• Title/Summary/Keyword: 다중 챔버

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고효율 태양전지를 위한 ICP-RIE기반 결정질 실리콘 표면 Texturing 공정연구

  • Lee, Myeong-Bok;Lee, Byeong-Chan;Park, Gwang-Muk;Jeong, Ji-Hui;Yun, Gyeong-Sik
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2010.02a
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    • pp.315-315
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    • 2010
  • 결정질 실리콘을 포함하는 태양전지의 광전효율은 표면에 입사되는 태양광의 반사를 제외하면 흡수된 광자에 의해 생성되는 전자-정공쌍의 상대적인 비율인 내부양자효율에 의존하게 된다. 실제 생성된 전자-정공쌍은 기판재료의 결정상태와 전기광학적 물성 등에 의해 일부가 재결합되어 2차적인 광자의 생성이나 열로서 작용하고 최종적으로 전자와 정공이 완전히 분리되고 전극에 포집되어 실질적인 유효전류로 작용한다. 16% 이상의 고효율 결정질 실리콘 태양전지양산이 요구되고 있는 현실에서 광전효율 개선 위해 가장 우선적으로 고려되어야 할 변수는 입력 태양광스펙트럼에 대한 결정질 실리콘 표면반사율을 최소화하여 광흡수를 극대화하는 것이라 할 수 있다. 이의 해결을 위하여 대기와 실리콘표면 사이의 굴절률차이가 크면 클수록 태양광스펙트럼에 대한 결정질 실리콘의 광반사는 증가하기 때문에 상대적으로 낮은 굴절률의 $SiO_x$$SiN_x$와 같은 반사방지막을 광입력 실리콘표면에 증착하여 광반사율 저감공정을 적용하고 있다. 이와 더불어 결정질 실리콘표면을 화학적으로 혹은 플라즈마이온으로 50-100nm 직경의 바늘형 피라미드형상으로 texturing 함으로 광자들의 다중반사 등에 기인하는 광흡수율의 증가를 기대할 수 있기 때문에 태양전지효율 개선에 긍정적인 영향을 미치는 것으로 이해된다. 본 실험에서도 고효율 다결정 실리콘 태양전지 양산공정에 적용 가능한 ICP-RIE기반 결정질 실리콘표면에 대한 texturing 공정기술을 연구하였다. Double Langmuir 플라즈마 진단시스템(DLP2000)을 적용하여 사용한 $SF_6$$O_2$ 개스유량과 챔버압력, 플라즈마 파워에 따른 이온밀도, 전자온도, 포화이온전류밀도, 플라즈마포텐셜의 공간분포를 모니터링하였고 texturing이 완료된 시료에 대하여 A1.5G 표준태양광스펙트럼의 300-1100nm 파장대역에서 반사율을 측정하여 그 변화를 관찰하였다. 본 연구에서 얻어진 결과를 간략히 정리하면 Si texturing에 가장 적합한 플라즈마파워는 100W, $SF_6/O_2$ 혼합비는 18:22, 챔버압력은 30mtorr 등이고 이에 상응하는 플라즈마의 이온밀도는 $2{\sim}3{\times}10^8\;ions/cm^3$, 전자온도는 14~15eV, 포화전류밀도는 $0.014{\sim}0.015mA/cm^2$, 플라즈마포텐셜은 38~39V 범위 등이었다. 현재까지 얻어진 최소 평균반사율은 14.2% 였으며 최적의 texturing패턴 플라즈마공정 조건은 이온에 의한 Si표면원자들의 스퍼터링과 화학반응에 의한 증착이 교차하는 플라즈마 에너지 및 밀도 상태인 것으로 해석된다.

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Central Server Management System of AMOLED Aging Chamber Signal Generator (AMOLED 에이징 챔버 신호 생성기 중앙서버 관리 시스템)

  • Kim, Hankil;Lee, Byungkwon;Jung, Heokyung
    • Journal of the Korea Institute of Information and Communication Engineering
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    • v.21 no.6
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    • pp.1161-1166
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    • 2017
  • Recently, with the development of display technology, AMOLED(Active Matrix OLED) panel production and demand are increasing. Unlike LCD, AMOLED panel basically does not need backlight, so it can output clear images with low power consumption. Therefore, the AMOLED market is growing globally. Accordingly, the demand for inspection devices required for production is also expanding. The inspection device of the AMOLED panel aging system operates in conjunction with MES(Manufacturing Execution System) and MIS(Management Information System), and it is efficient to construct network environment. The inspection device used for panel aging is a pattern generator capable of outputting multiple signals. Efficient design is required to operate multiple signal generators. To solve this problem, the proposed system proposed a method for remotely controlling the signal generator remotely and a method for driving the AMOLED panel. And the timing and power setting results are presented.

