• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2006년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.461-462
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• 2006

This paper reports on the development of a scanning probe microscopy(SPM) tip with caborn nanotubes. We used an electric field which causes dielectrophoresis(DEP), to align and deposit CNTs on a metal-coated SPM tip. Using the CNT attached SPM tip, we have obtained an enhanced resolution and wear property compared to that from the bare silicon tip through the scanning of the surface of the bio materials. The carbon nanotube tip align toward the source of the ion beam allowing their orientation to be changed at precise angles. By this technique, metal coated carbon nanotube tips that are several micrometer in length are prepared for scanning probe microscopy.

• 한국진공학회지
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• 제11권3호
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• pp.171-175
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• 2002

Indium-Tin-Oxide(ITO)에 대해 산소 플라즈마 처리를 한 후 일함수에 대한 변화를 $\gamma$-집속 이온빔을 사용하여 조사하였다. ITO의 표면이 산소 플라즈마 처리를 보다 많이 경험할수록 표면저항이나 일함수는 높아졌다. Auger 전자 분광법을 이용해 표면의 화학적 분석을 해본 결과 산소는 증가한 반면 주석은 감소하였다. 표면 일함수와 표면 저항의 증가는 ITO 표면에서의 산소와 주석의 변화와 관계가 있는 것으로 여겨진다.

• 소성∙가공
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• 제16권4호
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• pp.323-328
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• 2007

The residual stress in axial direction of the steel wires has been measured by using a method based on the combination of the focused ion beam(FIB) milling and digital image correlation(DIC) program. The residual stress is calculated from the measured displacement field before and after the introduction of a slot along the steel wires. The displacement is obtained by the digital correlation analysis of high-resolution scanning electron micrographs, while the slot is introduced by FIB milling with low energy beam. The experimental procedures are described and the feasibilities are demonstrated in steel wires fabricated with different conditions. It reveals that the tensile residual stress is formed in all steel wires and this is strongly influenced by the fabrication conditions.

• 한국전기전자재료학회논문지
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• 제21권4호
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• pp.381-387
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• 2008

Neutron production rate in spherically convergent beam fusion(SCBF) device as a portable neutron source strongly depends on the ion current and the grid cathode structure. In this paper, as the process of design and analysis, Design of Experiment(DOE) based on the results by Finite Element Method-Flux Corrected Transport(FEM-FCT) method is employed to calculate the ion current. This method is very useful to find optimal design conditions in a short time. Number of rings, radius of rings, and distance between the grid cathode and center are selected as control factors. From the results in the optimized model, the higher ion current is calculated and deeper potential well is also observed.

• 대한전기학회:학술대회논문집
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• 대한전기학회 1998년도 하계학술대회 논문집 G
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• pp.2553-2555
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• 1998

A single crystal Mn-Zn ferrite was directly etched by focused $Ar^+$ laser beam in $CCl_2F_2$ gas atmosphere. AES has been performed for locally investigating the surface composition of an etched layer. MnCl, ZnCl being created after the substrate and $CCl_2F_2$ chemically reacting was remained in the vicinity of laser irradiation area because of their low vapor pressure. Various patterns using computer were formed on the substrate. The etched grooves and patterned shapes were observed by SEM measurement.

• 한국광학회지
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• 제4권1호
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• pp.114-119
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• 1993

25W $CO_2$ 레이저를 이용하여 다양한 단결정재료를 fiber형태로 빠른 속도로 성장시킬 수 있는 LHPG (Laser-Heated Pedestal Growth) 장치를 제작하였다. LHPG장치는 레이저 빔의 집속을 위한 Reflaxicon, 구멍이 뚫긴 타원거울과 포물면경으로 구성되는 광학계 및 source와 seed의 이동을 위한 translation 시스템으로 구성되어 있다. 장치의 성능으르 평가하여 위해 직경 600${\mu}m$, 길이 2cm의 루비 fiber를 성장시키고 그 형광특성을 조사하였다.

