• Proceedings of the International Microelectronics And Packaging Society Conference
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• 2007.04a
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• pp.1-26
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• 2007

• Proceedings of the International Microelectronics And Packaging Society Conference
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• 1999.11a
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• pp.27-30
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• 1999

• Proceedings of the International Microelectronics And Packaging Society Conference
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• 1999.11a
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• pp.85-88
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• 1999

• Proceedings of the International Microelectronics And Packaging Society Conference
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• 2000.11a
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• pp.137-140
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• 2000

• The Magazine of the IEIE
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• v.14 no.6
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• pp.46-52
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• 1987

• The Journal of the Korea institute of electronic communication sciences
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• v.7 no.4
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• pp.881-895
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• 2012

Micro-robots are utilized as useful tools in diagnosis and treatment of various human diseases. At present, lots of countries are developing and making many micro-robots. Government of S. Korea are trying to push ahead with the plan as technology policy, for the same reason. So this study examined about micro-robot technology development and trend of S. Korea, by using the method of SWOT(Strength-Weakness-Opportunity-Threat) analysis. As a result, the future policy for micro-robot of S. Korea is to further spur the development of new micro-robot technology and more improvement of the technology level of micro-robots registered by patent as 'micro-robot of bacterium base for lesion treatment' and 'micro-robot moved by compressive fluid'. Finally, It was already confirmed as high level, technology of 'micro-robot of bacterium base for lesion treatment' and 'micro-robot moved by compressive fluid' invented at S. Korea.

• Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics D
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• v.35D no.9
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• pp.48-53
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• 1998

We have fabricated electrostatic lens with novel structure by mixing surface- and bulk-micromachining technology. Polysilicon was used for both the structure and sacrificial layer, and the structure layer was passivated with thermal oxide in order not to be attacked during the silicon wet etching. Compared with conventional electrostatic lens used in microcolumn, this device has the advantages in ; 1) hole alignment, throughput, reliability, damage of lens, 2) the possibility of arrayed lithography through the integration of microcolumn.

• Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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• 2003.02a
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• pp.278-279
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• 2003

최근 정보, 전자, 광, 반도체 등 각종 첨단산업에서는 다양한 형태와 재료의 가공방법이 요구되고 있으며 요구되는 부품의 정밀도도 마이크로 단위에서 서브 마이크로 단위까지의 고도의 정밀도를 요하는 기술들이 점차 늘어가고 있다. 또 더욱 더 소형화 되어가고 있는 마이크로 부품은 기존의 2차원 및 준 3차원에서 완전한 3차원 형태의 기술로 발달하고 있으며 현재 연구가 활발히 진행되고 있는 MEMS 분야에서 구동부 부품이라든가 또는 그를 지지하는 구조체로 쓰일 수 있어 그 활용 가치는 응용에 따라 폭이 넓다고 할 수 있다. (중략)

• Electrical & Electronic Materials
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• v.8 no.1
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• pp.102-113
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• 1995

일반적으로 단결정 실리콘은 거의 모든 전자소자의 재료로서 널리 사용되고 있으며 제조공정기술 또한 상당한 수준에 도달하고 있다. 최근에는 실리콘 자체의 우수한 압저항효과, 기계적 특성 그리고 반도체 제조공정을 이용한 미세가공기술인 마이크로머시닝을 이용하는 반도체 압력센서에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다. 기계식 압력센서에 비해서 전기적 변화를 이용하는 반도체 압력센서에서는 소형, 저가격, 고신뢰성, 고감도, 다기능, 고분해, 고성능 및 집적화 등의 우수한 특성을 지니고 있다. 본고에서는 이러한 특성을 가지는 반도체 압력센서중 특히, 압저항형과 용량형 압력센서의 구조와 원리, 그리고 연구.개발동향 및 향후 전망에 관해서 기술하였다.

• Annual Conference of KIPS
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• 2011.11a
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• pp.194-197
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• 2011

스마트 기기의 급격한 발전, 의료분야와 IT 기술의 융합, 소비자들의 높아지는 요구로 인해 8 비트 이하 마이크로 컨트롤러의 활용도가 높아질 전망이다. 이 논문에서는 EISC구조의 8 비트 마이크로 컨트롤러인 NH800의 ISA를 소개하고, 마이크로 컨트롤러를 위한 오픈소스 컴파일러인 SDCC에서 사용하는 ASxxxx Tool을 이용한 NH800 어셈블러 포팅을 제시한다.