• Title/Summary/Keyword: 선택적 성장

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Facet Growth of InGaAs on GaAs(100) by Chemical Beam Epitaxy Using Unprecracked Monoethylarsine (GaAs(100) 기판에 사전 열분해하지 않은 Monoethylarsine을 사용하는 Chemical Beam Epitaxy방법에 의한 InGaAs박막의 Facet 성장에 관한 연구)

  • 김성복;박성주;노정래;이일항
    • Journal of the Korean Vacuum Society
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    • v.5 no.3
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    • pp.199-205
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    • 1996
  • InGaAs eqitaxial layers have been selectively grown on patterned GaAs(100) substrates by chemical beam epitaxy (CBE) using triethylgallium (TEGa), trimethylindium (TMIn), and unprecracked monoethylarsine (MEAs). Facet growth of InGaAs epilayers has also been investigated at the various growth temperatures and Si4N4 dielectric pattern directions. In [011] jirection of mask, the change from (311), (377) and (111) facets to (311) facet with increasing growth temperature was observed. In [011] direction, however, the change from (011) and (111) facets to (111) facet with increasing growth temperature was observed. These results are attributed to the sidewall growth caused by different surface migration lengths of reactants. The formation of U-shaped (100) top surface is also discussed in terms of dangling bond model.

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Structural, Morphological, and Optical Properties of AlN Thin Films Subjected to Oxygen Flow Ratio (산소 유량비 변화에 따른 AlN 박막의 구조, 표면 및 광학적 특성)

  • Cho, Shin-Ho;Kim, Moon-Hwan
    • Journal of the Korean Vacuum Society
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    • v.19 no.4
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    • pp.287-292
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    • 2010
  • We have investigated the effects of oxygen flow ratios on the structural, morphological, and optical properties of AlN thin films grown by using radio-frequency reactive magnetron sputtering. The AlN thin films were deposited at $300^{\circ}C$ of substrate temperature, and the reactive gas were supplied with both nitrogen and oxygen. The oxygen flow ratio was varied by controlling the amount of oxygen with respect to the total mixed gases, 0%, 10%, 15%, 20%, 25%, and 30%. The structural, morphological, and optical properties of the deposited AlN thin films were examined by using X-ray diffractometer, scanning electron microscopy, and ultraviolet-visible spectrophotometer. The AlN thin film grown at 10% of oxygen flow ratio indicated an average transmittance of 91.3% in the wavelength range of 350~1,100 nm and an optical band gap of 4.30 eV. The experimental results suggest that AlN thin films can be deposited optionally by varying the oxygen flow ratio.

Garnet Zoning from the Devonian Littleton Formation, North-Central Massachusetts, USA (미국 메사추세츠 북중부의 데본기 리틀톤층에서 산출되는 석류석의 누대구조)

  • 김형수
    • Journal of the Mineralogical Society of Korea
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    • v.14 no.1
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    • pp.1-11
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    • 2001
  • 미국 메사추세츠 북중부에 산출되는 데본기 리틀톤층(Littleton Formation)의 남정석-십자석-석류석대에서 채취한 석류석 반상변정의 화학적 누대구조는 여러 번의 성장 단계를 경험했음을 보여준다. 석류석 반상변정들은 비대칭적이고 불규칙적인 Mn, Mg, Ca의 누대구조를 보인다. 조직대 경계부에서 석류석 성분들은 단면선에 따라 그 형태가 다르게 나타나고, $X_{Mn}$ 과 Fe/(Fe+Mg)비의 역전 누대구조는 석류석내의 내부엽리의 발달과 밀접한 관계를 보여준다. 이런 관찰 사항들은 석류석 누대구조가 석류석을 형성/소모시키는 반응뿐만 아니라, 용해작용과 침전작용과 관련된 기존의 미세구조에 의해 변화되었음을 의미한다. 화학적 그리고 조직적 잘림구조의 관계 그리고 저자가 제안한 석류석 성장모델은 석류석 누대구조가 엽리의 발달 동안 전단 응력대에서 일어나는 선택적 용해작용과 압축 운동대에서 발생하는 침전작용에 의해 조절되었음을 지시한다.