Numerical Modeling of Very High Frequency Multi Hollow Cathode PECVD (Very High Frequency Multi Hollow Cathode PECVD 장치의 수치모델링)

  • Joo, Jung-Hoon
    • Journal of the Korean Vacuum Society
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    • v.19 no.5
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    • pp.331-340
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    • 2010
  • 3D fluid based numerical modelling is done for a VHF multi hollow cathode array plasma enhanced chemical vapor deposition system. In order to understand the fundamental characteristics of it, Ar plasma is analyzed with a condition of 40 MHz, 100 Vrf and 1 Torr. For hole array of 6 mm diameter and 20 mm inter-hole distance, plasma is well confined within the hole at an electrode gap of 10 mm. The peak plasma density was $5{\times}10^{11}#/cm^3$ at the center of the hole. When the substrate was assumed at ground potential, electron temperature showed a peak at the vicinity of the grounded walls including the substrate and chamber walls. The reaction rate of metastable based two step ionization was 10 times higher than the direct electron impact ionization at this condition. For $H_2$, the spatial localization of discharge is harder to get than Ar due to various pathways of electron impact reactions other than ionization.

다중 전원을 이용한 듀얼 랑뮤어 프루브 시스템을 통한 플라즈마 진단

  • Kim, Hyeok;Lee, U-Hyeon;Hwang, Gi-Ung
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2011.02a
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    • pp.214-215
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    • 2011
  • RF 플라즈마의 경우 일반적인 싱글 랑뮤어 프루브를 사용하여 I-V 파형을 구하는 경우에, 우리는 시평균한 값만을 구할 수 있다. 일반적인 플라즈마 반응 챔버의 구조상, 양 전극의 크기가 다르기 때문에, 시간에 따라 진동하는 플라즈마 포텐셜의 형태는 정확한 사인파의 형태가 아니다. 그렇기 때문에 플라즈마 포텐셜에 따라서 진동하는 데이터를 시평균한 값에는 DC 오프셋 성분이 나타난다. 이러한 DC 오프셋값은 랑뮤어 프루브를 통한 플라즈마 포텐셜 측정시에 오차로 나타난다. 우리는 DC 오프셋에 의한 에러값을 보정하기 위해 멀티 프루브를 사용할 수 있다. 가장 흔하게 쓰이는 듀얼 랑뮤어 프루브의 경우를 살펴보면, 내부의 전원이 플로팅되어 있으며 전압인가를 위한 회로 또한 접지에서 절연되어 있기 때문에, 플라즈마 포텐셜이 시간에 따라 흔들려도 전체적인 전위가 플라즈마 포텐셜과 함께 움직이기 때문에, 앞에서 말한 DC 오프셋에 의한 오차를 줄일 수있다는 장점이 있다. 그러나, 이를 위하여는 회로의 절대적인 플로팅이 필요하지만 실제 듀얼 랑뮤어 프루브의 전원 회로를 구현시에는, 트랜스포머 등을 사용하여 회로를 절연시켜도 회로에 기생적으로 발생하는 콘덴서 성분 때문에 플로팅에 영향을 받을 수 있다. 또한 양극과 음극 사이의 내부 임피던스가 다르게 나타난다. 실제로 기존의 듀얼 랑뮤어를 가지고 RF 플라즈마를 측정할 때에, 듀얼 랑뮤어 프루브의 두 팁 간에 서로 다른 전압-전류 파형이 나타나곤 한다. 이러한 두 팁간의 전압-전류 파형의 차이는 두 팁이 물리적으로 완전히 동일한 구조를 가질 수 없기 때문에 발생 하기도 하지만, 위에서 밝힌 원인에 의해서도 발생한다. 이로 인하여 듀얼 랑뮤어 프루브에 의한 I-V 파형은 이론 상 원점을 대칭으로 한 기함수의 형태이어야 하는데, 실제 측정 결과를 보면 이러한 대칭 형태의 모양을 보기 힘들다. 우리는 이에 이를 보정하기 위하여 위상이 180도 차이가 나는 두 개의 삼각파 발생 전원을 각각 듀얼 랑뮤어 프루브의 양 팁에 인가하여 두 팁 간의 내부 저항과 기생 임피던스 등을 일치시킨 프루브를 디자인하였으며 이 프루브를 이용한 실험에서, 비교적 완벽하게 원점에 대하여 대칭하는 I-V 커브를 구할 수 있었다. 이에 이 논문에서는 새로운 회로와 이 회로로 이루어진 듀얼 랑뮤어 프루브를 사용하여 플라즈마를 진단하는 방법에 대하여 기술한다.

