• Title/Summary/Keyword: 두께 측정

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Carotid intima-media thickness by using time varying analysis (경동맥 내중막 두께의 시변동성 분석에 관한 연구)

  • Choe, Hyeong-Min;Jang, Seung-Jin;Jang, Hak-Yeong;Gang, Ji-Yun;Kim, Won-Sik
    • Proceedings of the Korean Society for Emotion and Sensibility Conference
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    • 2009.05a
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    • pp.207-208
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    • 2009
  • B-모드 초음파를 이용한 경동맥 내중막 두께(IMT intima-media thickness) 측정은 관상동맥 질환이나 허혈성 뇌질환 위험도의 독립적인 인자로 매우 중요하다. 본 연구에서는 NTSC(national television system committee) 방식으로 경동씩 초음파 동영상신호를 획득하여 프레임으로 나누어 각각의 IMT를 측정하였다. 각각의 측정값을 시간축으로 재구성하여 시간도메인에서 IMT 의 시변동성을 분석하였다. IMT 시변동성 분석을 통하여 상대적으로 부정맥피험자가 정상피험자에 비해 IMT 평균값이 작아 위험도가 낮다고 평가 될 수 있지만 시변동성 분석으로 IMT 평균값이 작아도 혈관의 기능적 특징이 부족하여 위험도가 높다는 것을 알 수 있었다. 경동맥의 형태적 특징과 기능적 특징을 반영하는 이 분석방법은 경동맥 내중막 두께측정의 신뢰성을 향상시키며 관련질환의 위험도와 중증도를 세분화 할 수 있는 새로운 방법이 될 수 있을 것이다.

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Measurement of Thin Film Thickness of Patterned Samples Using Spectral Imaging Ellipsometry (분광결상 타원계측법을 이용한 패턴이 형성된 나노박막의 두께측정)

  • 제갈원;조용재;조현모;김현종;이윤우;김수현
    • Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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    • v.21 no.6
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    • pp.15-21
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    • 2004
  • 반도체 제조산업과 나노, 바이오 산업의 비약적 발전에 따라 게이트 산화막(gate oxide)과 같이 반도체 제조공정에서 사용되는 유전체 박막(dielectric film)의 두께는 수 $\mu\textrm{m}$에서 수 nm 에 이르기까지 다양할 뿐 아니라 얇아지고 있으며, 또한 이러한 박막들이 다층으로 복잡하게 적층된 다층 박막의 응용이 높아지는 추세이다. 따라서, 반도체 및 광통신 소자, 발광소자, 바이오 칩 어레이 등과 같은 나노박막을 이용하는 산업에서는 박막의 두께 측정을 더욱 정확하고, 보다 빠르며 효율적으로 측정할 수 있는 박막 두께 측정용 계측기가 요구된다.(중략)

Determining the Thickness of a Trilayer Thin-Film Structure by Fourier-Transform Analysis (푸리에 변환을 이용한 3층 구조 박막의 두께 측정)

  • Cho, Hyun-Ju;Won, Jun-Yeon;Jeong, Young-Gyu;Woo, Bong-Ju;Yoon, Jun-Ho;Hwangbo, Chang-Kwon
    • Korean Journal of Optics and Photonics
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    • v.27 no.4
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    • pp.143-150
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    • 2016
  • The thickness of each layer in a multilayered system is determined by a Fourier-transform method using spectroscopic reflectance measurements. To verify this method, we first generate theoretical reflectance spectra for three layers, and these are fast-Fourier-transformed using our own Matlab program. Each peak of the Fourier-transformed delta function denotes the optical thickness of each layer, and these are transformed to physical thicknesses. The relative thickness error of the theoretical model is less than 1.0% while a layer's optical thickness is greater than 730 nm. A PI-(thin $SiO_2$)-PImultilayeredstructure produced by the bar-coating method was analyzed, and the thickness errors compared to SEM measurements. Even though this Fourier-transform method requires knowing the film order and the refractive index of each layer prior to analysis, it is a fast and nondestructive method for the analysis of multilayered structures.

