• 제목/요약/키워드: 보정가공

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웨이퍼 본딩 장비용 Uniform Press 개발 (Development of Uniform Press for Wafer Bonder)

  • 이창우;하태호;이재학;김승만;김용진;김동훈
    • 대한기계학회논문집 C: 기술과 교육
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    • 제3권4호
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    • pp.265-271
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    • 2015
  • 스마트폰을 비롯한 고성능 모바일 전자기기의 발전에 따라서 경박단소한 전자부품의 요구가 커지고 있으며 이를 위해서 새로운 패키징 방법이 탄생하고 있다. 이러한 새로운 패키징 공정에서 웨이퍼 본딩 공정이 많이 요구되고 있다. 웨이퍼 본딩에서 많이 활용되는 방법이 열 압착 방법으로 가열된 헤드로 웨이퍼에 압력을 가하여 본딩하는 방법이다. 열 압착 방법에서 요구되는 공정조건은 온도 균일성과 Uniform Press이다. 온도 균일성은 마이크로 히터와 열 해석을 통한 설계로 비교적 쉽게 요구조건을 만족 시킬 수 있지만 Uniform Press를 가공과 조립으로만 요구조건을 만족시키기 위해서는 매우 높은 정밀도가 요구된다. 열 압착 방법은 고온에서 동작되므로 열 변형에 대한 기계적인 오차를 고려하여 설계, 가공, 조립이 진행되어야하므로 많은 어려움이 따른다. 본 연구에서는 Air 스프링과 Metal Form의 자가 보정장치를 이용하여 가공, 조립, 열 변형으로 발생하는 기계적 오차를 보상하여 성능과 신뢰성을 향상시켰다.

영역교차법, 왜곡각 분류자 및 명암도 상관행렬 특징자를 이용한 실시간 섬유 성량 검사 시스템 (Real-Time Textile Dimension Inspection System Using Zone-Crossing Method, Distortion Angle Classifier and Gray-Level Co-occurrence Matrix Features)

  • 이응주;이철희
    • 한국멀티미디어학회논문지
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    • 제3권2호
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    • pp.112-120
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    • 2000
  • 본 논문에서는 섬유 제직 공정시 섬유 제품의 질에 영향을 미칠수 있는 섬유 결함, 결함의 위치 검출 뿐만 아니라 이동중인 섬유의 왜곡각 분류 및 섬유의 밀도를 측정할 수 있는 실시간 섬유 성량 검사 시스템을 구현하였다. 구현된 시스템에서는 잡음 문제와 실시간 처리를 위하여 광학적 렌즈로부터 섬유의 위사 부분만을 추출한 후 영역 교차법을 적용하여 섬유의 밀도를 측정하였으며, 획득된 위사 영상으로부터 평균 기울기와 가우시안 기울기 분류자를 사용하여 고속 이동 섬유 가공 공정시 발생할 수 있는 섬유의 왜곡각 분류를 통해 왜곡각 보정을 하였다. 또한 명암도 상관 행렬 특징자를 이용하여 섬유의 결함 검사와 겸함 위치를 추출하도록 하였다. 제안한 알고리즘을 적용하여 구현한 섬유 성량 검사 시스템은 고속 이동 섬유 가공 공정에 있어서 실시간으로 섬유의 밀도 계산과 섬유 결함 검출이 가능하며 섬유 염색, 제직 및 가공공정에 있어서 섬유의 상태를 모니터링 및 제어함으로써 고품질의 섬유 제품 생산이 가능하다.

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항공기에 탑재된 DGPS/INS 복합항법 장치의 비행 시험 성능 평가를 위한 기준궤적의 Lever Arm 보정 (Lever Arm Compensation of Reference Trajectory for Flight Performance Evaluation of DGPS/INS installed on Aircraft)

