• 대한기계학회논문집B
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• 제32권2호
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• pp.149-157
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• 2008

During CVD process of semiconductor wafer fabrication, maintaining the uniformity of temperature distribution at wafer top surface is one of the key factors affecting the quality of final products. Effect of contact conductance between wafer and hot plate on predicted temperature of wafer was investigated. The validity of opaque wafer assumption was also examined by comparing the predicted results with Discrete Ordinate solutions accounting for semitransparent radiative characteristics of silicon. As the contact conductance increases predicted wafer temperature increases and the differences between maximum and minimum temperatures within wafer and between wafer and hot plate top surface temperatures decrease. The opaque assumption always overpredicted the wafer temperature compared to semitransparent calculation. The influences of surrounding reactor inner wall temperature and hot plate configuration are then discussed.

• 대한기계학회논문집B
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• 제28권5호
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• pp.580-586
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• 2004

The ray effects of finite volume method (FVM) or discrete ordinate method (DOM) are known to show a non-physical oscillation in solution of radiative heat transfer on a boundary. This wiggling behavior is caused by the finite discretization of the continuous control angle. This article proposes a combined procedure of the Monte-Carlo and finite-volume method (CMCFVM) for solving radiative heat transfer in absorbing, emitting, and an-isotropically scattering medium with an isolated boundary heat source. To tackle the problem, which is especially pronounced in a medium with an isolated heat source, the CMCFVM is suggested here and successfully applied to a two-dimensional circular geometry.

• 한국산학기술학회논문지
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• 제5권3호
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• pp.218-222
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• 2004

본 연구에서는 분리형 이동코어 방식의 스탬퍼 금형을 개발하였고, 사출성형품 품질에 영향을 주는 인자 중에 이동코어 표면 가열 방식이 미세구조를 갖는 성형품 전사성에 미치는 영향에 대해 알아보았다. 이동코어 표면 가열방식은 이동코어를 가열하지 않는 일반사출방식, 할로겐램프를 이용한 복사형 가열방식과 기체화염을 이용해 가열하는 MmSH 방식을 사용했다. COC, PMMA 두 종류의 열가소성 수지를 사용하여 성형품을 제작한 결과, 이동코어 표면온도가 가장 높은 MmSH 방식에서 나노패턴 전사성이 가장 우수했고, 일반사출성형 방식으로 제작한 성형품에서 전사성이 가장 저조했다.

• 대한기계학회논문집B
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• 제20권11호
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• pp.3598-3606
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• 1996

The finite volume method for radiation is applied to investigate a radiative heating of rocket base plane due to searchlight and plume emissions. Exhaust plume is assumed to absorb, emit and scatter the radiant energy isotropically as well as anisotropically, while the medium between plume boundary and base plane is cold and nonparticipating. Scattering phase function is modelled by a finite series of Legendre polynomials. After validating benchmark solution by comparison with that of previous works obtained by the Monte-Carlo method, further investigations have been done by changing such various parameters as plume cone angle, scattering albedo, scattering phase function, optical radius and nozzle exit temperature. The results show that the base plane is predominantly heated by the plume emission rather than the searchlight emission when the nozzle exit temperature is the same as that of plume.

• 한국전산유체공학회:학술대회논문집
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• 한국전산유체공학회 2008년도 춘계학술대회논문집
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• pp.109-112
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• 2008

In this work, a mathematical heat transfer model of a walking-beam type reheating furnace that can predict the formation and growth of the scale layer, which is produced due to oxidative reaction between the furnace oxidizing atmosphere and the steel surface in the reheating furnace, has been developed. The model can also predict the heat flux distribution within the furnace and the temperature distribution in the slab and scale throughout the reheating furnace process by considering the heat exchange between the slab and its surroundings in the furnace, including radiant heat transfer among the slabs, the skids, the hot gases and the furnace wall as well as the gas convection heat transfer in the furnace. Using the model developed in this work, the effects of the scale layer on the heat transfer characteristics and temperature behavior of the slab is investigated. A comparison is also made between the predictions of the present model and the data from an in situ measurement in the furnace, and a reasonable agreement is founded.

• 대한기계학회논문집B
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• 제30권10호
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• pp.957-965
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• 2006

A high-performance hot chuck is designed as a heating device for an ultra-precision flip-chip bonder with infrared alignment system. Analysis of design requirements for thermal performance leads to a radiative heating mechanism employing two halogen lamps as heating source. The heating tool is made of silicon carbide characterized by high thermal diffusivity and small thermal expansion coefficient. Experimental tests are performed to assess heat-up performance and temperature uniformity of the heating tool. It is revealed that the initial design of hot chuck results in a good heat-up speed but there exist a couple of troubles associated with control and integrity of the device. As a means to resolve the raised issues, a revised version of heating tool is proposed, which consists of a working plate made of silicon carbide and a supporting structure made of stainless steel. The advantages of this two-body heating tool are discussed and the improved features are verified experimentally.

