• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2004.11a
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• pp.258-260
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• 2004

산업 발전과 정보화 사회로 인한 전력 수요의 급증으로 안정된 전기에너지 공급을 위해 전력계통은 고전압 대용량화되고 있다. 따라서 전력계통 현장에서 많이 사용되고 있는 GIS에 결함이 발생하면 치명적인 사고를 유발할 수 있다. 본 논문은 모의 GIS내 도전성 금속이물질 존재 시 발생되는 부분방전 신호를 절연진단 방법 중 하나인 UHF법을 이용하여 부분방전 시 방사되는 Narrow Band 방사전자파를 측정하여 $SF_6$ 가스의 절연 특성을 연구하였다. 이러한 연구는 GIS 및 전력기기에 사용되는 $SF_6$ 가스의 절연 이상으로 인한 사고를 미연에 방지하기 위한 부분방전 탐지에 중요한 기초 자료가 될 것으로 사료된다.

• Proceedings of the Korea Air Pollution Research Association Conference
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• 2003.05b
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• pp.381-382
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• 2003

오존은 여러 가지 산업적 응용분야를 가지고 있으며 특히, 광범위한 환경공학적 응용분야를 가지고 있다. 오존생성을 위해 개발된 무성방전 공정이 비교적 최근부터 악취 및 VOC를 포함한 대기오염 물질의 제거를 위해 활용되어오고 있으며 이러한 공정내에서 오존의 발생은 공정내의 오염물질 제거에 중요한 역할을 하게 된다. 따라서, 본 연구에서는 무성방전 공정에서 유입기체의 조성이 오존발생에 미치는 영향에 관해 알아보고자 하였다 (중략)

• Journal of the Korean Institute of Illuminating and Electrical Installation Engineers
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• v.24 no.5
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• pp.160-168
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• 2010

This paper tried to find out NO generation and removal mechanisms in the space of the atmospheric pulsed barrier discharge using laser induced fluorescence method, which is a very effective approach to the measurement of spatio-temporal density of specific molecules. The propagation velocity of the primary streamer reaches about $2.7{\times}10^6$[m/s] and the secondary streamer is produced in the vicinity of positive electrode after the primary streamer finished. In this work, pulse Nd:Yag and Dye lasers are used for generating the specific wavelength of 226[nm], which is possible to excite NO molecules into $A^2{\Sigma}^+{\rightarrow}X^2{\prod}$(0,0) and fluorescence signals as the transition of $A^2{\Sigma}^+{\leftarrow}X^2$(0,2) is measured. For the effective removal of NO molecules in the plasma discharge process, the lower oxygen contents are needed and the influence of secondary streamer for the reduction mechanism of NO molecules is important

• Proceedings of the Safety Management and Science Conference
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• 1999.11a
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• pp.543-563
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• 1999

For hazardous air pollutants(HAP) such as NO and $NO_2$ decomposition efficiency, power consumption, and applied voltage were investigated by SPCP(surface induced discharge plasma chemical processing) reactor to obtain optimum process variables and maximum decomposition efficiencies. Decomposition efficiency of HAP with various electric frequencies(5~50 kHz), flow rates(100~1,000 mL/min) initial concentrations(100~1,000 ppm), electrode materials(W, Cu, Al), electrode thickness(1, 2, 3 mm) and number of electrode windings(7, 9, 11) were measured. Experimental results showed that for the frequency of 10 kHz, the highest decomposition efficiency of 94.3% for NO and 84.7% for $NO_2$ were observed at the poser consumptions of 19.8 and 29W respectively and that decomposition efficiency decreased with increasing frequency above 20 kHz. Decomposition efficiency was increased with increasing residence times and with decreasing initial concentration of pollutants. Decomposition efficiency was increased with increasing thickness of discharge electrode and the highest decomposition efficiency was obtained for the electrode diameter of 3mm in this experiment. As the electrode material, decomposition efficiency was in order : tungsten(W), copper(Cu), aluminum(Al).

• Proceedings of the Korean Society Of Semiconductor Equipment Technology
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• 2005.05a
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• pp.121-124
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• 2005

Getter는 진공을 이루고 유지하는데 사용되는 물질로, 잔존가스 및 불순가스를 흡수 & 제거하는 물질을 말한다. FPD나 PDP같은 평판 디스플레이는 내부에 진공을 요구하며 작동중에 발생하는 불순가스에 의해 진공도가 떨어져, plasma 방전시 방전개시전압이 상승하는 결과를 초래하기에 이에 적절한 getter의 필요성이 대두되고 있다. 본 연구의 최종 목적은 PDP 제조시 발생하는 잔존가스 및 운전중 발생하는 불순가스의 제거를 효율적으로 하여 PDP의 수명이 연장되는 고성능 getter 재료를 제조 하고자 하는 것이며, 이에 thermal plasma를 이용하여 nano size로 getter를 제조하였다. 전체적으로 $10\~30$ [nm] 크기의 Setter가 제조되었지만 응집이 많이 일어나 군집된 형상이 발생하였으며, 이는 입자가 완전히 성장하기까지 충분한 열을 받지 못하여 응집이 먼저 발생한 것으로 생각된다.

