본 고에서는 반도체 생산 장비의 하나인 고속 열처리 공정기를 소개하고, 현재의 기술 동향과 그에 따른 기술발전의 추이를 논의 하였다. 고속 열처리 공정기는 단일 웨이퍼 가공기로서 각각의 웨이퍼가 동일한 환경하에서 가공될 수 있다는 장점 때문에 앞으로 웨이퍼가 대형화되고 다품종 소량생산이 요구되면서 더욱더 주목받게 되고 또한 반도체 생산에 있어서 핵심이 될 장비이다. 따라서 현재 고속 열처리 공정기를 실제 현장에서 널리 사용하지 못하고 있는 큰 이유 중의 하나인 웨이퍼의 온도 균일성 문제를 해결하는 것이 현 시점에서 매우 중요하다. 그리고 여러 챔버를 연결하여 다양한 작업을 일괄적으로 처리할 수 있는 다 챔버 과정으로의 발전도 필요하다고 할 수 있다. 반도체 생산장비의 대다수를 수입에 의존하고 있는 국내 현실을 고려할 때 반도체 생산기술의 국산화는 매우 중요하다. 따라서 차세대 반도체 생산장비로 주목받고 있는 고속 열처리 공정기의 생산기술을 국산화하는 것은 그 의미가 크다고 할 수 있다. 이를 위하여 산업계와 학계의 지속적인 관심과 좋은 연구결과를 기대한다.
CAN 통신은 네트워크 시스템 제어를 통한 각종 산업설비에서 제어 및 자동화 관련 장비들간에 데이터 교환을 위한 통신망으로 널리 사용되고 있다. 이러한 CAN통신을 응용하여 실시간 메시지 송수신이 가능한 시스템을 구성하려면 메시지의 특성분류 및 메시지의 증가에 따른 트레픽 발생을 고려해야 한다. CAN의 제한된 속도에 따른 실시간 메시지 전송의 여부는 데드라인을 통한 메시지 설계로 성능을 보장받고 있다. 하지만 이러한 메시지의 송수신에 있어 단순 CAN네트워크 망에 의존한 설계만으로 메시지의 신뢰성을 보장받을 수 없다. 네트워크 상황에 따른 버퍼를 통한 능동적인 메시지 스케줄링 방법을 통하여 성능효과를 보장받을 수 있는 방법을 제안한다.
Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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2010.06a
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pp.285-285
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2010
본 논문에서는 전세계가 스마트그리드 전력망을 구축하고 있는 시점에서 자동화와 정보화 사회로 빠르게 진행되면서 에너지의 원동력인 전력사용량이 증가됨에 따라 전기사고에 의한 정전 건수도 지속적으로 증가 되고 있는 실정으로 이에 대한 원인 규명과 사고 방지대책이 요구되고 있다. 잠시라도 전기 없이는 모든 산업현장은 물론 모든 행정 까지도 마비되는 중요한 전력공급은 순간 정전까지도 사전에 예방할 수 있는 시스템이 필요 불가결하다. 따라서, 전력 공급망의 공급원인 발전기에서의 차단기나 AVR 등의 제어시스템에서의 사고원인을 분석하고 이에 대한 예방대책을 제시하여 고품질의 전력을 공급할 수 있도록 하는데 있다.
In operational pont of view, the batch reactor is quite different from the continuous reactor in that it is completely in unsteady states. This makes process variables swing over wide ranges and the process disclose its nonlinerarities. For the most part these nonlinearities are due to reaction heat. Accordingly it is very important to know the informations of reaction heat. This paper presents the method of reaction heat measurement in industrial batch reator which furnishes the limited measurable points. The informations of reaction heat are utilized in modeling of the batch reactor as well as deciding the stability and control variables.
Journal of Institute of Control, Robotics and Systems
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v.12
no.7
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pp.671-678
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2006
This article proposes a smooth path generation and time scheduling method for general tasks defined by non-smooth path segments in industrial robotic applications. This method utilizes a simple 3rd order polynomial function for smooth interpolation between non-smooth path segments, so that entire task can effectively maintain constant line speed of operation. A predictor-corrector type numerical mapping technique, which correlates time based speed profile to the smoothed path in Cartesian space, is also provided. Finally simulation results show the feasibility of the proposed algorithm.