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Effect of mechanical backside damage upon minority carrier recombination lifetime measurement by laser/microwave photoconductance technique (기계적 후면 손상이 레이저/극초단파 광전도 기법에 의한 소수 반송자 재결합 수명 측정에 미치는 영향)

  • 조상희;최치영;조기현
    • Journal of the Korean Crystal Growth and Crystal Technology
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    • v.5 no.4
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    • pp.408-413
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    • 1995
  • We investigated the effect of mechanical backside damage upon minority carrier recombination lifetime measurement in Czochralski silicon substrate by laser excitation/microwave reflection photoconductance decay method. The intensity of mechanical damage was evaluated by X-ray double crystal rocking curve, X-ray section topography and wet oxidation/preferential etch methods. The data indicate that the higher the mechanical damage intensity, the lower the minority carrier lifetime, and the threshold full width at half maximum value which affect minority carrier lifetime measurement is about 13 secs.

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NO Removal by Photocatalytic Reaction with $TiO_2$ Catalyst (광촉매를 이용한 질소산화물의 제거)

  • 임탁형;정상문;김상돈
    • Proceedings of the Korea Society for Energy Engineering kosee Conference
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    • 1998.05a
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    • pp.69-72
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    • 1998
  • 지속적인 경제성장과 산업발달과 더불어 에너지 소비량이 크게 증가하고 있고, 환경문제가 심각해지고 있다. 이에 따라 대기로 배출되는 질소산화물은 산성비 및 도심스모그의 주범이 되는 물질로서, 그 미치는 파장이 사회적으로 매우 크다. 이러한 질소산화물을 제거하는 방법으로서, 기존의 선택적 촉매 및 비촉매 환원법은 고온을 필요로 하므로, 설치 및 운전비가 많이 요구되는 방법들을 대체하기 위해 상온영역에서 조업되는 광촉매를 개발해서, 신기술을 확립하고, 환경규제에 대해 능동적으로 대처하여야 한다. 기존의 탈질공정에서는 부가적인 에너지가 필요하므로, 광촉매를 통한 질소산화물의 저감기술은 에너지 소비가 작다는 장점이 있다. (중략)

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The effects of oxygen on selective Si epitaxial growth using disilane ane hydrogen gas in low pressure chemical vapor deposition ($Si_2H_6$$H_2$ 가스를 이용한 LPCVD내에서의 선택적 Si 에피텍시 성장에 미치는 산소의 영향)

  • 손용훈;박성계;김상훈;이웅렬;남승의;김형준
    • Journal of the Korean Vacuum Society
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    • v.11 no.1
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    • pp.16-21
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    • 2002
  • Selective epitaxial growth(SEG) of silicon were performed at low temperature under an ultraclean environment below $1000^{\circ}C$ using ultraclean $Si_2H_6$ and $H_2$ gases ambient in low pressure chemical vapor deposition(LPCVD). As a result of ultraclean processing, epitaxial Si layers with good quality were obtained for uniform and SEG wafer at temperatures range 600~$710^{\circ}C$ and an incubation period of Si deposition only on $SiO_2$ was found. Low-temperature Si selectivity deposition condition and epitaxy on Si were achieved without addition of HCl. The epitaxial layer was found to be thicker than the poly layer deposited over the oxide. Incubation period prolonged for 20~30 sec can be obtained by $O_2$addition. The surface morphologies & cross sections of the deposited films were observed with SEM, The structure of the Si films was evaluated XRD.

MDOF Ionic-Polymer-Metal-Composite Actuators with Selectively Grown Multiple Electrodes (선택적으로 성장 시킨 다중 전극판을 갖는 다자유 IPMC 작동기)

  • Jeon, Jin-Han;Oh, Il-Kwon
    • Proceedings of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering Conference
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    • 2008.04a
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    • pp.294-298
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    • 2008
  • The ionic polymer-metal composite actuators with selectively grown multiple electrodes were developed to mimic the swimming locomotion of a fish. The developed method is based on combining electroplating with the electroless chemical reduction using the patterned mask. The advantages of this fabrication method are that the initial compositing between the polymer and platinum particles can be assured by the chemical reduction method, and the thickness of each electrode can be controlled easily and rapidly by electroplating. By using the fabricated actuator with a multiple degree of freedom, the oscillatory wave of the flexible membrane actuator was generated and a twisting motion was also realized to verify the possibility of mimicking the fish-like locomotion. The frequency response function was analyzed to investigate the natural frequency and the damping factor by a mechanical shaker and direct electrical excitation through the swept-sine method. Present results show that this novel method can be a promising technique to easily pattern each of multiple electrodes and to implement the biomimetic motion of the polymer actuators with good mechanical bending performance.

