• 마이크로전자및패키징학회지
• /
• 제8권4호
• /
• pp.43-45
• /
• 2001

본 연구는 레이저 처리기술에 의한 $Li_2O-A1_2O_3-SiO_2$계 유리의 미세가공과 레이저에 의한 유리의 광활성반응에 관한 것으로서, 1064 nm와 355 nm의 파장을 갖는 Nd:YAG laser를 유리에 조사하여 유리의 파괴특성 및 광학적변화를 관찰하였다. 1064 nm레이저에 의한 유리의 파괴 부분은 광학현미경과 주사전자현미경 (SEM)으로서 파괴특성을 평가하였으며, 355 nm 레이저에 의한 유리의 변화는 흡수대역은 측정함으로서 그 광학적 특성을 나타내었다. 이와 같은 레이저에 의한 가공은 유리내부의 3차원적인 미세구조물 형성이나, internal waveguide, 또는 광 흡수대역의 변화에 따른 광기록방법으로 응용될 것으로 예상된다.

• 한국콘텐츠학회논문지
• /
• 제11권3호
• /
• pp.293-301
• /
• 2011

치과보철물의 소재는 생물 화학적, 물리적 안정성을 위하여 우수한 생체친화성이 요구된다. 그래서 본 연구에서는 새로운 기술인 레이저 선택용융 가공법으로 제작된 Co-Cr합금(SC시편), Ti합금(ST시편)을 일반적으로 사용되는 주조법으로 제작된 Co-Cr합금(CC시편), Ni-Cr합금(CN시편)과 비교분석하여 기계적 특성과 생물학적 안정성 평가를 실시하였다. 기계적 특성 평가를 위하여 인장시험을 통한 탄성계수를 측정하였다. 그리고 생물학적 안정성 평가를 위하여 유사체액(lactic acid-NaCl solution)을 이용한 용출물질 분석과 용출배지를 이용한 세포독성을 관찰하였다. 그 결과 레이저 선택용융 가공법으로 제작한 Co-Cr 합금이 주조법으로 제작한 Co-Cr합금보다 탄성계수가 높게 나타났다. 그리고 용출물질 분석과 세포독성 평가에서 레이저 선택용융 가공법으로 제작한 Co-Cr합금의 생물학적 안정성이 양호한 것으로 평가되었다. 결과에 의하여 레이저 선택용융 가공법으로 제작한 합금이 치과보철물 제작을 위한 합금으로 적용할 수 있는 것으로 판단된다.

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
• /
• 한국정밀공학회 2003년도 추계학술대회 논문요약집
• /
• pp.254-254
• /
• 2003

• 마이크로전자및패키징학회지
• /
• 제14권3호
• /
• pp.29-36
• /
• 2007

본 논문에서는 펨토초 레이저를 사용하여 정밀하고 효과적인 레이저 어블레이션 작업이 가능한지를 확인하기위한 수치 해석 및 가공 작업을 수행하였다. 이를 위하여 Si 재료 내부의 에너지 전달 메커니즘에 대한 수치해석을 실시하였으며, Si 웨이퍼에 각각 다른 조건으로 적용된 레이저 플루언스 값으로 $100\;{\mu}m$ 직경의 미세 관통 홀을 형성한 후, 광학현미경과 3차원 표면 형상 측정 장비를 사용하여 형성된 미세 관통 홀의 가공성과 열영향부의 발생 정도를 관찰하고 분석하였다. 실험 결과를 통해 레이저 플루언스 조건에 따른 열영향부의 발생 정도를 분석하였으며, 또한 최소한의 열영향부를 가지며 우수한 홀 가공성을 보이는 최적의 미세 관통 홀 가공 조건을 도출하였다.

• 대한기계학회논문집A
• /
• 제34권11호
• /
• pp.1765-1771
• /
• 2010

MEMS 소자의 공정에서 가공된 비아 홀 품질은 소자의 성능에 가장 중요한 요소의 하나이다. Nd:$YVO_4$ 레이저로 가공한 비아 홀에 대한 레이저 미세가공의 일반적인 특징을 설명하고 그것의 측정에 대한 효율적인 최적화 방법을 소개한다. 본 논문의 최적화 방법은 직교다항식, 분산분석과 반응표면최적화는 최적 레이저 공정변수를 결정하고 주요 영향을 이해하는데 사용된다. 유의한 레이저 공정변수를 확인하고 이의 비아 홀 품질에 관한 영향을 고찰하였다. 레이저 공정변수의 최적 수준을 가지는 확인 실험은 최적화 방법의 유효성을 설명하기 위해 수행하였다.