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A Multi-chambered Single Autoinjector and KMARK-1 Containing Atropine and 2-PAM: Comparative Bioavailability Studies Using Single Intramuscular Injection with Beagle Dogs (아트로핀 및 팜 함유 다중챔버 단일주사기 및 KMARK-1: 비글개를 이용한 단회 근육투여 비교 생체이용률 연구)

  • Lee, Keunwoo;An, Seoyeon;Kwon, Taekeun;Jung, Inhong;Kim, Dongyeon
    • Journal of the Korea Institute of Military Science and Technology
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    • v.20 no.4
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    • pp.587-596
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    • 2017
  • In this study, multi-chambered single autoinjector(2in1) and KMARK-1 containing atropine and 2-PAM(pyridine-2-aldoxime methylchloride) were administered to the beagle's muscle, and blood samples were taken for a certain period of time to compare and evaluate the pharmacokinetic profiles of the two drugs. Male beagles were used and classified into two test groups(G1, G2), and crossover pharmacokinetic studies were performed in two test groups. Blood samples were collected from the jugular vein for analysis after administration. The 90 % confidence interval(CI) for log transformed data indicated that the Cmax for both atropine(log 0.9683 ~ log 1.113) and 2-PAM(log 0.9453 ~ log 1.214) was within the limits of bioequivalence criteria, but the AUC for atropine(log 1.1786 ~ log 1.3238) failed to meet this criteria. This is expected as the amount of atropine dose is 25 % higher for the test as compared to the reference formulation. In summary, in view of the ATNAA(antidote for nerve agent of US) authorization, the Cmax equivalence was more important than AUC equivalence, so in this study, we also focused on verifying the equality of Cmax between the two autoinjectors.

Design and Verification of Far-field measurement system for W-band Millimeter-wave Antenna (밀리미터파(W대역) 안테나 측정을 위한 원-전계 측정 시스템 설계 및 검증)

  • Baek, Jong-Gyun;Hwang, In-June;Cho, Chi-Hyun;Joo, Joung-Myoung;Joo, Ji-Han;Park, Jong-Kuk;Kim, Jaesik;Kim, Sosu
    • The Journal of the Institute of Internet, Broadcasting and Communication
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    • v.22 no.2
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    • pp.43-50
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    • 2022
  • In this paper, we designed and verified a Far-field measurement system for measuring the performance of an antenna operating in millimeter wave(W-band). For the antenna test, a measurement system should be selected according to the type of antenna, measurement items, measurement environment and period, etc. In the case of near-field measurement, it takes a lot of time because the number of measurement items increases when the antenna has multiple channels or various beams. Such an antenna can reduce the measurement time through Far-field measurement, and only necessary measurement items can be measured. Therefore, this study secured precise alignment of the far-field measurement system using a high-power laser and improved the measurement accuracy by applying a double amplifier system. The designed system was built in the anechoic chamber and verified by comparison with the verified Near-field measurement system.

Ground Test & Evaluation of Conformal Load-bearing Antenna Structure for Communication and Navigation (통신 항법용 다중대역 안테나 내장 스킨구조의 지상시험평가)

  • Kim, Min-Sung;Park, Chan-Yik;Cho, Chang-Min;Jun, Seung-Moon
    • Journal of the Korean Society for Aeronautical & Space Sciences
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    • v.41 no.11
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    • pp.891-899
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    • 2013
  • This paper suggests a test and evaluation procedure of conformal load-bearing antenna structure(CLAS) for high speed military jet application. A log periodic patch type antenna was designed for multi-band communication and navigation antenna. Carbon/Glass fiber reinforced polymer was used as a structure supporting aerodynamic loads and honeycomb layer was used to improve antenna performance. Multi-layers were stacked and cured in a hot temperature oven. Gain, VSWR and polarization pattern of CLAS were measured using anechoic chamber within 0.15~2.0 GHz frequency range. Tension, shear, fatigue and impact load test were performed to evaluate structural strength of CLAS. Antenna performance test after every structural strength test was conducted to check the effect of structural test to antenna performance. After the application of new test and evaluation procedure to validate a new CLAS, a design improvement was found.

