단에 있어 육안적인 MR 진단이 어려운 제한된 경우에만 실제적 도움을 줄 수 있는 보조적인 방법으로 생각된다.ofile whereas relaxivity at high field is not affected by τS.

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미국 유기양돈의 생산과 유통 -현황과 농가의 결정에 영향을 미치는 요인들-

  • 크리스보에센
    • Proceedings of the Korean Society of Organic Agriculture Conference
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    • 2001.10a
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    • pp.207-218
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    • 2001
  • 미국의 콘벨트와 같이 곡물을 집약적으로 재배하는 지역에서 관행생산으로부터 유기적 생산으로 전환할 때 문제가 되는 것은 어떻게 하면 작물윤작을 더 많은 이익이 나올 수 있도록 선택하고 관리하는가 하는 점이다. 곡물생산을 중단하고 사료와 녹비작물을 재배하는데 드는 기회비용은 상당하다. 많은 유기농업 연구자, 학자들은 가축사육을 농장에 도입하여 다양화와 노동력 활용도를 높일 필요가 있음을 강조하고 있다. 가축 역시 곡물생산량이 줄어드는 것을 보완해줄 정도로 곡물 및 사료작물의 가치를 늘려 추며, 곡물생산에 쓰여진 양분을 퇴비를 통해 재활용할 수 있게 해 준다. 곡물 집약재배 지역에서 유기농가는 양돈이 경종체계에 자연스럽게 들어맞는 것으로 생각해 볼 필요가 있다. 돼지는 곡물과 사료작물 모두에 가치를 증대시켜 줄 수 있는 아주 효율적이고 적용이 쉬운 가축이다. 그다지 많지는 않지만 유기적, 지속가능한 양돈 생산에 관해서는 문헌이 좀 있다. 그러나 유기농가로 하여금 유기양돈 생산을 하도록, 그리고 유통의 방법을 어떻게 할 것인가 결정을 내리는데 도움을 줄 수 있는 그런 비교적 구체적인 정보는 그리 많지 않다. 이 글의 주요 초점은 미국 중부지방에서의 유기축산 생산(주로 돼지)에 관한 배경과, 시장의 추세, 인구적 특성, 미국의 기준들에 비추어 생산과 유통에 관한 결정 및 고려사항들에 대한 개관을 제시해 보는 일이다. 농장 수준에서 의사결정은 토지, 노동, 금융과 사회적 자본과 같은 자원을 각종 기회와 더불어 고려하여 이루어져야 한다. 이러한 결정은 모두 농장 차원을 넘어 각종 기준과 시장에서의 세력들의 맥락을 보고 이루어져야 한다. 각 개인의 수준에서는 농업인 역시 유기 흑은 환경친화적 농업에 관한 확신, 바꾸어 보겠다는 결심, 생활양식과 가족에 대한 영향, 그리고 농업인과 가족 경영에 대한 계획의 지평이라고 하는 범위 내에서의 유기적 방식으로의 전환에 관하여 결정을 내려야 한다.aotic motion)의 해석도 가능하다. 이 글에서는 비선형 진동해석을 위한 정규모드 동역학에 대한 연구동향 및 기본 이론을 살펴 보았고, 그 적용 예를 통하여 실험결과와 비교 고찰 함으로써 정규모드 동역학의 적용성을 서술하여 보았다. 선형이론으로 이해하기 어려운 현상들에 대하여는 비선형의 관점에서 새롭게 접근하 려는 노력이 필요하며 비선형 이론에 대한 연구가 지속적으로 진행되어야 한다. 진행되어야 한다.VA코드를 사용하여 흡기포트와 연소실 그리고 밸브의 움직임을 동시에 고려한 수치해석을 도입하였다. 하지만 이들이 밸브의 운동을 고려하기 위해 사용한 이동격자는 격자점은 시간에 따라 변화하지만 그 격자의 수가 일정하게 유지되어 있어서 밸브의 완전개폐를 해석할 수가 없다. 강희정[6]은 단일 실린더와 단일 배기밸브를 갖는 문제로 단순화하여 피스톤과 밸브의 움직임을 고려하므로써 배기행정 후 소음이 어떻게 전파해 나가는가를 연구하였다. 본 연구에서도 최소밸브간격과 최대밸브간격 사이에서만 계산이 가능하나 흡기의 경우는 밸브가 닫힐 때 생기는 압력파가 중요하므로 실린더와 밸브사이에 벽면조건을 주어 밸브의 개폐를 모사하였다.술을 보유하고자 한다. 이용한 해마의 부피측정은 해마경화증 환자의 진단에 있어 육안적인 MR 진단이 어려운 제한된 경우에만 실제적 도움을 줄 수 있는 보조적인 방법으로 생각된다.ofile whereas relaxivity at high field is not affected by τS. On the other hand, the change in τV does not affect low field profile but strongly in fluences on both inflection fie이 and the maximum relaxivity value. The results shows a fluences on both inflection field and the maximu

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Numerical Modeling of Wave-Type Turbulent Flow on a Stepped Weir (계단형 보에서의 파형 난류 흐름 수치모의)

