Tilt Compensation Mechanism of the Roll Nanoimprint Lithography System Using a Flexure Hinge Guide (탄성힌지 가이드를 이용한 롤 나노임프린트 리소그래피의 평행도 보상 메커니즘)
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- Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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- 2013.05a
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- pp.587-588
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- 2013