• 한국광학회:학술대회논문집
• /
• 한국광학회 2003년도 하계학술발표회
• /
• pp.2-3
• /
• 2003

오늘날 레이저는 수많은 종류가 등장하였으며 출력개선은 물론 장치의 규모도 나날이 Compact하게 발전하였다. 또한 그 활용성도 대단히 증가하여 의료, 과학, 군사분야를 시작으로 1990년에 이르면서 산업 전 분야에 파급되어 원자력, 전기／전자, 자동차, 반도체 등 주요산업의 제품수준을 향상시키는 핵심기술로 이용되고 있다. 레이저는 이와 같이 새로운 생산도구로서 위치를 확립 시키면서 산업분야의 다양성과 함께 가공산업에서 요구되는 레이저 관련 기술도 다양하게 진보하고 있는 추세이다. (중략)

• 한국레이저가공학회지
• /
• 제6권1호
• /
• pp.9-16
• /
• 2003

Micromachining using the DPSS 3rd Harmonic Laser (355nm) has outstanding advantages as a UV source in comparison with Excimer lasers in various aspects such as maintenance cost, maskless machining, high repetition rate and so on. It also has the greater absorptivity of many materials in contrast to other IR sources. In this paper, the process for micro-drilling of blind hole in Cu/PI/Cu substrate with the DPSS UV laser and the scanning device is investigated by the experimental methods. It is known that there is a large gap between the ablation threshold of copper and that of PI. We use the Archimedes spiral path for the blind hole with different energy densities to ablate the different material. Finally, the blind via hole of diameter 100$\mu\textrm{m}$ and 50$\mu\textrm{m}$ was drilled.

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
• /
• 한국정밀공학회 2003년도 춘계학술대회 논문집
• /
• pp.219-222
• /
• 2003

Self-Assembled Monolayers(SAMs) by alkanethiol adsorption to thin metal film are widely being investigated for applications as coating layer for anti-stiction or friction reduction and in fabrication of micro structure of molecular and bio molecular. Recently, there have been many researches on micro patterning using the advantages of very thin thickness and etching resistance in selective etching of thin metal film of Self- Assembled Monolayers. In this report, we present the micromachining thin metal film by Mask-Less laser patterning of alknanethiolate Self-Assembled Monolayers.

• 한국산학기술학회:학술대회논문집
• /
• 한국산학기술학회 2002년도 춘계학술발표논문집
• /
• pp.55-58
• /
• 2002

본 논문은 쾌속제작법을 이용한 임의형상을 가공하는 새로운 방법의 개념을 소개하고 있다. 본 시스템은 레이저 절단, 이송, 적층, 소결의 단계를 통하여 세라믹재료로 된 임의형상을 가공할 수 있다. 시스템을 구성하는 주요장비로는 레이저발생장치, X-Y테이블, 이송시스템, 그리고 전기로 등이 있다. 이 시스템을 사공하면 표면의 거칠기가 매끄러운 형상을 상대적으로 짧은 시간에 제작할 수 있는 장점이 있다. 또, 2차 공정을 거치지 않고, 바로 물체를 제작할 수 있어 효율성이 높다고 할 수 있다. 제작된 모형은 바로 조립되어 사용할 수 있기 때문에 응용분야가 다양하다.

• 한국레이저가공학회지
• /
• 제15권1호
• /
• pp.10-14
• /
• 2012

Pulse laser welding was performed on C22 metal bellows. The results can be summarized as follows: Laser welded metal bellows had less thermal distortion, narrow HAZ, high aspect ratio in comparison with other welding processes like TIG, Plasma welding. Laser welded bellows has higher tensile strengths than that C22 base metal. The value of hardness in laser weld metal was measured 100-120 Hv, it was decreased compared to the base metal. It is reasoned that due to the annealed by heat input during the laser welding.