A study on Military Adapting Method of Non-stop Server using Clustering (클러스터링을 이용한 무정지서버의 군적용방안에 관한 연구)

  • Lee, Kyung-Chan;Lee, Sang-Hoon
    • Proceedings of the Korea Information Processing Society Conference
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    • 2002.11c
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    • pp.2383-2386
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    • 2002
  • 많은 ISP업체와 서버 관리자들은 자신의 시스템 향상을 위하여 많을 비용을 쏟아 붇고 있지만 그 결과는 비관적이다. 지금까지는 하드웨어적인 성능만을 고려하였으나, 최근에는 리눅스를 탑재하여 낮은 가격과 높은 가용성을 가지면서, 증가하는 네트워크 요청에 효과적으로 대응하기 위한 해결책으로 여러 대의 호스트로 구성되는 클러스터링 기술이 각광을 받고 있다. 또한 클러스터는 저렴한 호스트들로 구성되므로 구축 비용이 절감되는것 뿐만 아니라, 일부 호스트가 고장 나더라도 다른 호스트는 네트워크 작업 분담을 재설정하여 정상적으로 동작함으로 가용성이 항상 유지될 수 있다는 것을 보여준다. 최근 군에서도 정보화 과학화의 열풍에 힘입어 그 어느때보다도 업무의 전산화, 정보화에 박차를 가하고 있는 실정이다. 이로 인한 군업무에 적용되는 중대형 서버의 증가와 1인 1PC정책에 의한 클라이언트의 증가, 네트웍 인프라 구축에 심혈을 기울이고 있다. 그러나 사용자의 요구만큼 군환 경하에서의 정보화 업무를 감당하는 서버의 역량은 제한이 있다. 군업무의 특수성에 비추어 볼때에도 사회의 금융업무와 마찬가지로 중단없는 서비스의 수행과 서버의 안정화는 군전산의 가장 중요한 요소중의 하나임에 불구하고 아직까지도 현실성은 많이 미비한 상태이다. 본 연구는 이와 같은 문제를 해결하기 위하여 NAS와 SAN개념(네트웍기반)을 도입하여 군 서버 구축 새로운 패러다임을 제공하여 업무의 통폐합과 함께 서버의 통폐합의 전초단계인 무정지 클러스터링 서버의 구축방안을 제시하여 군정보화, 과학화의 초석을 다지는 계기로 삼고자 한다.위상변화에 대한 적응성을 높일 수 있도록 한다. SQL Server 2000 그리고 LSF를 이용하였다. 그리고 구현 환경과 구성요소에 대한 수행 화면을 보였다.ool)을 사용하더라도 단순 다중 쓰레드 모델보다 더 많은 수의 클라이언트를 수용할 수 있는 장점이 있다. 이러한 결과를 바탕으로 본 연구팀에서 수행중인 MoIM-Messge서버의 네트워크 모듈로 다중 쓰레드 소켓폴링 모델을 적용하였다.n rate compared with conventional face recognition algorithms. 아니라 실내에서도 발생하고 있었다. 정량한 8개 화합물 각각과 총 휘발성 유기화합물의 스피어만 상관계수는 벤젠을 제외하고는 모두 유의하였다. 이중 톨루엔과 크실렌은 총 휘발성 유기화합물과 좋은 상관성 (톨루엔 0.76, 크실렌, 0.87)을 나타내었다. 이 연구는 톨루엔과 크실렌이 총 휘발성 유기화합물의 좋은 지표를 사용될 있고, 톨루엔, 에틸벤젠, 크실렌 등 많은 휘발성 유기화합물의 발생원은 실외뿐 아니라 실내에도 있음을 나타내고 있다.>10)의 $[^{18}F]F_2$를 얻었다. 결론: $^{18}O(p,n)^{18}F$ 핵반응을 이용하여 친전자성 방사성동위원소 $[^{18}F]F_2$를 생산하였다. 표적 챔버는 알루미늄으로 제작하였으며 본 연구에서 연구된 $[^{18}F]F_2$가스는 친핵성 치환반응으로 방사성동위원소를 도입하기 어려운 다양한 방사성의 약품개발에 유용하게 이용될 수 있을 것이다.었으나 움직임

