Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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2013.02a
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pp.655-655
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2013
그래핀은 높은 전자 이동도, 열전도도, 기계적 강도, 유연성 등의 고유한 특성으로 다양한 분야에 응용하기 위한 연구가 수행되고 있으며, 특히 전자 소자에의 적용에 관한 연구가 활발히 이루어지고 있다. 전자 소자에 적용하기 위해서는 성장 및 물성에 관한 규명, 응용 소자에 따른 특성 평가가 필요하다. 이러한 소자 특성은 그래핀 물성에 의한 영향이 기본적이지만 에칭, 전사 등의 공정 중 발생하는 오염, 표면 특성, 잔여물 등에 의한 물성 변화 또한 분석 및 제어에 관한 연구가 필요하다. 열화학증착법(thermal chemical vapor deposition)을 이용한 그래핀 합성은 구리 기판을 사용하며, 합성된 그래핀의 에칭, 박리 및 전사 공정이 있다. 이러한 공정 중 발생하는 오염 입자가 그래핀 표면에 흡착되거나, 제거되지 않은 PMMA 잔여물이 그래핀의 특성에 영향을 미치게 된다. 따라서 본 연구에서는 $CO_2$ 클러스터의 표면 충돌을 이용하여 이러한 오염 물질 및 잔여물을 제거하고 그래핀 표면을 평탄화하는 것에 관한 연구를 수행하였다. 가스 클러스터란 작동기체의 분자가 수십에서 수백 개 뭉쳐 있는 형태를 뜻하며 이렇게 형성된 클러스터는 수 nm 크기를 형성하게 된다. 그리고 짧은 시간의 응축에 의해 수십 nm 크기 까지 성장 하게 된다. 클러스터를 이용한 표면 처리는 충돌에 의한 제거에 기반 한다. 따라서 생성 및 가속되는 클러스터로부터 대상으로 전달되는 운동량의 정도가 세정 특성에 영향을 미치며 이는 생성되는 클러스터의 크기에 종속적이다. 생성 클러스터의 크기 분포는 분사거리, 유량, 분사 각도, 노즐 냉각 온도 등의 변수에 관한 함수이다. 본 연구에서는 이러한 변수들을 제어하여 클러스터를 이용한 그래핀 표면 처리 실험을 수행하였다. 평가는 클러스터 표면 처리 전과 후의 특성 비교에 기반 하였으며, 광학 현미경을 이용한 표면 형상 측정, 라만분광 분석, AFM을 이용한 표면 조도 측정, 그래핀 면저항 측정 결과를 비교하였다. 평가 결과를 통하여 표면 처리를 하지 않은 그래핀에 비하여 면저항과 표면 조도가 낮아지는 것을 확인 할 수 있었다. 또한 클러스터 세정은 300 mm 웨이퍼 크기 이상의 대면적을 짧은 시간에 건식으로 세정할 수 있다는 장점이 있어 향후 최적화를 통해 그래핀 양산 시 특성 향상을 위한 후처리 방법으로 사용될 수 있음을 확인하였다.
Han, Chulwoong;Kim, Young-Min;Kim, Yong Hwan;Son, Seong Ho;Lee, Man Seung;Lee, Ki Woong
Resources Recycling
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v.26
no.5
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pp.85-96
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2017
In this study, we tried to select a slag system capable of pyro-metallurgical process through analysis of sludge generated from PCB plating and etching process solution. Based on this, the possibility of extracting valuable metals in the sludge was studied by experimental and thermodynamic approaches. The sludge was dried at $100{\sim}500^{\circ}C$ and the morphology, chemical composition and phase of the sludge were analyzed. The possibility of pyro-metallurgical process of sludge was investigated through thermodynamic approach using FactSage software.
Journal of the Korean Crystal Growth and Crystal Technology
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v.30
no.6
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pp.237-243
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2020
In this study, a silane-based coating was applied to improve corrosion resistance and thermal efficiency performance of a brazed plate heat exchanger (BPHE) composed of stainless plate and copper (Cu) brazing. Although the selected coating material was applied to the BPHE by evaluating the corrosion and contact angle according to the coating material, the result of the heat transfer performance evaluation showed that the thermal efficiency was lower than that of the uncoated BPHE. It was analyzed that the adhesion of the coating agent to the flow path inside the BPHE and the residual coating agent on the surface acted as heat resistance, preventing heat transfer. This is due to the structural characteristics of the BPHE in which a fine flow path exists inside, and it is believed that manufacturing after coating the surface of the flow path in advance in the manufacturing process of the BPHE can improve heat transfer performance.