  • 박지희;이성우;박덕배;신동호
    • 한국항공우주학회지
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    • 제40권12호
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    • pp.1086-1092
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    • 2012
  • 항공 산업의 발전에 따라 정밀하고 신뢰성 높은 항법 정확도를 제공하기 위하여 DGPS/INS 복합항법 장치에 대한 많은 연구가 수행되고 있다. 이러한 항법 시스템의 항법 정확도는 항공기의 안전성과 신뢰성에 직접적인 영향을 끼치기 때문에 항법 시스템의 비행시험 검증은 매우 중요하다. 특히 DGPS/INS 복합항법 장치와 같은 높은 수준의 위치 정확도를 가지는 항법시스템을 검증하기 위해서는 보다 정확한 비행 항법 성능 평가기법이 필요하다. 항법 성능 검증은 DGPS/INS보다 정밀한 항법 정확도를 가지는 기준 궤적과의 비교 분석을 통해 이루어지며 기준 수신기는 수 cm수준의 CDGPS 후처리 기법이 가능한 GPS 수신기를 사용해야 한다. 일반적으로 DGPS/INS 복합항법 장치의 출력 점은 항공기의 무게중심점으로 GPS 안테나의 위치를 출력하는 GPS 수신기와 다르기 때문에 출력데이터의 가공없이 성능 평가를 진행할 경우 추정 오차에 안테나 위치와 항공기의 무게중심점간 거리 오차가 포함된다. 따라서 보다 정확한 항법 성능 평가를 위하여 기준 궤적 생성을 위한 GPS 수신기의 Lever Arm 보정이 필요하다. 본 논문에서는 DGPS/INS 복합항법장치의 비행항법 성능 검증을 위하여 기준궤적의 Lever Arm 보정을 포함한 비행시험 성능평가 절차 및 비행 시험 결과를 제시한다.

Reverse Engineering을 위한 보간곡선, 곡면의 가공 및 오차 보정 (Manufacturing and error compensation of interpolated curves and surfaces for reverse Engineering)

  • 양재봉
    • 한국공작기계학회:학술대회논문집
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    • 한국공작기계학회 1997년도 추계학술대회 논문집
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    • pp.230-234
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    • 1997
  • Reverse engineering involves digitizing a three-dimensional model or part converting the data to a CAD database description and manufacturing by CNC. Currently, the digitization is done through measurements taken manually by a CMM or touch probe mounted on a CNC machinetool. Some reverse engineering techniques require close integration between the data collection method and the surface-fitting algorithms. Accurate surface data are collected by input to the surface fitting method. This study has been found that both the smoothness of surfaces and accuracy of surface fitting are related with the degree of the interpolated surfaces.

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평면 오차 보정 가공을 위한 측정 방법에 관한 연구 (A Measurement Method to Compromise Surface Error in Machined Workpieces)

  • 장문주;홍성욱;박천홍
    • 한국정밀공학회:학술대회논문집
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    • 한국정밀공학회 2002년도 춘계학술대회 논문집
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    • pp.409-412
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    • 2002
  • This paper presents a measurement method to compromise surface error in surface machining processes. In order to compromise the surface error in machining process, on-machine measurement is essential. There are two kinds of on-machine measurement methods available to measure the surface errors in flat workpieces: i.e., surface scanning method and sensor scanning method. However, motion errors are inevitably engaged in both methods. This paper proposes a new idea to measure the surface error for error compensation. The measurement system consists of a laser, a CCD camera and processing system, a carrier system with a stylus, and some optical units. The experimental results show that the proposed method is useful to compensate the surface errors of machined workpieces.

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베어링 궤도 선삭가공용 총형공구의 형상보정에 관한 연구 (Study on Compensation for Shape of Formed Tool for Turning of Bearing Raceway)

  • 문호근;정재헌;문석찬;전만수
    • 한국정밀공학회:학술대회논문집
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    • 한국정밀공학회 2005년도 춘계학술대회 논문집
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    • pp.426-429
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    • 2005
  • In this study, the formed tool is used to machine of bearing raceway and a shape compensation scheme is proposed to compensate for shape of it in turning process. It is introduced the conventional design method of the formed tool; a simple depth compensation method and a drawing compensation method. And it is performed to investigate in detail properties of the formed tool about a tool angle and problems of a turning process of bearing raceway using the formed tool. The applicability of the proposed scheme is examined by comparing the experimental results obtained by a new designed formed tool with those obtained by a conventional tool.