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A study on the methodology for the automatic semantic web service composition problem (자동적인 시맨틱 웹 서비스 구성문제를 위한 방법론에 관한 연구)

  • Yang, Jin-Hyuk;Lee, Kang-Chan;Kim, Sung-Han;Min, Jae-Hong;Chung, In-Jeong
    • Proceedings of the Korea Information Processing Society Conference
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    • 2002.11c
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    • pp.2265-2268
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    • 2002
  • 인터넷 사용자들의 기하급수적인 증가와 웹 페이지의 폭발적인 증가로 인하여 정보공유를 위한 인터넷에서 효율적으로 원하는 정보를 발견하고 이용하기에 매우 힘든 상황에 처해있다. 따라서, 이러한 문제점들을 근본적으로 해결하기 위한 노력의 일환으로 기계가 이해하고 추론할 수 있는 시맨틱 웹이 등장하였다. 시맨틱 웹과 관련된 여러 가지 기술들 중 시맨틱 웹 서비스는 사용자에게 현재의 인터넷 환경에서 제공할 수 있는 서비스보다 향상된 고품질의 서비스를 제공하는 것을 목적으로 삼고 있다. 이러한 시맨틱 웹 서비스는 웹 서비스의 발견, 실행 및 구성으로 구성된다. 본 논문에서는 시맨틱 웹 서비스를 자동화하기 위한 노력의 일환으로서 시맨틱 웹에서 웹 서비스를 구성하는 문제에 대하여 언급한다. 시맨틱 웹 서비스 구성문제는 사용자의 요구사항을 충족시키기 위하여 다양한 웹 서비스들을 조합하는 문제이다. 그러나, WSFL, X-LANG 및 BPEL4WS 그리고, DAML-S와 같은 웹 서비스 구성문제에 대한 일련의 노력들에서는 사용자 요구사항에 대한 검증이나 서비스의 품질에 대한 사항들을 확인 및 제공할 수 있는 방법들이 없다. 따라서, 본 논문에서는 시맨틱 웹 서비스 구성문제와 관련된 상기와 같은 문제점들을 해결할 수 있는 방법론을 제시한다. 본 논문에서 제시된 방법론에서는 시맨틱 웹 구성문제를 제약만족문제로 변환함으로써 제약만족문제에 있어 늘리 알려진 다양한 알고리즘들을 활용할 수 있는 장점들이 있을 뿐만 아니라 사용자들의 요구사항에 대한 검증과 서비스의 품질을 확인할 수 있는 장점들이 있다.의 위상변화에 대한 적응성을 높일 수 있도록 한다. SQL Server 2000 그리고 LSF를 이용하였다. 그리고 구현 환경과 구성요소에 대한 수행 화면을 보였다.ool)을 사용하더라도 단순 다중 쓰레드 모델보다 더 많은 수의 클라이언트를 수용할 수 있는 장점이 있다. 이러한 결과를 바탕으로 본 연구팀에서 수행중인 MoIM-Messge서버의 네트워크 모듈로 다중 쓰레드 소켓폴링 모델을 적용하였다.n rate compared with conventional face recognition algorithms. 아니라 실내에서도 발생하고 있었다. 정량한 8개 화합물 각각과 총 휘발성 유기화합물의 스피어만 상관계수는 벤젠을 제외하고는 모두 유의하였다. 이중 톨루엔과 크실렌은 총 휘발성 유기화합물과 좋은 상관성 (톨루엔 0.76, 크실렌, 0.87)을 나타내었다. 이 연구는 톨루엔과 크실렌이 총 휘발성 유기화합물의 좋은 지표를 사용될 있고, 톨루엔, 에틸벤젠, 크실렌 등 많은 휘발성 유기화합물의 발생원은 실외뿐 아니라 실내에도 있음을 나타내고 있다.>10)의 $[^{18}F]F_2$를 얻었다. 결론: $^{18}O(p,n)^{18}F$ 핵반응을 이용하여 친전자성 방사성동위원소 $[^{18}F]F_2$를 생산하였다. 표적 챔버는 알루미늄으로 제작하였으며 본 연구에서 연구된 $[^{18}F]F_2$가스는 친핵성 치환반응으로 방사성동위원소를 도입하기 어려운 다양한 방사성의 약품개발에 유용하게 이용될 수 있을 것이다.었으나