Since the active matrix organic light-emitting diode (AMOLED) encapsulation process is very vulnerable to moisture and oxygen, high-purity nitrogen with minimal moisture and oxygen must be used. In this study, a copper-based catalyst used to remove oxygen from nitrogen in the AMOLED encapsulation process was optimized. Two-component and three-component catalysts composed of CuO, Al2O3, or ZnO were prepared through a co-precipitation method. The prepared catalysts were characterized by using BET, XRD, TPR, and XRF analysis. In order to verify the oxygen removal performance of the catalyst, several catalytic reactions were conducted in a fixed bed reactor, and the corresponding oxygen contents were measured through an oxygen analyzer. In addition, reusability of the catalysts was proven through repetitive regeneration. The properties and oxygen removal capacity of the catalysts prepared with CuO and Al2O3 ratios of 6 : 4, 7 : 3, and 8 : 2 were compared. The number of active sites of the catalyst with a ratio of CuO and Al2O3 of 8 : 2 was the highest among the 2-component catalysts. Moreover, the reducibility of the catalyst with a ratio of CuO and Al2O3 of 8 : 2 was the best as it had the highest CuO dispersion. As a result, the oxygen removal ability of the catalyst with a ratio of CuO and Al2O3 of 8 : 2 was the best among the 2-component catalysts. The best oxygen removal capacity was obtained when 2wt% of ZnO was added to the sub-optimized catalyst (i.e., CuO : Al2O3 = 8 : 2) probably due to its outstanding reducibility. Furthermore, the optimized catalyst kept its performance during a couple of regeneration tests.
Automobile shredder residue (ASR) is the final waste produced when end-of-life vehicles (ELVs) are shredded. ASR can be separated using mineral-processing operations such as comminution, air classification, magnetic separation, and/or electrostatic separation. In this work, trajectory analyses of conductors (copper) and non-conductors (glass) in the ASR have been carried out using induction electrostatic separator for predicting or improving the ASR-separation efficiency. From results of trajectory analysis for conductors, the trajectories of copper wire by observation versus simulation for coarse particles of 0.5 and 0.25 mm showed consistent congruity. The observed 0.06 mm fine-particles trajectory was deflected toward the (-) attractive electrode owing to the charge-density effects due to the particle characteristics and relative humidity. In the case of non-conductors, the actual trajectory of dielectric glass deflected toward the (-) electrode, showing characteristics similar to those of conductive particles. The analyses of stereoscopic microscope and SEM & EDS found heterologous materials (fine ferrous particles and conductive organics) on the glass surface. This demonstrates the glass decreasing separation efficiency for non-ferrous metals during electrostatic separation for the recycling of ASR. Future work will require a pretreatment process for eliminating impurities from the glass and advanced trajectory-simulation processes.
Kim, Kwang-Seok;Koo, Ja-Myeong;Joung, Jae-Woo;Kim, Byung-Sung;Jung, Seung-Boo
Journal of the Microelectronics and Packaging Society
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v.17
no.3
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pp.43-49
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2010
Direct printing technology is an attractive metallization method, which has become immerging as "Green technology" to the conventional photolithography, on account of low cost, simple process and environment-friendliness. In order to commercialize the printed electronics in industry, it is essential to evaluate the electrical properties of conductive circuits using direct printing technology. In this contribution, we focused on the electrical characteristics of inkjet-printed circuits. A Cu nanoink was inkjet-printed onto a Bisaleimide triazine(BT) substrate with parallel transmission line(PTL) and coplanar waveguide(CPW) type, then was sintered at $250^{\circ}C$ for 30 min. We calculated the resistivity of printed circuits through direct current resistance by the measurement of I-V curve: the resistivity was approximately 0.558 ${\mu}{\Omega}{\cdot}cm$ which is about 3.3 times that of bulk Cu. Cascade's probe system in the frequency range from 0 to 30 GHz were employed to measure the Scattering parameter(S-parameter) with or without a gap between the substrate and the probe station chuck. The result of measured S-parameter showed that all printed circuits had over 5 dB of return loss in the entire frequency range. In the curve of insertion loss, $S_{21}$, showed that the PTL type circuits had better transmission of radio frequency (RF) than CPW type.