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고정밀 밀링가공을 위한 공구처짐 보정시스템 개발 (Development of a Tool Deflection Compensation System for Precision End-milling)

  • 최종근;양민양
    • 한국정밀공학회:학술대회논문집
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    • 한국정밀공학회 1993년도 추계학술대회 논문집
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    • pp.42-46
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    • 1993
  • This paper presents development of a pratical tool deflection compensation system in order to reduce the machining error by the tool deflection in the end-milling process. The system is a tool adapter which includes 2-axis force sensor for detecting tool deflection and 2-axis tool tilting device for adjusting tool position through computer interface in on-line process. In experiments, it is revealed that the force sensor applying parallel plate principle and strain gauge is proper to obtain dynamic process signal, and the tilting device using stepping motor and cam drive mechanism is suitable to have necessary action. By the system and control algorithm, it is possible to get precise machining surface profile without excessive machining error and overcut generated due to increased cutting force in more productive machining condition.

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무인화 가공공정 최적화 및 자율대응 기술에 관한 기반연구 (A basic study on Unmanned Machining Process Optimizing and Autonomous Control)

  • 김동훈;송준엽
    • 한국정밀공학회지
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    • 제29권4호
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    • pp.367-372
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    • 2012
  • The biggest factors that lower the machining accuracy are thermal deformation and chatter vibration. In this article, we introduce the study case of technology that can automatically compensate the errors of these factors of a machine during processing on the machine tool's CNC(Computerized Numerical Controller) in real time. This study is related to the detection and compensation of thermal deformation and chatter vibration that can compensate for faster and produce processed goods with more precision by autonomous compensation. In addition, this study is related to the active control of vibration during machining, monitoring of cutting force and auto recognition of machining axes origin. Thus, we attempt to introduce the related contents of the development we have made in this article.

베어링 궤도 선삭가공용 총형공구의 형상 보정기법 (Tool Shape Compensation Scheme for Formed Turning Tools Shape of Ball Bearing Raceways)

  • 문호근;정재헌;문석찬;전만수
    • 한국정밀공학회지
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    • 제25권3호
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    • pp.50-55
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    • 2008
  • In this paper, we propose a new shape compensation scheme to make up for the difference in groove radius between the formed tools and the machined bearing raceways, which inherently takes place during machining the ball bearing raceways by the turning process using conventional formed tools. The associated conventional methods of the formed tool design and its modification such as a simple depth compensation method and a graphical compensation method are introduced and the latter, which has been known to be the better of the two, is experimentally investigated in detail to reveal its drawback. The algorithm is given and it is applied to develop a formed tool design program. The program developed by the presented approach is successfully applied to design the formed turning tool for the bearing raceways.

미세 가공 기술로 제작된 위상 및 방향 변조용 공간 빛 변조기 (A micromachined spatial light modulator for phase and amplitude modulation)

  • 정석환;김용권
    • 한국광학회:학술대회논문집
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    • 한국광학회 2000년도 제11회 정기총회 및 00년 동계학술발표회 논문집
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    • pp.36-37
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    • 2000
  • 최근 Micro-Opto-Electro-Mechanical(MOEMS)기술의 발달과 더불어 적응 광학(Adaptive optics)분야나 패턴 인식 분야에 적용 가능한 공간 빛 변조기의 개발이 이루어지고 있다. 적응 광학용 공간 빛 변조기는 대기의 turbulence에 의하여 왜곡된 빛의 위상을 파면 센서(wave sensor)와 실시간 제어기를 통해 보정하는 역할을 한다. 적응 광학 분야에서 상업적으로 사용되던 기존의 공간 빛 변조기는 전왜소자 배열(piezoelectric actuator array)에 의하여 지지되는 평면 거울을 사용하여 크기가 크고 전력 소비도 심하며 무엇보다도 가격이 비싸다는 단점이 있었다$^{(1)}$ . 그러나 MOEMS 기술의 적용으로 인해 공간 빛 변조기의 크기 및 무게 그리고 소비 전력이 줄어들었으며 반도체 공정을 통한 대량 생산으로 저가로 생산할 수 있게 되었다. (중략)

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