Journal of Institute of Control, Robotics and Systems
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v.13
no.3
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pp.235-241
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2007
This paper proposes a self-calibration method of robots those are used in industrial assembly lines. The proposed method is a position compensation using laser sensor and vision camera. Because the laser sensor is cross type laser sensor which can scan a horizontal and vertical line, it is efficient way to detect a feature of vehicle and winding shape of vehicle's body. For position compensation of 3-Dimensional axis, we applied block interpolation method. For selecting feature point, pattern matching method is used and 3-D position is selected by Euclidean distance mapping between 462 feature values and evaluated feature point. In order to evaluate the proposed algorithm, experiments are performed in real industrial vehicle assembly line. In results, robot's working point can be displayed 3-D points. These points are used to diagnosis error of position and reselecting working point.
DeviceNet은 Rockwell/Allen-Bradley에서 개발된 응용계층으로 CAN(controller area network)을 기반으로 한 저가의 통신 링크이며 단순한 산업용 디바이스(sensors, actuators)와 상위 디바이스(controller)를 연결하는 하위 레벨의 네트워크이다. 본 논문에서는 2대의 전동기를 마스터, 슬레이브 형식으로 실시간 동특성을 만족할 수 있는 동기제어 알고리즘을 개발하고 이를 DeviceNet을 이용하여 실시간으로 제어할수 있는 복수 전동기 구동시스템을 구현하고자 한다. DeviceNet 마스터는 Hilscher사(社)의 DeviceNet Card(CIF50-DNM)를 PC에 장착되어 구현하고 슬레이브는 Atmel사(社)의 AVR칩(AT90CAN128)을 이용하여 설계하였다.
The Transactions of the Korean Institute of Power Electronics
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v.9
no.2
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pp.126-133
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2004
In this paper, a new current control algorithm is proposed for four-switch three-phase brushless DC(BLDC) motor drives, which are suitable for low cost applications. A current reference generation scheme is developed and implemented to obtain high performance characteristics in the four-switch system, such as small torque ripple and fast dynamic speed/torque response. Especially, the proposed scheme can successfully reduce the torque ripple during commutations, so that it can be expected that the four-switch system can be much more practically applied for the industrial application areas.
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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v.18
no.5
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pp.120-129
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2001
As many sensors and actuators are used in many automated systems, various industrial networks are adopted for real-time distributed control. In order to take advantages of the networking, however, the network implementation should be carefully designed to satisfy real-time requirements considering network delays. This paper presents the implementation of a remote feedback control system via Profibus-DP net work for real-time distributed control More specifically, the effect of the network delay on the control performance evaluated on Profibus-DP testbed. Also, the traditional PID gain tuning methods are used to demonstrate the feasibility of the remote feedback control.
최근에 정보 산업과 이동 통신 기술이 발전함에 따라 퍼스널 컴퓨터를 넘어 컴퓨터의 개념이 매우 빠르게 확장되고 있다. 이동 정보 단말 형태의 PDA, HPC(hand-held PC), 휴대폰 등이 개발되었고, 셋탑박스(set-top box), 지능형 디지털 TV, 인터넷 냉장고 등의 정보가전은 임베디드 운영체제(embedded OS)를 내장하여 컴퓨터로 발전하고 있으며, 제어 및 계측 기기들도 마이크로 프로세서를 내장하여 임베디드 시스템으로 발전하고 있다. 이렇게 새롭게 확장된 컴퓨터 시스템들은 인간 생활의 편리성과 다양성을 위해 상호 연결되어 하나의 네트워크를 형성하고 있으며, 상호간에 정보를 공유하고 협력하여 언제 어디서나 통신 및 컴퓨팅이 가능한 유비쿼터스 네트워킹(Ubiquitous Networking)으로 발전하고 있다. 본 논문에서는 이러한 유비쿼터스 네트워킹에서 필요한 컴퓨팅 미들웨어(Middleware) 기술의 최근 동향을 살펴보고 본 연구에서 제안하는 새로운 미들웨어 기술을 설계한다. 이러한 미들웨어 기술은 편재(遍在)되어 있는 컴퓨팅 장치를 상호 이용하기 위해 컴퓨터의 환경을 탐지하여 저장하고 재이용하는 상황 인식 기술, 편재된 장치들이 네트워크에 연결되면서 정보를 전달하는 Ad-hoc 네트워킹과 동적 라우팅 기술, 그리고 정보 전달을 위해 제어 코드와 데이터를 패킷 (packet) 형태로 전달하는 협력 메시지(Cooperative Message) 기술 등이 포함된다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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