Development of Tilt angle measurement system of plastic thin-film using Position Sensitive Device (PSD를 이용한 플라스틱 박막 필름의 경사 각도 측정 시스템 개발)

  • Kim, Gi-Seung;Park, Yoon-Chang
    • Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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    • v.22 no.2
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    • pp.134-138
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    • 2021
  • Various types of precision plastic thin films are used widely in high-performance displays, such as smartphones. For plastic thin-films manufactured by the Roll-to-Roll process, the film thickness must be measured and managed while moving. In the Roll-to-Roll process, wrinkles are generated when tension is applied to the film, which causes an inclination on the optical axis of the thickness gauge, resulting in a loss of accuracy. Therefore, this study attempted to develop an optical interference tomography measurement system. In this study, the tilt angle of the film was measured to correct the measurement value error in the thickness gauge caused by the tilt of the film. The system was constructed so that the laser was irradiated on the tilted film, and the laser reflected from the film was formed on the PSD. The relationship between the tilt angle of the film and the output value of the PSD was obtained experimentally. Using this, a device to measure the tilt angle of the film was constructed, and angle measurements were taken at a speed of 250,000Hz.

전산모사를 통한 Schottky Barrier MOSFETs의 Schottky Barrier 높이 측정 방법의 최적화 연구.

  • Seo, Jun-Beom;Lee, Jae-Hyeon
    • Proceeding of EDISON Challenge
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    • 2014.03a
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    • pp.450-453
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    • 2014
  • 쇼트키 장벽 모스펫(Schottky barrier MOSFETs : SB-MOSFETs)은 SB높이(${\Phi}_B$)에 매우 민감하다. 그래서 ${\Phi}_B$를 줄이는 공정 방법에 대한 연구가 활발히 진행 중이다. 이러한 ${\Phi}_B$를 측정할 때, SB-MOSFETs에서가 아닌 SB 다이오드에서 측정이 이뤄지고 있다. 본 논문에서는 ${\Phi}_B$를 SB-MOSFETs에서 측정 할 수 있는 방법을 제안하고 전산모사를 통하여 채널의 길이와 두께, Overlap / Underlap 구조, 온도 등에 대한 의존성을 살펴 보았다. 그 결과 채널의 길이와 두께, Overlap / Underlap 구조에 따른 의존성은 없는 것으로 확인되었다. 하지만 20nm 이하의 채널의 소자에 대해서는 소스/드레인간 터널링 전류로 인해 정확한 ${\Phi}_B$ 측정이 불가능하였다. 그리고 저온에서 측정할 때 정확도가 높아짐을 확인하였다.

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Thin film thickness profile measurement using white light scanning interferometry (백색광 주사 간섭법을 이용한 박막의 두께 형상 측정법)

  • 김기홍;김승우
    • Korean Journal of Optics and Photonics
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    • v.10 no.5
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    • pp.373-378
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    • 1999
  • White light scanning interferometry is increasingly used for precision profile metrology of engineering surfaces, but its current application is primarily limited to opaque surfaces with relatively simple optical reflection behaviors. In this paper, a new attempt is made to extend the interferometric method to the thickness profile measurement of transparent thin film layers. An extensive frequency domain analysis of multiple reflection is performed to allow both the top and bottom interfaces of a thin film layer to be measured independently at the same time using nonlinear least squares technique. This rigorous approach provides not only point-by-point thickness probing but also complete volumetric film profiles digitized in three dimensions.

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Intelligent algorithm for automatical measuring FPD thickness (FPD용 박막 두께 자동 측정을 위한 지능화 알고리즘)

  • Mun Chan-U;Choi U-Gyeong;Kim Seong-Hyeon;Kim Yong-Min;Jeon Hong-Tae
    • Proceedings of the Korean Institute of Intelligent Systems Conference
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    • 2006.05a
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    • pp.231-234
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    • 2006
  • 과거 디스플레이 장치로서 사용되던 CRT를 대신하여, 상대적으로 두께가 않고 가벼운 영상장치인 평판 디스플레이(Flat Panel Display, FPD)의 사용이 급증하고 있다. 이렇게 평판표시장치(Flat Panel Display) 산업의 폭발적인 성장과 함께 새로운 공정개발을 통해 짧은 시간에 더 많은 양을 생산하고, 불량률을 낮추는가에 생산업체의 사활이 달려있다. 본 논문은 FPD 공정에서 품질을 결정하는 여러 요인 가운데 비중이 큰 박막 두께의 제어를 지능화 알고리즘을 통해 해결하고자 한다. 이는 불필요한 과정을 줄여 공정경비를 절감 및 소요시간을 단축하고, 정밀하게 두께를 측정하는 것을 가능하게 한다. 마지막으로, 제안한 알고리즘을 광 간섭 두께 측정기를 통해 얻은 실제 값을 가지고 시료의 두께를 측정한다.

