• Title/Summary/Keyword: 두께감소

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Effects of the Bonding Structure and Thickness on the Leakage Current of Semiconductors as Insulators (반도체 절연박막의 두께변화와 결정성에 대한 누설전류의 의존성)

  • Oh, Teresa
    • Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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    • v.15 no.12
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    • pp.7283-7286
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    • 2014
  • SiOC films were prepared as insulators for displays by sputtering at low temperatures, and the relationship with the electrical properties waaas examined. The electrical properties of SiOC films were affected by the annealing process, and SiOC films annealed at 100oC showed a significant increase in thickness and a decrease in the reflective index. XRD revealed an increase in the degree of the amorphous structure. Moreover, the capacitance and leakage current of the SiOC films annealed at 100oC decreased. These characteristics of SiOC films highlight their potential as ideal insulators. Amorphous SiOC films by the reduction of polarization are dependent on the elongation effect of the bonding lengths in the structure and the thickness. The properties of these SiOC films are suitable for low temperature displays.

Fabrication and Magnetic Properties of Ultrathin Co-based Amorphous Alloy (코발트계 극박형 비정질합금의 형성과 자기적 성질)

  • 노태환
    • Journal of the Korean Magnetics Society
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    • v.8 no.5
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    • pp.255-260
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    • 1998
  • Fabrication condition and magnetic properties of ultrathin Co-based amorphous alloy have been investigated. When the ejection gas pressure was lower than 0.05 kgf/$\textrm{cm}^2$ at the roll speed of 55 m/s, ultrathin ribbons with the thickness less than 10 ${\mu}{\textrm}{m}$ were successfully obtained. The ribbon thickness decreased linearly with the decrease in ejection pressure. Moreover the significant decrease in ribbon width was accompanied with the decrease of thickness in the range of ejection pressure to form an ultrathin ribbon. This behavior was attributed to the decrease of effective ejection pressure in the both end-sides of rectangular nozzle due to the larger friction between molten metal and nozzle wall. The effective permeability at low frequency (1 kHz) decreased largely with the decrease in ribbon thickness, while the coercive force increased with the thickness decrease. It was considered that these behaviors were due to the enhancement of surface effect leading to the suppression of wall motion. However effective permeability at high frequency (1 MHz) increased with the decrease in ribbon thickness, and this was ascribed to the easier magnetization rotation owing to the reduction of eddy current.

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Thickness dependent dielectric properties of $BaTiO_3$/Sr$TiO_3$ Nano-structured artificial lattices (나노 구조로 된 $BaTiO_3$/Sr$TiO_3$ 산화물 인공격자의 두께 의존적인 유전특성)

  • 김주호;김이준;정동근;김인우;제정호;이재찬
    • Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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    • 2003.11a
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    • pp.56-56
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    • 2003
  • BaTiO$_3$, SrTiO$_3$단일막과 BaTiO$_3$ (BTO)/SrTiO$_3$ (STO) 산화물 인공격자를 pulsed laser deposition (PLD) 법에 의해서 100 nm 두께의 (La,Sr)CoO3 (LSCO) 산화물 전극이 코핑된 MgO 단결정 기판 위에 증착시켰다. 이러한 기판위에서 2 unit cell의 적층 두께를 갖는 BTO/STO 초격자 (=BTO2/STO2)를 100~5 nm까지 변화시켰다. 또한 BTO와 STO 단일막도 같은 두께로 변화시켰다. 이러한 두께 범위에서 BTO, STO 단일막과 초격자의 격자변형에 따른 유전특성을 살펴 보았다. 두께 변화에 따른 단일막과 초격자의 구조 분석은 포항 방사광 가속기의 x-ray 회절에 의해서 이루어졌다. 다양한 두께를 갖는 BTO2/STO2 초격자에서 BTO와 STO 충은 in-plane 방향으로 격자정합을 유지하면서 변형되었다. 두께가 얇아지면서 하부 LSCO영향으로 BTO, STO의 n-plane 격자상수는 LSCO 격자상수 쪽으로 접근하였다. Out-of-plane 방향의 BTO 격자상수는 두께가 얇아지면서 증가하였고 반면에 STO 격자상수는 감소하였다. STO와 BTO 단일막의 격자변형은 두께가 얇아지면서 in-plane 방향으로 압축응력으로 인해 증가하였다. 그러나, 격자부정합도가 큰 BTO격자에서 더 많이 변형되었다. 또한 초격자에서 BTO격자가 BTO 단일막보다 더 많이 변형되었는데 초격자에서는 BTO, STO 두 층의 발달된 변형뿐만 아니라 하부 LSCO/MgO 기판의 영향을 함께 받고 있기 때문이다. 초격자와 단일막의 유전상수를 살펴보면은 두께가 감소하면서 유전상수가 감소하는 size effect을 보이고 있다. 하지만 초격자에서의 유전상수가 단일막보다 우수한 유전특성을 보이고 있다. 이러한 결과로 볼 때 격자변형이 size effect 영향을 끼치는 중요한 요소임을 확인하였다.