  • Paik, Joongcheol;Lee, Nam-Ju;Yoon, Young Ho
    • KSCE Journal of Civil and Environmental Engineering Research
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    • v.37 no.3
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    • pp.575-583
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    • 2017
  • Various types of flow patterns around the stepped weir and spillway, such as the skimming flow over such structures and the wave-type flow with a standing undular hydraulic jump and roller downstream of the structures, are developed in open channels. Unsteady three-dimensional numerical simulations are carried out using a hybrid RANS-LES turbulence modeling approach and the volume of fluid method for resolving free surface fluctuations to represent the turbulent flow including the skimming flow and wave-type flow over a stepped weir installed in a rectangular channel. The comparison of numerical results with an existing experimental measurement reveals that the present numerical simulations reasonably well reproduce the turbulent flow passing the stepped weir, in terms of time-averaged velocity profiles at selected locations downstream of the weir, flow topology characterized by the wave-type and skimming flows, the maximum height and length of the standing wave and the length of reattachment of recirculating zone. The numerical result further elucidates the distinct flow behaviors of the wave-type and skimming flow by presenting instantaneous intense variations of free surface and velocity vectors, the distributions of Reynolds shear stress and turbulent kinetic energy and three-dimensional complex features of coherent structures and total pressure distribution.

Interaction Effect of Temperature and Moisture Content on the Oil Expression of Perilla Seed (들깨종자의 압착착유에 미치는 온도와 수분함량의 상호작용 효과)

  • Min, Young-Kyoo;Jeong, Heon-Sang
    • Applied Biological Chemistry
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    • v.37 no.1
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    • pp.14-18
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    • 1994
  • In order to elucidate the interaction effect between temperature and moisture content on the oil expression of perilla seed, recovery of expressed oil (REO) and volumetric strain of pressed cake (VSPC) of both roasted and unroasted perilla seeds were observed at different temperatures of 30, 40, 50 and $60^{\circ}C$, and different moisture contents of 2.5, 4.5, 6.5 and 8.5% (w.b). And duration of press was 11 min and applied pressure was 50 MPa. At the low temperature REO and VSPC of roasted and unroasted perilla seed increased in high moisture content and at the high temperature those increased in low moisture content. But REO and VSPC at 8.5% moisture content were decreased without relation to temperature. From the analysis of variance between expression factors and REO and VSPC, temperature and moisture contents showed high significance. Also the interaction effect between temperature and moisture content was higher than temperature. In our experimental conditions, the highest interaction effect between expression factors was observed in the range of $2.5{\sim}4.5%$ of moisture content in all temperatures. The maximum REO of unroasted perilla seeds was observed as 84.4% at 2.5% of moisture content and $60^{\circ}C$, and that of roasted one was as 84.3% at 6.5% of moisture content and $30^{\circ}C$.

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Veriations of Carbon Dioxide Concentration in a Strawberry Greenhouse Using Dry ice (드라이아이스를 이용한 딸기재배 온실의 이산화탄소 농도변화)

  • Paek, Yee;Kang, Suk-Won;Jang, Jae-Kyung;Kwon, Jin-Kyung
    • Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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    • v.21 no.2
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    • pp.182-188
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    • 2020
  • This study aimed to collect the carbon dioxide generated as a by-product from petrochemicals and liquor factories and use it in a crop breeding greenhouse. This was applied mainly to the storage of dry ice and the supply of carbon dioxide to achieve this target. Dry ice has a strong cooling effect because CO2 becomes a solid or gas at temperatures and pressures below the triple point, and the solid sublimes at -78.5℃ and atmospheric pressure. The consumption of dry ice according to temperature was 0.983kg/day, 2.358kg/day, 5.102kg/day, and 7.035kg/day when the temperature was 5℃, 10℃, 15℃, and 20℃, respectively, which corresponded to 1,102ppm, 1,481ppm, 1,677ppm, and 1,855ppm. Dry ice consumption in the test greenhouse decreased by approximately 0.9kg/h, and the CO2 concentration in the greenhouse at 9 a.m., before supplying dry ice increased to 517ppm, 1,519ppm at 10 a.m., 1,651ppm at 11 a.m., and 1,651ppm at 12 p.m., before maintaining this level of activity. Overall, this study attempted to contribute to increasing farm income by deriving the supply conditions through an expansion of the supply of carbon dioxide gas for crops.

Ballast water Treatment using a Multistage Filter (다단 디스크 여과장치를 이용한 선박 밸러스트수 처리)

  • Park, Sang-Ho;Lim, Jae-Dong;Kim, In-Soo
    • Proceedings of KOSOMES biannual meeting
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    • 2006.05a
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    • pp.79-83
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    • 2006
  • Displayed result that handle particle contaminant and hydrospace organism included in number of ballast that is happened in ship using automatic bade washing filter. Reason that remove first contaminant that is included in number of ballast is that heighten processing effect of after processing process. of the filter. Another advantage is to drop off the solids with controlling revolution of drum screen in pretreatment filtration process. The fact that it is easy to attach and detach a several type of screen for getting the expected water quality is another advantage. Filter rotation speed at 1.0rpm is filter resistance 3.0bar and 3.0rpm is filter resistance 2.8bar. Filter out impurities from ballast water over 6.0rpm is filter resistance 26bar and 10rpm is filter resistance 2.5bar. Filtration system removal aquatic organism over $80{\mu}m$ in ballast water. This study shows that the filtration treatment system has a potential for the treatment of ballast water.

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