• Analytical Science and Technology
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• v.15 no.2
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• pp.108-114
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• 2002

The new system using a glow discharge atomic emission spectrometer for the direct analysis of solid samples has been developed and characterized. The system was consisted of new glow discharge cell improved previous gas-jet boosted nozzle and radio-frequency power supply. In the case of previous type glow discharge chamber, it had been fitted trace analysis of low alloy steel with low discharge power, because it was to decrease redeposition and increase sample weight loss. But it had a problem that plasma becomes unstale due to increased sample weight loss and redeposition resulting from the high discharge power. Because of being problem of previous glow discharge, it is impossible to analyze using high power. The modified gas-jet boosted glow discharge to solve this problem would improve to be less sample loss rate of modified nozzle than sample loss rate of previous nozzle on the equal discharge condition, and improve to increase stability of plasma. The effect of discharge parameters such as discharge pressure, gas flow rate and power on the sample loss rate, emission intensity has been studied to find optimum discharge conditions. The calibration curves of Fe were obtained with 3 low-alloy samples.

• Journal of the Korean Institute of Illuminating and Electrical Installation Engineers
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• v.21 no.2
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• pp.20-27
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• 2007

[ $SF_6$ ] gas for compacted power facilities has a important role as an insulation gas. It is very blown well that $SF_6$ gas has the superior characteristics as an insulation gas. For reliable operation of SF6-gas-based high and medium voltage equipment it is very important to keep the insulation ability within a safe range. And the experimental and measuring system were implemented. The test chamber designed to endure up to 3 atmospheric pressure. The analysis results of the experimental data shows that positive partial discharge can be detected by discharge current and UHF signal. Additionally it is shown the possibility that $CO_2$ gas sensor of semiconductor type can be detect the variation of $SF_6$ gas condition. The UHF sensor shows good feature to detect the variation of $SF_6$ gas condition for partial discharge and breakdown discharge.

• Proceedings of the Korean Institute of IIIuminating and Electrical Installation Engineers Conference
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• 2009.10a
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• pp.323-326
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• 2009

본 연구에서는 대기압 플라즈마의 처리 조건에 따른 ITO 필름의 접착력 향상을 위한 접촉각 및 표면에너지의 변화를 관찰하였다. 대기압 플라즈마의 처리 변수로는 반응 가스, 처리 속도 방전 전압 및 시료와 플라즈마 헤드 사이의 방전 캡이며, 측정된 접촉각을 이용하여 ITO 필름의 표면을 분석하였다. 그 결과는 방전 전압이 증가할수록 접촉각은 낮아졌으며, 시료와 플라즈마 헤드 사이의 방전 간격은 2.5[mm]에서 접촉각이 낮게 나타나 ITO 필름의 접착력 향상을 위한 친수성 물질로 표면 개질됨을 확인할 수 있었다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2010.08a
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• pp.111-111
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• 2010

헬리콘 플라즈마는 자기장을 이용하여 높은 전자밀도를 가지게 하는 플라즈마 소스이다. 이러한 장점에도 불구하고, 전자석의 크기 때문에 설치가 어렵고, 전자석을 작동시키기 위해 추가 파워에 대한 추가 비용이 필요하며, 플라즈마의 균일도가 좋지 않아 공정에서는 많이 사용되지 못하였다. 이러한 난점은 UCLA의 Chen이 영구자석을 이용한 새로운 개념의 소스를 개발함으로써 풀릴 수 있다. 이 소스는 헬리콘 플라즈마의 높은 저항을 이용하여 여러 개의 헬리콘소스를 병렬로 연결이 가능하게끔 한다. 본 연구에서는 우선 Helic Code를 이용하여 밀도에 따른 헬리콘 플라즈마의 실저항을 계산해 보았다. 계산된 실저항값을 바탕으로, 한 개의 헬리콘 소스를 방전하여 헬리콘 플라즈마의 밀도와 전자온도 등 내부 파라미터 및 저항과 페이즈값 등 외부 파라미터들을 측정하여 계산된 결과와 비교해 보았다. 대면적화에 적합한 플라즈마 소스로써의 가능성을 알아보기 위해, 아르곤가스를 이용한 4개의 튜브로 병렬 방전을 시행해 보았다. Langmuir Probe를 이용하여 측정된 전자밀도를 통해 ICP에서 헬리콘 mode로의 전이 및 균일도를 측정하였다. 측정된 결과로부터, 입력된 파워가 플라즈마에 효과적으로 전달되기 위한 방법을 제시하고, 압력에 따른 헬리콘 mode의 전자밀도 경향성을 통해 어떤 범위에서 헬리콘 방전이 가능한지 알아보았다.

• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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• 2012.11a
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• pp.181-182
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• 2012

본 연구에서는 반도체 기술의 핵심으로 알려있는 플라즈마 표면 처리 공정을 이용하여 인위적으로 그래핀과 기능기 반응을 통한 도핑효과를 일으켜, 전계효과(Electric Field Effect)를 인가하였을 때 그래핀 내에서 발생하는 Electron & Hole carrier 들의 accumulation & Depletion 효과에 의한 Charge Density 변화를 Graphene Field Effect Transistors (GFETs) 소자의 전기적 특성 변화를 확인하였다. 특히, 그래핀 내 Conduction of electron을 높이기 위하여, $N_2+H_2$ 가스 조합을 플라즈마 방전가스로 사용하였으며, Optical Emission Spectroscopy (OES) 및 Langmuir-probe 측정을 통하여 합성가스의 ICP 방전 상태 및 효과를 예측하였다.