• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2012년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.151-152
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• 2012

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2011년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.253-254
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• 2011

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2011년도 제41회 하계 정기 학술대회 초록집
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• pp.101-101
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• 2011

최근 반도체 및 디스플레이 사업의 급속한 발전으로 인해 반도체 공정은 초미세선폭화, 대면적화 되면서 오염입자를 제어하는 것이 이슈가 되고 있다. 반도체 및 디스플레이의 제조공정 중 챔버 내 진공부품은 진공상태에서 플라즈마에 의해 물리적인 데미지와 화학적으로 매우 활성이 높은 라디칼(Radical)반응에 의한 부식이 진행된다. 이러한 공정영향에 의해 챔버 내 부품들은 부식이 되고 공정 중에 오염입자가 발생하게 되어 반도체 및 디스플레이의 수율저하에 큰 영향을 미치고 부품교체 비용 또한 많이 들고 있다. 본 연구에서는 진공부품의 내전압측정방법을 이용하여 진공부품의 피막특성을 평가하는 연구방법으로서 내전압 지그(Zig)를 표준화하여 제작하였고, 재현성있는 데이터로 피막특성을 정량적으로 측정하는 방법을 연구 하였다. 식각공정 중에 발생하는 부식특성에 관해서는 화학부식와 플라즈마부식 열충격 등 각각 독립적으로 부식환경에 노출시켰으며, 진공부품의 손상 전 후의 내전압 특성변화를 이용하였다. 또한, CCP (Capacitativly Coupled Plasma)형의 RF magnetic sputter을 설계 제작하였고 진공부품에 고밀도 플라즈마를 발생시켜 플라즈마데미지에 의해 발생한 오염입자를 실시간으로 monitoring하여, 정량적으로 측정된 내전압특성결과를 비교 검증하였다.

• 한국기계가공학회지
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• 제15권2호
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• pp.72-77
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• 2016

Airplane reservoirs made of Al7075 are coated with an anodizing layer to maintain precision, air tightness and corrosion resistance. It is commonly required that the inner surface roughness of the reservoir be less than an average $0.2{\mu}m$ to maintain stable oil pressure. Even though precision polishing is necessary to achieve this quality it is not easy. Inner surface roughness is not uniform and the quality of the product is irregular because most of the work is done by hand. The purpose of this study is to design an exclusive polishing machine and to determine the standard cutting condition and polishing condition necessary for good inner surface roughness and to improve workefficiency.

• 한국정밀공학회지
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• 제33권12호
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• pp.993-998
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• 2016

In today's manufacturing industries, the demand for light non-ferrous materials is considerable due to the need to improve productivity and manufacturability. Since the surface roughness of a material is important for improving the functionality of machined parts, various techniques for surface treatments have been developed to obtain non-ferrous materials with low roughness. A superfinishing method utilizing polishing films is generally applied to the anodized surface of Al7075 in order to improve its roughness. The objective of this research is to determine through experiment the parameters that facilitate the shortest processing time, using a superfinishing method, for reaching a roughness of Ra $0.2{\mu}m$. This objective is met by applying the Taguchi method in the experiments. Through the experiments of superfinishing, the effectiveness of the parameters adopted for the surface treatment is demonstrated.

• 한국기계가공학회지
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• 제18권7호
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• pp.14-21
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• 2019

Large-diameter hydraulic devices such as the hydraulic reservoir in aircraft that serves to balance the hydraulic pressure in the various hydraulic devices in the cabin and to store hydraulic oil are operated by the internal piston systems. However, since this operates in an environment with high temperature and humidity, it may cause the inner surface to flake during its operation. Therefore, an anodizing surface treatment is applied to improve the corrosion resistance, abrasion resistance, and smooth operation. However, anodizing increases the surface roughness. Accordingly, the polishing process that improves the surface roughness after anodizing is important. However, the existing polishing process is performed manually, which results in an inefficient process. Therefore, in this study, we selected the optimum polishing conditions for effective polishing using the experimental design to improve the polishing process for the $Al_2O_3$ film that forms after anodization. Through experiments, we confirmed that the surface uniformity after polishing was superior as the feed rate was slower when the same polishing time had been applied.