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Poly Si Buffer-layer 도입에 의한 실리콘 양자점층 두께 증가에 따른 실리콘 양자점 태양전지 효율 향상

  • Baek, Hyeon-Jeong;Park, Jae-Hui;Kim, Tae-Un;Kim, Gyeong-Jung
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2012.08a
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    • pp.354-354
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    • 2012
  • 실리콘 양자점 태양전지는 실리콘이 nm 크기의 양자점으로 될 경우 밴드갭이 증가하여 태양광 중의 가시광선을 광전변환에 활용함으로써 효율을 향상시키는 차세대 태양전지이다. 그러나 실리콘 양자점이 SiO2 매질 내에 분포하므로 양자점층의 두께가 증가할 경우 박막의 직렬저항이 증가하여 일정 두께 이상이 되면 효율이 감소하는 결과를 가져온다. 본 연구에서는 두께증가에 따른 효율저하 문제를 해결하기 위해 다결정 실리콘으로 이루어진 완충층을 도입 하였다. 이를 위해 본 연구에서는 두 가지 형태의 실리콘 양자점 태양전지를 제작하여 광전변환 특성을 비교하였다. 첫 번재 구조는 B이 도핑된 단일 실리콘 양자점층 태양전지이다. 양자점층은 2 nm SiOx 층과 2 nm SiO2 층을 적층한 후 $1,100^{\circ}C$에서 20분간 질소 분위기에서 급속 열처리하여 제작하였다. 실리콘 양자점 층의 두께를 40 nm에서 200 nm까지 변화시키면서 효율을 측정한 결과 100 nm 정도에서 효율이 감소하기 시작하였다. 이러한 효율감소는 양자점층의 저항 증가에 따른 전류감소에 의함이 확인되었다. 이와는 대조적으로 실리콘 양자점 층의 저항을 줄이기 위해 실리콘 양자점층 내에 50 nm 간격으로 10 nm 두께의 B이 도핑된 다결정 실리콘층을 배치하는 실리콘 양자점 태양전지를 개발하였다. 이러한 실리콘 양자점 층의 두께를 증가시킬 경우 효율이 지속적으로 증가함을 관찰하였다. 이러한 두 가지 형태의 양자점층을 이차이온질량분석법으로 분석한 결과 단일 실리콘 양자점층의 경우 두께가 약 70 nm 정도부터 이온빔 스퍼터링에 의한 저항증가에 따른 대전현상 (charging)이 관찰되었으나 다결정 실리콘 층이 배치된 실리콘 양자점층에서는 전혀 대전현상이 발생하지 않았다. 이는 다결정 실리콘 층이 캐리어를 이동시키는 매개체 역할을 하는 것으로 해석될 수 있다.

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DC/RF 중첩형 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 ITO 초박막의 SnO2 함량에 따른 전기적 ,광학적 특성 및 미세구조 변화