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Partitioning of Metal Cations During Synthetic Calcite Growth (방해석 결정 성장시 금속 양이온의 분해 현상에 대한 연구)

  • 윤혜온;김수진
    • Journal of the Mineralogical Society of Korea
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    • v.14 no.1
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    • pp.31-38
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    • 2001
  • 방해석 결정 성장시 나타나는 미량금속 양이온의 분배현상을 표면침전 및 연속 결정 성장과정을 통하여 관찰하였다. A, B, C 유형의 순수한 방해석이 각각 3가지 다른 초기 농도 즉 0.02, 0.2, 0.4M의 $CaCl_2$.$2H_2$O로부터 형성되었으며 이들의 표면 형태는 합성용액의 조성과 성장 속도에 의해 조절됨을 알 수 있었다. B 유형이 표면형태가 좀더 복잡하지만 A, B 유형은 대체로 단순한{1014}면을 가진 방해석과 유사한 표면형태를 보여준다. 이에 반해 C 유형에서는 {0112}면이 주로관찰되었다. 순수한 방해석 위에 $(Ca, Me)CO_3$층의 대해 {1014}면 3 방향에 대한 전자현미분석 결과 금속이온의 특징적인 분배현상을 알수 있었다. $Mn^{2+}$ /과 $Co^{2+}$ 는 {0112} 에 수직으로 반면 $Sr^{2+ }$ /는 {1014}에 수직 또는 평행한 방향으로 선택적으로 분배되는 현상이 관찰되었다. 합성 방해석 표면 형태에 따른 금속 이온들의 분배 친화도를 Mn$^{2+}$ 이 C 유형>B 유형 >A 유형 그리고 $Co^{2+}$ 은 B 유형 >A 유형 >C 유형이다. 이들중 $Sr^{2+}$는 특히 {1014}면이 잘발달된 A유형에 더 많은 친화도를 갖는 것으로 나타났다.

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The Role of Liner Shipping Co-operation in Business Strategy (해운기업의 경영전략과 전략적 제휴의 역할에 관한 연구)

  • Ryoo, Dong-Keun
    • Journal of the Korean Institute of Navigation
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    • v.24 no.3
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    • pp.177-193
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    • 2000
  • 우리나라 정기선사는 1970년대 이후 경쟁선사와 다양한 형태의 전략적 제휴를 통하여 꾸준히 성장하여 왔으며 오늘날 세계 정기선시장에서 경쟁우위를 확보하게 되었다. 따라서 우리나라 정기선사의 전략적 제휴에 관한 연구는 제휴전략에 관한 이론을 더욱 더 발전시키는데 도움을 줄 것으로 기대된다. 이에 따라 본 논문은 정기선사의 경영전략과 전략적 제휴의 역할에 관하여 연구하고자 하며, 다음의 세 가지 연구 질문을 통하여 분석하였다. 첫째, 정기선사의 제휴동기는 무엇인가\ulcorner 둘째, 제휴형태에 따라 제휴동기에 차이점이 있는가\ulcorner 셋째, 정기선사의 경영전략이 제휴형태의 선택에 영향을 미치는가\ulcorner 자료수집 방법은 전략적 제휴의 경험이 있는 해운선사를 대상으로 설문조사를 실시했으며, 각 선사의 제휴 의사결정에 참여하는 담당자와 인터뷰를 통하여 연구목적과 관련된 자료를 수집하였다. 자료분석의 결과, 우리나라 정기선사는 여러 가지 동기에 의하여 제휴를 선택하고, 제휴형태에 따라 각 동기의 중요도에 차이가 있음을 나타내고 있다. 또한, 정기선사의 경영전략이 제휴형태의 선택에 영향을 미치는 것으로 나타났다. 한편 본 논문은 경영전략에 따른 정기선사의 올바른 제휴형태 선택에 도움을 주는 의사결정 모델을 제시하고 있다.

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