• Title/Summary/Keyword: 균일률

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Development of low-k dielectric PECVD system for next generation and characterization of its films (차세대용 저유전막 PECVD 장비 개발과 박막 특성 평가)

  • Kim, Dae-Hee;Kim, Dae-Hyun;Park, So-Yeon;Lee, Do-Hyoung;Seo, Hwa-Il;Kim, Yeong-Cheol
    • Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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    • 2009.06a
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    • pp.148-148
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    • 2009
  • 반도체 소자의 크기가 45 nm 이하로 감소함에 따라 최소 선폭에 따른 다층 배선 연결 구조가 요구되고 있다. 그러나 고집적화 구조는 기생 저항과 정전 용량에 의한 신호지연증가 및 혼선 전력 소모의 문제가 발생한다. 이런 문제를 해결하기 위한 방법 중의 하나는 저저항 배선연결물질과 층간 절연막으로 저유전 상수를 갖는 물질을 사용하는 것이다. 본 연구는 DEMS $(H-Si(CH_3)(OC_2H_5)_2)$ 전구체를 이용하여 저유전막을 증착할 때 사용되는 PECVD (plasma enhanced chemical vapor deposition) 장비를 국내 기술로 개발하고 개발된 장비로 저유전박막을 평가한 것에 관한 것이다. 본 연구에서 평가 및 박막 종확 시 사용한 장비는 MAHA hp 1 type ((주)아토)로서 양산용 PECVD 장비이다. 변수는 C-He의 유랑, 300 mm Si 웨이퍼와 shower head 사이의 거리, 증착 압력, 구동 전력이고, 증착된 저유전막의 두께, 두께의 균일성, 굴절률, 굴절률의 균일성를 평가하였다. 구동 전력이 500W 일 때, C-He의 유량과 진공의 크기를 감소시키면 박막의 두께가 감소하고 박막의 균일성은 증가하였다. C-He의 유량을 증가시키고 shower head 와 Si 웨이퍼 사이의 거리 및 구동 압력을 감소시키면 굴절률과 굴절률의 균일성이 모두 저하되었다. 구동 전력이 700W 일 때, 박막 두께의 경우, 구동 전력이 500W 일 때의 결과와 유사하지만, 박막의 균일성, 굴절률, 굴절률의 균일성은 모든 조건에서 저하되었다.

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Numerical study of the influence of inlet shape design of a horizontal MOCVD reactor on the characteristics of epitaxial layer growth (수평 화학기상증착 반응기의 입구형상 설계가 단결정 박막증착률 특성에 미치는 영향에 관한 수치적 연구)

  • 정수진;김소정
    • Journal of the Korean Crystal Growth and Crystal Technology
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    • v.13 no.5
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    • pp.247-253
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    • 2003
  • In this study, a numerical analysis of the deposition of gallium arsenide from TMGa and arsine in a horizontal MOCVD reactor is performed to investigate the effect of inlet diffuser shape of reactor on the flow and deposition characteristics. The effects of two geometric parameters (diffuser angle, diffuser shape) on the growth rate, growth rate uniformity, flow uniformity and pressure loss are presented. As a results, it is found that the optimum linear diffuser angle is in the range of $50^{\circ}$$55^{\circ}$ and parabolic diffuser in the range of $40^{\circ}$$45^{\circ}$ from the viewpoint of growth rate uniformity, flow uniformity and average growth rate. It is also found that variation of diffuser angle has greater impact on growth rate uniformity than average growth rate particularly in parabolic diffuser.

Uniformity Analysis of Unmanned Aerial Application with Variable Rate Spray System (무인항공 변량방제 시스템의 살포 균일도 분석)

  • Koo, Young Mo;Bae, Yeonghwan
    • Journal of agriculture & life science
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    • v.52 no.6
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    • pp.111-125
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    • 2018
  • In this study, we evaluated the uniformity of deposition rate and particle size distributions of the variable rate application technique using the unmanned rotorcraft by measuring the spray pattern according to path location in the range of spraying flight. The coefficient of variation (CV) of the lateral coverage rate for the overlapped distribution with the spray swath of 3.6 m in both guidance and auto-pilot flight modes maintaining constant flight speed was about 30% and the CV of the coverage rate by the flight path location was extremely small. Therefore, it was assessed that the variable rate application technology compensating for the variation of ground speed was superior in terms of spray uniformity. In addition, the droplet size distributions in both volume median diameter(VMD) and number median diameter(NMD) were adequate for aerial application and uniform in terms of lateral distribution. Thereafter, we intend to contribute to a precise application on small-scaled fields using the unmanned agricultural rotorcraft by the variable rate application.