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Efficient Parallel Spatial Join Method In Shared-Nothing Spatial Database Cluster (비공유 공간 데이터베이스 클러스터에서 효율적인 병렬 공간 조인 기법)

  • Kim, Jong-Hyun;Kim, Myung-Keun;Kim, Jae-Hong;Bae, Hae-Young
    • Proceedings of the Korea Information Processing Society Conference
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    • 2002.11c
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    • pp.1871-1874
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    • 2002
  • 최근 인터넷 환경에서 지리 정보 서비스를 제공받으려는 사용자들의 지속적인 증가로 인해 저비용의 여러 개의 단일 노드를 고속의 네트워크로 연결하여 고성능을 제공하는 클러스터 기반의 공간 데이터베이스에 대한 연구가 활발하게 진행되고 있다. 이러한 공간 데이터베이스 클러스터에서 사용자가 요구한 공간 질의를 빠르게 처리하기 위해서는 고비용의 공간 조인 연산을 효율적으로 처리하기 위한 기법이 요구된다. 본 논문에서는 비공유 공간 데이터베이스 클러스터 환경하에서 공간 조인 연산 수행 시 효율적인 병렬 처리를 위한 영역 분할 기법 및 병렬 공간 조인 기법을 제안한다. 기존의 병렬 공간 데이터베이스 시스템에서의 분할 기반 병렬 공간 조인 기법들은 병렬로 수행할 작업 분배 및 할당과 분할 경계선 상에 존재하는 공간 객체들에 대한 중복 조인 연산 및 중복 결과 제거 등의 추가적인 연산을 해야 한다는 문제점들이 있다. 제안된 기법은 공간 릴레이션들을 일정 영역들로 분할하여 비공유 공간 데이터베이스 클러스터의 각 노드에서 중복없이 저장, 관리하도록 하며 분할 영역의 경계선 상에 위치하는 공간 데이터에 대해서만 중복 저장을 허용하여 병렬 공간 조인 연산 시 누락되는 공간 데이터가 없도록 한다. 본 기법은 공간 조인 연산 시 병렬 처리를 위한 별도의 작업 할당 과정을 거치지 않고 각 노드에서 병렬적으로 공간 조인 연산을 수행하며, 분할 경계선 상에 존재하는 공간 객체들은 여과 과정을 거쳐 한번만 공간 조인이 수행되므로 중복 결과들을 제거하기 위한 별도의 연산이 필요없는 특징을 갖는다. Ad Hoc망의 위상변화에 대한 적응성을 높일 수 있도록 한다. SQL Server 2000 그리고 LSF를 이용하였다. 그리고 구현 환경과 구성요소에 대한 수행 화면을 보였다.ool)을 사용하더라도 단순 다중 쓰레드 모델보다 더 많은 수의 클라이언트를 수용할 수 있는 장점이 있다. 이러한 결과를 바탕으로 본 연구팀에서 수행중인 MoIM-Messge서버의 네트워크 모듈로 다중 쓰레드 소켓폴링 모델을 적용하였다.n rate compared with conventional face recognition algorithms. 아니라 실내에서도 발생하고 있었다. 정량한 8개 화합물 각각과 총 휘발성 유기화합물의 스피어만 상관계수는 벤젠을 제외하고는 모두 유의하였다. 이중 톨루엔과 크실렌은 총 휘발성 유기화합물과 좋은 상관성 (톨루엔 0.76, 크실렌, 0.87)을 나타내었다. 이 연구는 톨루엔과 크실렌이 총 휘발성 유기화합물의 좋은 지표를 사용될 있고, 톨루엔, 에틸벤젠, 크실렌 등 많은 휘발성 유기화합물의 발생원은 실외뿐 아니라 실내에도 있음을 나타내고 있다.>10)의 $[^{18}F]F_2$를 얻었다. 결론: $^{18}O(p,n)^{18}F$ 핵반응을 이용하여 친전자성 방사성동위원소 $[^{18}F]F_2$를 생산하였다. 표적 챔버는 알루미늄으로 제작하였으며 본 연구에서 연구된 $[^{18}F]F_2$가스는 친핵성 치환반응으로 방사성동위원소를 도입하기 어려운 다양한 방사성의 약품개발에 유용하게 이

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