Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

  • 2013.05a
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  • Pages.587-588
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  • 2013
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  • 2005-8446(pISSN)
Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)
권호 표지

Tilt Compensation Mechanism of the Roll Nanoimprint Lithography System Using a Flexure Hinge Guide

탄성힌지 가이드를 이용한 롤 나노임프린트 리소그래피의 평행도 보상 메커니즘

  • 임형준 (한국기계연구원 나노융합기계연구본부) ;
  • 이재종 (한국기계연구원 나노융합기계연구본부) ;
  • 최기봉 (한국기계연구원 나노융합기계연구본부) ;
  • 김기홍 (한국기계연구원 나노융합기계연구본부) ;
  • 이성휘 (한국기계연구원 첨단생산장비연구본부) ;
  • 안현진 (한국기계연구원 나노융합기계연구본부) ;
  • 류지형 (과학기술연합대학원대학교 나노메카트로닉스학과)
  • Published : 2013.05.29
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Abstract

Keywords