균일변형단조에 의한 알루미늄 합금의 미세조직 제어

  • 임성택;이경훈;은일상;이종억;이영무
    • Proceedings of the Korean Society of Propulsion Engineers Conference
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    • 1997.04a
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    • pp.107-117
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    • 1997
  • 알루미늄 합금 형단조에서 재결정없이 미세하고 균일한 아결정 조직을 얻으려면 T-'$\varepsilon$ 공간상의 조직상태도에 근거한 제어된 변형조건하에서 열간 가공해야 한다. 균일 변형을 위해서는 다단계 공정 설계가 필수적인데, 각 단계에서 제품의 어느 요소에서나 가공변수의 변화량($\Delta$T,$\Delta$$\varepsilon$,$\Delta$'$\varepsilon$ )이 최소화가 되도록 금형을 정교하게 설계하고 가공변수를 정밀 제어해야 한다. 알루미늄 합금 7175로서 균일 변형 단조를 적용한 결과 균일하고 안정된 아결정 구조를 얻을 수 있었으며, 이는 특히 ST 방향의 연신률을 크게 향상시킨다.

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Contrast Improvement in Diagnostic Ultrasound Strain Imaging Using Globally Uniform Stretching (진단용 초음파 변형률 영상에서 전역 균일 신장에 의한 콘트라스트 향상)

  • Kwon, Sung-Jae;Jeong, Mok-Kun
    • The Journal of the Acoustical Society of Korea
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    • v.29 no.8
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    • pp.504-508
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    • 2010
  • In conventional diagnostic ultrasound strain imaging, when displaying strain image on a monitor, human visual characteristics are utilized such that hard regions are displayed as dark and soft regions are displayed as bright. Thus, hard regions representing tumor or cancer are displayed as dark, decreasing the contrast inside the lesion. Because the lesion area is stiff and thus displayed as dark, a method of inverting the image brightness and thereby increasing the contrast in the lesion for better diagnostic purposes is proposed wherein a postcompression signal is extended in the time domain by a factor corresponding to the reciprocal of the amount of the applied compression using a technique termed globally uniform stretching. Experiments were carried out to verify the proposed method on an ultrasound elasticity phantom with radio-frequency data acquired from a diagnostic ultrasound clinical scanner. It is found that the new method improves the contrast-to-noise ratio by a factor of up to about 1.8 compared to a conventional strain imaging method that employs a reversed gray color map without globally uniform stretching.

A Study on the Identification of Specific Earth Resistivity for Grounding Design of 500 KV Transmission Towers (500 kV 송전철탑 접지설계를 위한 대지저항률 산정에 관한 연구)

  • Choi, Jong-Kee;Lee, Sung-Doo;Lee, Dong-Il;Jung, Gil-Jo;Kim, Kyung-Chul
    • Proceedings of the KIEE Conference
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    • 2005.07a
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    • pp.703-705
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    • 2005
  • 접지설계에 있어서 토양의 전기적 특성은 접지극의 형상과 더불어 가장 중요한 설계요소 중 하나이며 이러한 토양의 전기적 특성은 접지극이 매설될 지역의 고유한 저항률, 즉 고유저항률(specific earth resistivity)로 대표되어 왔다. 이처럼 고유저항률에 근거한 수작업 접지설계는 복잡한 구조와 특성을 갖는 실제 토양을 균일한 매질로 등가화하는 절차를 필요로 한다. 본 논문에서는 미얀마 500 kV 송전철탑 수작업 접지설계를 위하여 수평다층토양을 균일매질로 등가화하는 절차를 제시하였다.

