Journal of the Korean institute of surface engineering
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v.57
no.3
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pp.165-178
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2024
In semiconductor memory device manufacturing, the capability for high aspect ratio contact (HARC) etching determines the density of memory device. Given that there is no standardized definition of "high" in high aspect ratio, it is crucial to continuously monitor recent technology trends to address technological gaps. Not only semiconductor memory manufacturing companies such as Samsung Electronics, SK Hynix, and Micron but also semiconductor manufacturing equipment companies such as Lam Research, Applied Materials, Tokyo Electron, and SEMES release annual reports on HARC etching technology. Although there is a gap in technological focus between semiconductor mass production environments and various research institutes, the results from these institutes significantly contribute by demonstrating fundamental mechanisms with empirical evidence, often in collaboration with industry researchers. This paper reviews recent studies on HARC etching and the study of dielectric etching in various technologies.
Proceedings of the Korea Information Processing Society Conference
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2009.04a
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pp.75-77
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2009
깊이 영상 기반 렌더링(DIBR) 방법은 제한된 대역폭을 가진 지상파 DMB(T-DMB)환경에서의 3 차원 서비스를 위한 방법으로 연구되고 있다. T-DMB 환경에서의 DIBR 기반의 3 차원 서비스는 기준 영상과 깊이 영상을 전송 받아 가상의 좌/우 시점 영상을 생성한다. 가상의 좌/우 시점 영상을 생성하기 위해서는 콘텐츠와 디스플레이 환경에 따른 파라미터 값이 주어져야 한다. 하지만 많은 연구에서 표준화된 파라미터 값을 제시하지 않음으로써 렌더링의 기준이 모호해지고, 임의로 정해진 파라미터 값에 의해 DIBR 결과가 크게 달라진다. 또한 콘텐츠에 따른 파라미터 값을 임의로 설정하게 되면 추가적인 정보를 전송해야 하는 문제점이 발생한다. 이에 본 논문에서는 다양한 콘텐츠에 적용 가능하면서도 T-DMB 환경에 적합하도록 계산량을 줄일 수 있는 표준화된 파라미터 설정 방법을 제안하고자 한다.
Proceedings of the Korea Information Processing Society Conference
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2012.11a
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pp.718-721
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2012
PMIPv6 (Proxy Mobile IPv6)는 네트워크 기반 이동성 지원 프로토콜로 MN (Mobile Node)의 이동성 프로토콜 스택 유무와 관계없이 MN의 이동성을 지원한다. 하지만 핸드오버 과정에서 이동성 관련 시그널링을 완료할 때까지 지연이 발생하고 핸드오버 동안 MN으로 향하는 패킷이 손실된다는 단점을 갖고 있다. 이러한 단점을 보완하기 위한 기법으로 FPMIPv6 (Fast Handover for PMIPv6)가 제안되었다. 본 논문에서는 PMIPv6의 오픈소스인 OAI PMIPv6 (OpenAirInterface PMIPv6)를 기반으로 FPMIPv6 테스트베드를 구축하고 MN의 핸드오버를 실험하여 실제 FPMIPv6 환경에서의 핸드오버 지연 및 패킷 손실 정도를 측정한다.
Proceedings of the Korean Society of Computer Information Conference
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2019.01a
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pp.151-152
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2019
본 논문에서는 사물인터넷(Internet of Things, IoT)에 적용되어 사용될 수 있는 다중 게이트웨이 환경에서 각 게이트웨이의 상황에 따라 종단 노드를 분산 트레이드 해줌으로서 게이트웨이의 자원 소모 효율성 증대 및 수명 연장을 할 수 있는 기법을 제안한다. 본 논문에서는 해당 기법을 두 단계에 걸쳐 제안하고 해당 기법의 효율성 입증을 위하여 클라우드 컴퓨팅이라는 대규모 환경을 가정하여 실험을 진행하였으며, 해당 실험의 결과에 따르면 전체 게이트웨이의 자원 소모량이 평준화됨과 동시에 효율성이 증대되었음을 확인할 수 있다.
Proceedings of the Korea Information Processing Society Conference
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2010.11a
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pp.1289-1292
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2010
근래 인터넷을 통해 IT 자원을 제공하는 클라우드 컴퓨팅이 중요한 이슈로 부각되고 있다. 이러한 클라우드 컴퓨팅이 신뢰성 있는 서비스로 자리잡기 위해서는 보안 문제가 가장 먼저 해결되어야 한다. 따라서 본 논문에서는 먼저 클라우드 컴퓨팅과 암호화의 기본 개념에 대해 알아본 뒤에 신뢰성 향상을 위해 주파수 도약을 응용한 보안 시스템을 제안하였다. 주파수 도약을 응용한 암호화 방법으로 서버의 부담을 줄이고 확장성을 제공하여 클라우드 서비스에 적합한 데이터 베이스 암호화 모델을 제안하였다.
Proceedings of the Korea Information Processing Society Conference
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2024.05a
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pp.25-26
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2024
본 연구에서는 ALD(Atomic Layer Deposition) 기술을 사용하여 고품질의 단일 박막을 형성하고, 이를 이용해 비휘발성 메모리 소자를 제작하며 그 특성을 분석한다. ALD 과정에서 단원자층을 차례로 증착하는 방식을 사용하여, 산화알루미늄 및 하프늄 옥사이드를 포함한 여러 층을 성공적으로 증착하였다. 이를 통해 높은 품질과 신뢰성을 가진 박막을 얻을 수 있었으며, 최종적으로 제작된 메모리 소자의 특성을 CV 곡선 분석을 통해 평가한다.
Kim, Mi Na;Kang, Jin-Wook;Kim, Bum-Jun;Won, Chung-Yuen
Proceedings of the KIPE Conference
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2019.07a
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pp.118-120
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2019
제안하는 논문은 3상 4선식 방식의 Interlinking Converter(ILC)를 사용하여 DC bus와 AC bus를 연계 한다. 역상분 성분은 정상분 성분과 다르게 전압 평형시 발생하지 않다가 전압 불평형시 발생하기 때문에 역상분을 추출하여 제어함으로써 불평형을 개선한다. Psim 시뮬레이션을 통해 본 논문의 타당성을 검증한다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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