• 대한전기학회:학술대회논문집
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• 대한전기학회 1996년도 추계학술대회 논문집 학회본부
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• pp.248-250
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• 1996

VTR 자기헤드의 핵심소재로 사용되는 ferrite는 VTR 의 주기능인 영상의 기록 및 재생역할에 가장 중요한 소재이다. 이러한 종류의 head는 지금까지 mask wet chemical etching과 mechanical Process 에 의해 제작 되어왔다. 그러나 기록용량의 중가로 자기장치의 recording density를 높일것이 요구됨에 따라 자기헤드의 gap width를 줄일 필요가 있게 되었다. 본 연구는 mask와 photoresist를 사용하지 않고 ferrite를 직접 미세가공 하는 laser-induced wet etching을 이용하여 자기헤드의 기록용량을 높이고자 하였다. $Ar^+$ laser ( 파장 514 nm )를 빔 확장기와 렌즈를 사용 하여 직경 $1.8{\mu}m$ 로 집속하고, $100{\sim}500\;mW$의 출력 변화를 주어 실험을 하였다. 인산 수용액 (45, 65, 85 %)을 etchant로 사용하여 $5{\sim}30{\mu}m/sec$의 주사속도로 etching 하여, 미세선폭과 high aspect ratio를 갖는 groove를 얻을 수 있었다.

• 대한전기학회:학술대회논문집
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• 대한전기학회 2007년도 제38회 하계학술대회
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• pp.1090-1091
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• 2007

전자빔은 전자석의 자기장에 의하여 궤도가 편향 또는 집속된다. 이 전자석에 사용되는 전원장치는 사용되는 부품들의 품질과 관련되는 제어 기술의 발전으로 성능이 크게 향상되고 있다. 이 논문에서는 DSP를 이용하여 IGBT를 구동하는데 있어 phase-shifting 기법을 적용한 병렬 운전으로 출력 특성이 크게 개선된 전원장치에 대하여 설명하였다. 이 장치의 기본사양은 ${\pm}\;350\;A$, 2.5 Hz 계단형태의 출력전류를 전자석에 제공하는 것이다. 출력전류 피드백과 입력전압 피드-포워드 제어구조를 적용하여 출력전류의 안정도를 개선하였다. 모의실험과 실제 전자석 구동실험을 통하여 개발된 전원장치가 다양한 용도에 편리하게 적용될 수 있음을 보여준다.

• 한국광학회:학술대회논문집
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• 한국광학회 2000년도 하계학술발표회
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• pp.204-205
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• 2000

Ashkin에 의해 처음으로 단일 레이저를 사용하여 미세입자를 포획한 이후로 많은 연구가 활발히 이루어지고 많은 분야에 응용이 되고 있다[1]. 포획이 되는 기본적인 원리는 일정한 파장을 가진 레이저가 물체에 부딪히게 되면 빛의 일부는 표면에서 반사가 되고 일부는 물체를 통과하면서 굴절을 하게 되는데, 이 때 굴절에 의해 발생하게 되는 운동량의 차이가 포획을 가능하게 한다. 이때 발생하는 힘은 빛의 입사되는 방향에 평행한 경우(scattering force)와 수직한 경우(gradient force)로 나눌 수 있으며, 입사되는 각에 따라 두 성분의 크기가 바뀌게 되는데 이를 이용하여 입자를 밀어내고 잡아당기는 효과를 줄 수 있다[2]. (중략)

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2005년도 추계학술대회 논문집
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• pp.318-321
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• 2005

FIB (Focused ion Beam) milling on a 500-nm-thick silicon nitride membrane was studied in order to fabricate a high-resolution shadow mask, or called a nanostencil. The silicon nitride membrane was fabricated by MEMS processes of LPCVD, photolithography, ICP etching and bulk silicon etching. The apertures made by FIB milling and normal photolithography were compared. The square metal pattern deposited through FIB milled shadow mask showed 6 times smaller comer radius than the case of photolithography. The results show high resolution patterning could be achieved by local deposition through FIB milled shadow-mask.