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Air Gap Measurement in Homogeneous Material by Non-contact and Non-destructive Method (비접촉 비파괴에 의한 균일물질 내부의 공극 측정)

  • 전태인
    • Proceedings of the Korean Institute of Information and Commucation Sciences Conference
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    • 1999.05a
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    • pp.47-49
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    • 1999
  • The air and impurity gaps generated by a defect in homogeneous material have a difference index of refraction compare to the homogeneous material. Therefore an electromagnetic wave has a multiple reflection between the two indices of refraction. If the gap has a small thickness, it is difficult to know the gap in time domain. However, the presence of the gaps can be known in frequency domain by total transmission and phase difference. Also, the thickness and index of refraction can be measured by well known Febry-Perot theory.

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밀도구배 및 후류손실을 가지는 혼합층의 불안정성에 관한 연구

  • 신동신;황승환
    • Proceedings of the Korean Society of Propulsion Engineers Conference
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    • 1999.04a
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    • pp.23-23
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    • 1999
  • 후류손실을 가지는 혼합 전단층에 대하여 밀도변화가 없는 유동 및 밀도변화가 있는 유동의 선형 불안정성 해석을 수행하였다. 기본 유동의 속도장 및 밀도장은 tanh 함수를 사용하였으며, Gaussian 형태의 해석적 함수를 사용하여 두 유동을 분리시키는 평판 바로 다음에 존재하는 후류 손실 유동을 포함시켰다. 공간적 선형 불안정성 해석을 수행하여 불안정성 모드의 성장률과 파장속도를 주파수의 함수로서 구하였다. 해석 결과로부터 후류 손실을 가지는 혼합층은 sinuous 모드와 varicose 모드의 두 개의 불안정성 모드를 가짐을 알았다. 밀도가 균일한 경우에는 varicose 모드보다 sinuous 모드가 지배적이다. 밀도가 균일한 경우에는 varicose 모드보다 sinuous 모드가 지배적이다. 밀도구배가 존재하나 빠른 자유유동의 밀도가 높은 경우에는 밀도가 균일한 경우와 마찬가지로 sinuous 모드가 지배적인 모드가 된다. 그러나 느린 자유 유동의 밀도가 높은 경우에는 밀도장의 두께가 속도장의 두께보다 상대적으로 얇아지면 varicose 모드가 sinuous 모드보다 더욱 불안정하여질 수 있다. varicose 모드와 sinuous 모드의 성장률이 비슷한 밀도장의 두께에서는 두 불안정성 모드가 주파수 변화에 따라 분지 되어지는 경향을 보인다.

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A Study on the Identification of Equivalent Uniform Soil Model for Grounding Design of 500[tV] Transmission Towers (500[kV] 송전철탑 접지설계를 위한 다층토양구조의 균일매질 등가화에 관한 연구)

  • Choi, Jong-Kee;Lee, Sung-Doo;Lee, Dong-Il;Jung, Gil-Jo;Kim, Kyung-Chul
    • Journal of the Korean Institute of Illuminating and Electrical Installation Engineers
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    • v.19 no.6
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    • pp.22-28
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    • 2005
  • The electrical characterstic of earth is the most dominant factor for grounding design and an earth is typically represented by a uniform medium with the specific earth resistivity, which is unique for a specific site. For a hand-working grounding design using a specific earth resistivity requires a process converting a real earth of complex medium into a simple uniform medium In this paper, we suggest a procedure to convert a multi-layered earth s into a simpler uniform earth for grounding design of Myanmar 500[kV] transmission towers.

Design of Video CODEC for Maintain Uniform Quality in Streaming Video System (스트리밍 비디오 시스템에서 균일 화질 유지를 위한 비디오 코덱 설계)

  • Park, Young-Hwan;Park, Chan-Khon
    • Proceedings of the Korea Multimedia Society Conference
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    • 2012.05a
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    • pp.422-425
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    • 2012
  • 스트리밍 비디오 시스템의 QoS에 관한 기존 연구가 네트워크의 관점에서 비디오 스트림의 전송률을 조절하는 기법위주로 이루어져 균일한 화질을 제공받고자 하는 사용자에게 VBR 스트리밍 비디오의 장점을 제공하기 어려웠다. 본 논문에서는 스트리밍 비디오 시스템에서 클라이언트의 대역폭 변화에도 사용자에게 균일한 화질을 제공하기 위하여 CBR 스트리밍 비디오의 장점을 VBR 스트리밍 비디오에 적용하는 비디오 코덱을 설계한다.

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