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Microhardness measurement for a few micron thick TiN thin films (수미크론 두께를 갖는 TiN코팅층의 미소경도 측정법)

  • Jo, Yeong-Rae;Fromm, E.
    • Korean Journal of Materials Research
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    • v.5 no.3
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    • pp.310-315
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    • 1995
  • 기계적으로 연마한 고속도강과 구리 두 종류의 서로 다른 기판상에 dc 마그네트론 스파터법으로 TiN 박막을 성막시켜 코팅층의 비커스 미소경도를 측정하였다. 압입체의 침투깊이와 시험하중과의 관계를 log-log 좌표상에 도시함으로써 기판의 영햐응ㄹ 받지 않고 코팅층만의 경도를 측정할수 있는 최대하중인 임계하중(critical load)을 구할수 있었다. 임계하중을 가했을 때 압입체의 침투깊이와 코팅층 두께간의 비율은 코팅층의 두께에 무관하였고 기판의 경도에 크게 의존하였다.

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A Research of Documents Similarity Measuring Based on Word Weight (단어가중치 기반 문서간 유사도 측정에 관한 연구)

  • 김혜숙;박상철;김수형
    • Proceedings of the Korea Multimedia Society Conference
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    • 2003.05b
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    • pp.198-201
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    • 2003
  • 사용자의 요구 사항을 정확히 분석하여 효과적으로 개발 단계에 적용하기 위해 문서간의 의존성, 즉 상·하위 문서간의 연계성 등을 측정할 수 있는 방법에 대한 연구가 절실한데 이를 위해 적게는 두 용어가 얼마나 밀접한 관련이 있는가를 나타내는 용어간의 유사도 정보가 중요시된다. 이에 본 논문은 임의의 두 문서에 대한 다양한 유사도 측정방법을 통하여 최적의 유사도를 알아보고 두 문서간 유사여부를 검증하기 위해 Neural Network을 적용하였다. 이러한 유사도 측정과 검증 방법은 분산환경에서 입력되는 요구사항 문서들을 효율적으로 분류, 관리해 줄 수 있으며 사용자 요구사항 분석과 전체 Project 수행에 좋은 기초자료를 제공해 줄 수 있다.

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Ultrasonic methods for measuring the cortical bone thickness in bovine tibia in vitro (생체 외 조건의 소 경골에서 초음파를 이용하여 피질골 두께를 측정하기 위한 방법)

  • Lee, Kang Il
    • The Journal of the Acoustical Society of Korea
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    • v.41 no.5
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    • pp.557-563
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    • 2022
  • The cortical bone thickness of the tibia is related to fracture risk and overall bone status. The present study aims to investigate the feasibility of two different ultrasonic methods for measuring the cortical bone thickness in bovine tibia in vitro. In the reflection technique, the tibial cortical thickness was determined from ultrasonic reflections from the periosteum and the endosteum producing specific peaks in the signal envelope. In the axial transmission technique, the tibial cortical thickness was determined from ultrasonic guided wave velocities measured along the axial direction of the tibia. The cortical bone thickness determined by using the reflection technique correlated significantly with that measured by using a caliper, with a Pearson's correlation coefficient of r = 0.97 (p < 0.0001). In contrast, the correlation coefficients for the axial transmission technique were r = 0.92 (p < 0.0001) for the first arriving signal method and r = 0.89 (p < 0.0001) for the slow guided wave method. Clinical feasibility should be demonstrated with an in vivo application to address the question whether the ultrasonic methods presented here could be useful as a screening tool for osteoporosis and potentially could be applied to other skeletal sites such as the femur and the radius.