Park, Young-Kwon;Noh, Sang Gyun;Cho, Kyu Sang;Jeon, Jong-Ki
Korean Chemical Engineering Research
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v.44
no.4
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pp.363-368
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2006
This study selected the optimal catalyst for the process of producing $C_9$-alcohol by hydrogenating $C_9$-aldehyde, and carried out an experiment in order to establish the operating condition for maximizing the yield of $C_9$-alcohol. The BET surface area and the specific area of copper were most excellent in $CuO/ZnO/Al_2O_3$ (60:30:10 wt%) catalyst produced using acetate as a precursor of copper and $Na_2CO_3$ as a precipitant, and the catalyst also showed the highest performance in $C_9$-aldehyde hydrogenation. Using a trickle bed reactor loaded with optimized catalyst, we attained 94.1 wt% yield of $C_9$-alcohol under the condition of $175^{\circ}C$, 800 psi and $WHSV=3hr^{-1}$. According to the result of comparing with other catalysts used in the hydrogenation of aldehyde, the catalyst showed similar performance to that of Ni/kieselghur and higher than that of $Cu-Ni-Cr-Na/Al_2O_3$ and $Ni-Mo/Al_2O_3$. According to the result of examining the stability of the catalyst through a long-term catalysis test, the yield of $C_9$-alcohol decreased slowly after around 72 hours due to the increasing production of high boiling-point byproducts.
Lee Jin-Yeung;Yoon Ho-Sung;Kim Sung-Don;Kim Chul-Joo;Kim Joon-Soo;Han Choon;Oh Jong-Kee
Resources Recycling
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v.13
no.1
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pp.28-38
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2004
The characteristics of cyanide decomposition in aqueous phase by electric oxidization have been explored in an effort to develop a process to recycle waste water. Considering current efficiency and voltage, the free cyanide decomposition experiment by electric oxidization indicated that 5 V of voltage and copper catalytic Cu/CN mole ratio 0.05 was the most appropriate condition, where current efficiency was 26%, and decomposition speed was 5.6 mM/min. High voltage and excess copper addition increased decomposition speed a little bit but not current efficiency. The experiment of free cyanide density change proves that high density cyanide is preferred because speed and current efficiency increase with density. Also, the overall decomposition reaction could be represented by the first order with respcect to cyanide with the rate constant of $1.6∼7.3${\times}$10^{-3}$$min^{-1}$ The mass transfer coefficient of electric oxidization of cyanide came out as $2.42${\times}$10^{-5}$$min^{-1}$ Furthermore, the Damkohler number was calculated as 5.7 in case of 7 V and it was found that the mass transfer stage was the rate determining step.
Journal of the Microelectronics and Packaging Society
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v.19
no.2
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pp.67-72
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2012
In recent days, the wire width of IC is narrowed and the degree of integration of IC is increased to obtain the higher capacity of the devices in electronic industry. And then the surface quality of FCCL(Flexible Copper Clad Laminate) became increasingly important. Surface defects on FCCL are bump, scratch, dent and so on. In particular, bumps cause low reliability of the products. Even though there are bumps on the surface, if leveling characteristic of plating solution is good, it does not develop significant bump. In this study, the leveling characteristics of additives are investigated. The objective of study is to improve the leveling characteristic and reduce the surface step through additives and plating conditions. The additives in the electrodeposition bath are critical to obtain flat surface and free of defects. In order to form flat copper surface, accelerator, suppressor and leveler are added to the stock solution. The reason for the addition of leveler is planarization surface and inhibition of the formation of micro-bump. Levelers (SO(Safranin O), MV(Methylene Violet), AB(Alcian Blue), JGB(Janus Green B), DB(Diazine Black) and PVP(Polyvinyl Pyrrolidone) are used in copper plating solution to enhance the morphology of electroplated copper. In this study, the nucleation and growth behavior of copper with variation of additives are studied. The leveling characteristics are analyzed on artificially fabricated Ni bumps.
The effect of coated polyester (PET) textiles with metal oxide, chitosan, and copper ion on the antibacterial and antiviral activities was evaluated to investigate the applicability of multi-coated PET textiles as antiviral materials. Compared to coated PETs with a single agent, multi-coated PETs reduced the loading amount of coating materials as well as the contact time with bacteria for a bacterial cell number of < 10 CFU/mL, which was not detectable with the naked eyes. Metal oxides generate reactive oxygen species (ROS) such as free radicals by a catalytic reaction, and copper ions can promote contact killing by the generation of ROS. Chitosan not only enhanced antibacterial activities due to amine groups, but enabled it to be a template to load copper ions. We observed that multi-coated PET textiles have both antibacterial activities for E. coli and S. aureus and antiviral efficiency of more than 99.9% for influenza A (H1N1) and SARS-CoV-2. The multi-coated PET textiles could also be prepared via a roll-to-roll coating process, which showed high antiviral efficacy, demonstrating its potential use in air filtration and antiviral products such as masks and personal protective equipment.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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