  • Gang, Se-Won;Song, Pung-Geun
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2012.08a
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    • pp.280-281
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    • 2012
  • 차세대 디스플레이에서 3차원 감성 터치 또는 플렉시블 기판 등에 사용되고 있는 ITO(Tin-doped Indium Oxide) 박막은 고 해상도 및 소자 효율 향상을 위해 전 가시광 영역에서 높은 투과율이 요구되고 있다. 일반적으로 ITO 박막은 두께 감소에 따라 빛의 두께 산란 없이 전 가시광 영역에서 높은 투과율을 가지는 반면, 두께가 감소할수록 박막 성장 시 비정질 기판의 영향을 크게 받아 박막 결정성 감소와 더불어 전기전도성이 감소되는 경향을 보인다. 특히, 매우 얇은 두께에서의 ITO 박막 물성은 초기 박막 핵 생성 및 성장과 증착 공정 중에 발생하는 고 에너지 입자(산소 음이온, 반사 중성 아르곤 등)의 박막 손상에 대한 영향을 크게 받을 뿐만 아니라 ITO 박막 내의 SnO2 도핑함량에도 매우 의존한다. 따라서, 매우 얇은 두께에서 높은 투과율과 뛰어난 전기전도성을 동시에 가지는 고품질 ITO 초박막 제조를 위해서는 박막 초기 핵 성장 제어기술 및 SnO2 함량에 따른 ITO 초박막의 전기적, 광학적 거동에 관한 연구가 필요하다. 본 연구에서는 다양한 SnO2 함량에서 고품질의 ITO 초박막을 DC/RF 중첩형 마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 박막 증착 중에 발생하는 고에너지 입자의 기판충격으로 인한 박막손상을 최소화하여 증착된 박막의 전기적, 광학적 특성 및 미세구조를 관찰하였다. 그리고 전체파워에서 RF/(RF+DC) 비율을 제어하여 증착한 ITO 초박막의 물성을 최적화 하였으며, 상온 및 결정화 온도 이상에서 다양한 SnO2 함량을 가진 ITO 박막을 두께(150 nm, 25 nm)에서 각각 증착하여 전기적, 광학적 거동 및 XRD를 통한 박막의 미세구조 변화를 비교 분석하였다. 그리고 증착된 모든 ITO 초박막에서 가시광 투과율은 빛의 두께 산란 없는 높은 투과율(>85 %) 을 보이는 것을 확인 할 수 있었다. 증착된 ITO 박막의 전기적 특성 및 미세구조는 RF/(DC+RF)비율 50%에서 최적임을 확인하였다. 이는 RF/(DC+RF) 비율 증가에 따른 캐소드 전압 최적화로 박막의 초기 핵 성장 과정에서 기판상의 고에너지 입자로 인한 박막 손상의 감소 및 리스퍼터 되는 산소량을 최적화 시키고, 이는 박막의 결정성 향상으로 이어져, 박막내의 결함 밀도 감소 및 SnO2 고용 효율을 증가시켜 전기전도성 향상에 기인하였다고 판단된다. 또한, 증착된 ITO 초박막은 SnO2 함량 변화에 따라 박막의 결정성 및 전기적 특성에서 미세한 변화를 보였다. 이러한 ITO 박막의 물성변화는 박막 두께 감소에 따른 결정성 감소와 함께 SnO2의 고용 한계 변화로 인한 것으로 판단된다. 또한, RF/(DC+RF) 비율의 증가에 따른 ITO 초박막의 전기적, 광학적 및 미세구조는 Vp-Vf의 변화와 관련하여 설명되어 진다.

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Thickness Effects on the Fatigue Strength of Butt Welded Specimens using SM520C-TMC Steel (SM520C-TMC 강재의 피로강도에 대한 두께효과)

  • Kim, Kyoung Nam;Jung, In Su;Hwang, Nak Yeon;Jung, Kyoung Sup
    • Journal of Korean Society of Steel Construction
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    • v.16 no.6 s.73
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    • pp.847-855
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    • 2004
  • The criterion or specification on fatigue design has been generally based on fatigue strength curve derived by tests on specimens with varying thickness (10-30mm). Making the plate thicker, however, also decreases fatigue strength. It has been noted from the test results and the results of the analysis by fracture mechanics that the effect of thickness cannot be bypassed. From the several fatigue strength curves of specimen tests, modification of fatigue strength on plate thickness has been proposed. In this study, fatigue tests on SM520C-TMC were carried out, and the effects of thickness were evaluated. Finally, in consideration of the thickness, the modification of fatigue strength was derived. Comparing the results of this paper with those of previous studies, an outline of the behavior obtained is similar to previous ones, but the rate of decrease is smaller.

Numerical Analysis on the Design Variables and Thickness Deviation Effects on Warpage of Substrate for FCCSP (FCCSP용 기판의 warpage에 미치는 설계인자와 두께편차 영향에 대한 수치적 해석)

  • Cho, Seunghyun;Jung, Hunil;Bae, Onecheol
    • Journal of the Microelectronics and Packaging Society
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    • v.19 no.3
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    • pp.57-62
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    • 2012
  • In this paper, numerical analysis by finite element method, parameter design by the Taguchi method and ANOVA method were used to analyze about effect of design deviations and thickness variations on warpage of FCCSP substrate. Based on the computed results, it was known that core material in substrate was the most determining deviation for reducing warpage. Solder resist, prepreg and circuit layer were insignificant effect on warpage relatively. But these results meant not thickness effect was little importance but mechanical properties of core material were very effective. Warpage decreased as Solder resist and circuit layer thickness decreased but effect of prepreg thickness was conversely. Also, these results showed substrate warpage would be increased to maximum 40% as thickness deviation combination. It meant warpage was affected by thickness tolerance under manufacturing process even if it were met quality requirements. Threfore, it was strongly recommended that substrate thickness deviation should be optimized and controlled precisely to reduce warpage in manufacturing process.

