• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2004년도 추계학술대회 논문집
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• pp.1339-1343
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• 2004

This paper presents a development of the control algorithm and Pick & Placer. The Pick & Placer provides a powerful multi-task system that includes both graphical and remote interface. Users can easily set up sorting parameters and record important data including wafer number, data, and operator information. This System sets up a dustproof device and massively machined components to provide an extremely stable sorting environment. Precise resolution and accuracy result from using machine vision, a pneumatic slide drive and close -looped positioning.

• 한국정밀공학회지
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• 제20권10호
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• pp.22-30
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• 2003

• 대한기계학회:학술대회논문집
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• 대한기계학회 2005년도 창립60주년 기념 추계 학술대회
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• pp.156.2-156.2
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• 2005

• 대한전기학회:학술대회논문집
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• 대한전기학회 2005년도 춘계학술대회 논문집 전기기기 및 에너지변환시스템부문
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• pp.43-45
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• 2005

A High precision position control technique is used in many kind of industry areas. Especially this is to be one of the important parts in the development of precision machines. To get high precision and long range, dual servo voice coil motor(VCM) has been designed and implemented. In this paper, as a simulation and experimental result, the developed dual servo VCM shows the applicable possibility for precision machine system.

• 한국정밀공학회지
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• 제25권6호
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• pp.33-39
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• 2008

• 한국정밀공학회지
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• 제20권12호
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• pp.64-72
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• 2003

This paper presents a small loading and positioning device using VCM (voice coil motor). The developed device consists of a VCM-based linear actuating system, a capacitance displacement sensor and a cantilever deflection sensing system. The trust force of the VCM proportional to applied current moves the column supported on two pairs of parallel leaf springs. The infinitesimal displacement of moved column is detected by capacitance displacement sensor with a resolution of 0.1nm and a repeatability of 1nm. Also, a micro cantilever with known stiffness (200N/m), which is mounted on the end of the column, is used as a force sensor to detect the load applied to a specimen. After the cantilever contacts with the specimen, the deflection of cantilever and the load applied to the specimen are measured by using an optical lever system which consists of a diode laser, a mirror and a PSD (position sensitive detector). In this paper, an experimental system was constructed and its actuator and sensing parts were tested and calibrated. Also, the constructed system was applied to the indentation experiment and the load-displacement curve of aluminum was obtained. Experimental results showed that the developed device can be applied for performing nano indentation.

• 디지털콘텐츠학회 논문지
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• 제19권4호
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• pp.615-620
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• 2018

당뇨병성 다발성 신경병증 환자들을 진단하는 전류지각 역치 시험과 진동 감각 지각 역치의 임상학적 유용성에 대한 평가는 당뇨병성 다발성 신경병증에 대한 진단방법 중의 하나이다. 현재까지 당뇨병성 다발성 신경병증 환자들에 대해 몇 가지 방법들이 사용되어 왔는데, 예를 들면, 하지 신경병증 장애 시험, 신경전도 시험, 냉각감지 역치 시험, 열-고통 역치 시험 등을 들 수 있다. 그러나, 이들 대부분의 시험은 고가이거나 시험하는데 많은 시간을 필요로 한다. 본 논문에서는 진동 감지 능력을 평가하는 새로운 기구가 소개되고, 이를 위해 환자의 말초 신경을 자극하는 보이스 코일 모터(voice coil motor)와 전류 증폭기를 제작하였다. 또한, 당뇨병성 다발성 신경병증 환자들의 정량적 진동 감지 수준을 측정하기 위하여 진동 감지 역치 시험을 센싱하고 구동하는 소프트웨어가 개발되었다.

• 한국반도체및디스플레이장비학회:학술대회논문집
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• 한국반도체및디스플레이장비학회 2006년도 추계학술대회 발표 논문집
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• pp.145-149
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• 2006

반도체의 고집적화와 LCD의 대형화로 인해 웨이퍼 및 LCD 검사용 스테이지의 성능 향상이 요구된다. 본 논문에서는 고속의 검사속도, 서브마이크론의 검사 정밀도, 그리고 대행정 구동을 위한 이중 서보 시스템을 제안하였다. 이중 서보 시스템은 선형모터로 구동되고 공기베어링으로 가이드 되는 조동 구동부와 보이스 코일 모터(VCM)로 구동되고 공기베어링으로 가이드 되는 미세 구동부로 구성된다. 검사 효율을 향상시키기 위한 고속 세틀링을 위한 제어기로서 시간 최적 제어 기법과 시간 지연 제어기를 결합한 모드 변경 제어기를 제안하고 이중 서보 시스템에 구현하여 성능을 평가하였다.

• 전력전자학회논문지
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• 제22권3호
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• pp.207-215
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• 2017

The superior performance of the spherical actuator is establishing a new trend in the industry. Spherical actuators can perform multiple degrees-of-freedom (DOF) motions by using only one actuator. Therefore, a multi-DOF device using the spherical actuator can reduce weight and simplify the structure. This paper proposes a new spherical actuator that uses the operational principle of a rotational voice coil motor. The effectiveness of the actuator is verified through 3-D finite element method.

• 한국자기학회지
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• 제19권6호
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• pp.222-226
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• 2009

기존의 평판형 전자기 엑츄에이터에 쇼티드 턴을 적용한 새로운 형태의 평판형 전자기 엑츄에이터를 제안하였다. 기존의 평판형 전자기 엑츄에이터에서 발생하는 인덕턴스에 의한 초기응답 지연현상을 줄이기 위해 본 논문에서는 기존의 엑츄에이터의 요크와 요크 사이에 중간요크(center yoke)를 추가하고, 쇼티드 턴을 적용한 새로운 형태의 평판형 전자기 엑츄에이터를 제안 하고, 상용 자기장 해석 프로그램인 MAXWELL을 이용한 시뮬레이션을 통해 동적 성능 향상을 검증 하였다.