• 대한전기학회:학술대회논문집
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• 대한전기학회 2001년도 하계학술대회 논문집 C
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• pp.1902-1904
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• 2001

본 논문은 마이크로머시닝 기술을 응용하여 다공질 실리콘 다이어프램을 제작하여 air, $N_2$, Ar 분위기에서 유리로 패키징하였다. 유리로 패키징된 소자들과 유리 패키징을 하지 않는 소자를 시간 경과에 따른 다공질 실리콘의 PL(Photoluminescence) 스펙트럼 (peak wavelength, intensity)과 저항 변화를 측정하였다. 또한, 패키징 분위기에 따른 다공질 실리콘의 aging 효과를 서로 비교하여 다공질 실리콘 다이어프램을 이용한 PIN 구조의 소자를 광센서로써 응용 가능성을 살펴보았다.

• 정보관리학회지
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• 제33권1호
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• pp.225-245
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• 2016

본 연구의 목적은 대학도서관 이용자의 도서관 이용행태를 분석하여 대학도서관 공간 활용의 효율성을 제고하는 데 있다. 도서관 이용행태를 분석하기 위해 본 연구는 이용자들이 직접 자신들의 행동을 기록하는 다이어리 기법을 이용했다. 총 108명이 참여를 했고 이들 중 84명이 다이어리를 작성했다. 제출된 다이어리 중 내용을 충실히 작성한 14명의 참여자와 도서관 이용행태, 이용시 문제점 및 요구사항 등에 대한 인터뷰를 진행했다. 다이어리와 인터뷰 분석결과, 공간계획 측면에서 이용되지 않은 공간이나 기기들의 이용률 향상을 위한 방안마련과 서가 브라우징을 통한 정보접근 향상을 위한 방법을 제안했다. 또한 도서관 이용시간 분석을 통해 학생들의 이용행태 및 이용률 제고 방안을 논의했다.

• 한국산학기술학회논문지
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• 제13권8호
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• pp.3301-3306
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• 2012

LED 칩 패키징에서 다이 본딩은 분할된 칩을 리드 프레임에 고정시켜 칩이 이후 공정을 견딜 수 있도록 충분한 강도를 제공하는 중요한 공정이다. 기존의 다이 본더의 픽업 장치는 단순히 콜렛의 하강 동작과 이젝터 핀의 상승 동작만으로 구동되어 픽업 장치와 다이가 접촉하는 순간 충격에 의한 다이의 손상과 위치 정렬 오차에 대한 문제점이 발생한다. 본 연구에서는 위치 정렬 에러 및 다이의 손상을 최소화시키기 위하여 고정밀, 고속 이송이 가능한 픽업 헤드를 사용한 다이 본더 시스템을 개발하였다. 구조적 안정성을 평가하기 위해 다이 본더의 유한요소모델을 생성하였고 구조 해석을 수행하였다. 그다음, 다이 본더의 작동 주파수에 대해 픽업 헤드의 유한요소모델을 이용하여 진동해석을 수행하였다. 해석 결과, 다이 본더에 작용하는 응력 및 변위, 고유진동수에 대해 분석하였고 개발된 시스템의 구조적 안정성에 대해 확인하였다.

• 한국산학기술학회논문지
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• 제13권10호
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• pp.4378-4384
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• 2012

LED 칩 패키징에서 다이 본딩은 웨이퍼에서 분할된 다이를 리드 프레임에 접착제로 고정시켜 칩이 다음 공정을 견딜 수 있는 충분한 강도를 제공하는 중요한 공정이다. 본 논문에서는 PLCC 구조 LED 패키지 프레임에 소형 제너 다이오드를 부착하는 다이 본딩 공정능력의 최적화를 위하여 공정에 영향을 미치는 여러 인자를 분석하여 반응표면분석법을 적용하여 그 결과를 도출하였다. 인자를 분석하여 5인자 3수준 4반응치를 고려하여 실험계획법을 수립하였으며, 그 결과 모든 반응치의 목표를 만족하는 최적 조건을 확보할 수 있었다.