• 한국대기환경학회:학술대회논문집
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• 한국대기환경학회 2003년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.283-284
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• 2003

Cirrus cloud는 항상 지구대기의 20%정도를 덮고 있으며, 지구 복사수지와 기후변화에 영향을 미치며 그들의 미세물리학적이고 광학적인 특성에 따라 대기온도의 상승이나 냉각효과를 나타낸다. 일반적으로 적도지방에서는 가열효과를 지니고 중위도지방에서는 냉각효과를 지닌다(F.Nicolas et al, 1997). 이러한 중요성으로 외국에서는 Cirrus cloud에 대한 많은 연구(K. Sassen et al, 2001, C. M. R. Platt et al, 1998)가 이루어졌으나 국내에서는 관측 대상의 시간적ㆍ공간적 제약으로 연구가 거의 이루어지지 않고 있다. (중략)

• 한국광학회:학술대회논문집
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• 한국광학회 2000년도 하계학술발표회
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• pp.72-73
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• 2000

단원자를 이용한 Cavity-QED 실험을 통해서 광자 수상태 및 sub-poissonian 광원 구현 및 비고 전적인 광 특성을 가지는 광원등을 구현 할 수 있다. 이를 위해서는 오랫동안 공진기 안에 포획하거나, 빔의 형태로 단원자들이 일정시간 동안 공진기를 지나게 해야 한다. 본 연구는 안정한 원자빔 속도제어 실험에 관한 것으로 자체 제작한 원자빔 오븐의 특성과 원자빔 속도 선택기의 제작, 속도 선택 결과에 대하여 논하고자 한다. (중략)

• 한국지구과학회지
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• 제24권6호
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• pp.558-567
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• 2003

해수면 온도에 대한 구름복사 강제력의 지역 의존도가 조사되었다. 이 조사는 경년 변동과 계절 시간규모에 대해서 각각 조사되었다. 적도 동태평양에서 경년 변동의 경우 해수면 온도가 1$^{\circ}$C 증가할 때 순 구름복사 강제력은 약 3Wm$^{-2}$가 증가하였으며, 계절변동이 포함된 경우 약 3.5Wm$^{-2}$가 증가하는 것으로 나타났다. 반면 열대 해양전체에서 경년 변동의 경우 해수면 온도가 1$^{\circ}$C 증가할 때 순 구름복사 강제력은 1.5Wm$^{-2}$ 감소하였으나, 계절변동이 포함된 경우 약 2.9Wm$^{-2}$로 증가하였다. 따라서 해수면 온도에 대한 구름복사 강제력의 의존도는 적도 동태평양에서 열대 해양으로 넓어질수록 경년 변동에 의해 영향에서 계절변동에 의한 영향이 더 지배적으로 작용한다. 계절 변동이 포함된 경우 해역에 관계없이 해수면온도가 1$^{\circ}$C 증가할 때, 순 구름복사 강제력은 약 2${\sim}$3Wm$^{-2}$ 증가하였다. 이러한 결과는 해수면 온도의 경년 변동이 뚜렷한 적도 동태평양에서는 경년 변동에 의한 구름복사 강제력이 대기를 가열하는 반면, 열대 해양 전체에서는 계절변동에 의한 구름복사 강제력이 대기를 가열한다는 것을 의미한다.

• 한국항공우주학회지
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• 제34권11호
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• pp.26-34
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• 2006

본 연구에서는 외력과 열을 동시에 받는 판구조에 대하여 구조적 강도를 평가하기 위하여 열응력 해석 및 열기계적 실험을 수행하였다. 초음속 비행체의 날개 유사 모델인 판구조에 대한 열 및 외력 환경구현을 위하여 석영램프를 이용한 복사가열기와 하중부가 시스템을 사용하였으며, 소성을 가미한 탄소성 유한요소 해석을 병행하여 열기계적 거동을 파악하였다. 시험은 외력 유지 상태에서 일정 온도 유지환경과 10 ℃/sec의 가열률 환경하에서 이루어졌다. 해석 및 실험에 의한 결과들을 이용하여 가열환경에 따른 구조물의 거동 특성을 파악하였으며, 상온에서의 구조강도 결과와 비교 고찰하였다. 본 연구를 통하여 초음속 비행체와 같이 외력과 열 환경을 경험하는 구조물에 대한 실험 및 해석적 방법을 제시하였고, 획득된 자료들은 비행체 내열 구조 설계시 열적 강도 판단의 참고자료로 활용될 수 있을 것이다.