The politic plan research for furniture industrial activation in the northern part of Gyeonggi-Province

  • Im, Kwang-Soon;Kim, Houn-Chul;Park, Byung-Dae
    • Journal of the Korea Furniture Society
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    • v.21 no.6
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    • pp.449-458
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    • 2010
  • This study attempted to investigate the effect of panel thickness on the horizontal density distribution (HDD) of medium density fiberboard (MDF) in a destructive way. Full size MDF panels with five different thicknesses such as 2 mm, 4.5 mm, 9 mm, 18 mm and 30 mm were cut into two different specimen sizes, i.e., $500{\times}500\;mm$ and $120{\times}120\;mm$ to measure the HDD. In general, the overall density of MDF panel diminished as the thickness increased, showing the highest density for the thinnest MDF panels. The HDD variation was significant for the samples of smaller specimen size ($120{\times}120\;mm$). MDF panel thickness significantly influenced to the HDD, which increased as the thickness decreased. In addition, the thinner panels showed much wider range in the HDD than those of thicker panels. The coefficient of variation (COV) of HDD also followed a similar trend to the panel density as the thickness increased. In summary, MDF panel thickness had a significant impact on the HDD within a panel. The sample size also showed a considerable effect to the HDD of MDF panels.

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Tension Stiffening Effect Considering Cover Thickness in Reinforced Concrete Tension Members (피복두께를 고려한 철근콘크리트 인장부재의 인장증강효과)

  • Lee, Gi-Yeol;Kim, Min-Joong;Kim, Woo;Lee, Hwa-Min
    • Journal of the Korea Concrete Institute
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    • v.23 no.6
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    • pp.791-797
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    • 2011
  • This paper presents the test results of 12 direct tensile specimens to investigate the effect of cover thickness on the tension stiffening behavior in axially loaded reinforced concrete tensile members. Six concrete cover thickness ratios are selected as a main experimental parameter. The results showed that, as cover thickness became thinner, more extensive split cracking along the reinforcement occurred and transverse crack spacing became smaller, making the effective tensile stiffness of thin specimens at the stabilized cracking stage to be much smaller than that of thick specimens. This observation is not implemented in the current design provisions, in which the significant reduction of tension stiffening effect can be achieved by applying thinner cover thickness. Based on the present results, a modified tension stiffening factor is proposed to account for the effect of the cover thickness.

Consideration of Optimized Thickness of Dielectric Layers in Miniaturization of Microwave Devices and Application of Aerosol Deposition Method (마이크로파 소자의 소형화에 있어서 유전체 막의 최적화 두께에 대한 고찰 및 Aerosol Deposition Method의 적용)

  • Kim, Yoon-Hyun;Lee, Dae-Seok;Lee, Ji-Won;Choi, Yoon-Seok;Lee, Young-Jin;Nam, Song-Min
    • Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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    • 2008.06a
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    • pp.349-349
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    • 2008
  • 유비쿼터스 시대를 맞이하여 현재의 전자제품은 고주파 환경에서의 소형화된 마이크로파 소자를 요구하고 있다. 현재 구현되고 있는 마이크로파 소자의 형태는 여러 가지 전송선로 중에 하나로서 금속의 그라운드면 위에 유전체 막을 형성하고 그 위에 금속선을 정밀하게 패터닝하여 각 종 소자를 연결하는 microstrip line의 형태가 많이 사용된다. 이러한 microstrip line 형태의 소자를 설계할 시에 소자 자체의 구조나 유전체 막이 그 소자의 성능을 크게 좌우한다. 여기서 유전체 막은 신호선과 그라운드면 간의 전자파를 집중시켜주어 방사손실을 줄여주는 역할을 한다. 유전체 막의 두께는 소자의 전체적인 크기를 결정하는 요인이 된다. 이는 유전체 막의 두께가 감소할 경우 50 $\Omega$ 임피던스 매칭을 위해 막 위에 형성되는 소자들의 선폭도 동시에 줄여야 하므로 소자의 소형화도 가능 하여진다. 하지만 유전체 막의 두께가 감소할 경우 전자파가 유전체 막에 집중되지 못하여 방사손실이 커지게 되고 소자의 성능이 저하된다. 이런 점을 고려할 때 소자의 소형화를 만족시키면서 동시에 소자의 성능을 유지할 수 있는 유전체 막의 최적화 두께에 대한 연구가 필요하다. 볼 연구에서는 유전체 막의 최적화 두께를 제시하기 위해 대표적 마이크로파 소자인 Edge-Coupled Filter에 대하여 3-D Electromagnetic Simulator로 설계하고 유전체 막의 두께와 Filter 성능 간의 관계를 연구하였다. Filter의 성능은 유지하도록 하면서 유전체 막의 두께를 감소시켜 나간 결과, 약 30 ~ 40 ${\mu}m$ 의 최적화 두께를 얻을 수 있었다. 한편 30 ~ 40 ${\mu}m$ 두께의 후막 공정을 고려할 때 기존의 성막공정으로는 성막시간, 공정의 난이도, 공정온도 등의 면에서 난점이 존재하며 이러한 점들을 극복할 수 있는 Aerosol Deposition Method의 적용 가능성에 대해서 연구하였다.

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