• Title/Summary/Keyword: 교정표준기

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정적형 유량계를 이용한 소닉노즐의 유출계수 교정 방법에 관한 연구

  • Sin, Jin-Hyeon;Gang, Sang-Baek;Go, Mun-Gyu;Im, Jong-Yeon;Jeong, Wan-Seop
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2010.08a
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    • pp.45-45
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    • 2010
  • 반도체 및 디스플레이 산업에 사용되는 진공펌프의 효율이 증대됨에 따른 성능 평가 기술의 향상 과 미세 유량을 조절 및 측정할 수 있는 시스템의 개발이 요구되고 있다. 유량 시스템 중 소닉노즐은 기체 유량 측정 표준기로 사용되고 있다. 또한 유량 측정에 있어서 사용상의 편리성, 이동성, 재현성 등 여러 가지의 장점을 가지고 있어 산업 현장에서 많이 사용되고 있다. 본 연구는 소닉노즐을 넓은 유량 범위에서 사용할 수 있도록 소닉노즐의 유출계수 교정을 목적으로 한다. ISO 9300에서 제시한 사양에 맞추어 목 직경 0.03 mm와 0.2 mm 그리고 1.6 mm의 소닉노즐을 제작하였다. 한국표준과학연구원에서 진공용 유량측정 장치로 개발된 정적형 유량계를 이용하여 제작된 3 종의 소닉노즐 유출계수를 확장불확도 3% 이내로 교정하였다. 교정된 소닉노즐의 유량 측정범위는 약 0.6~90, 000 cc/min 범위를 갖는 것으로 나타났으며, 사용유동 조건에 해당되는 레이놀드 수(Reynolds number) 범위는 26~75, 700 으로 확인되었다. 이러한 결과는 교정된 소닉노즐을 이용하여 진공공정에서 필요한 극 미세 유량의 정밀측정을 가능하게한 새로운 연구결과로 판단된다. 교정된 소닉노즐을 이용하여 진공펌프의 배기속도 측정결과는 기 구축된 정적법을 이용한 배기속도 측정결과와 3% 이내의 오차범위내로 매우 잘 일치함을 보였다. 교정된 소닉노즐은 향후 반도체 및 디스플레이 공정에 사용되는 다양한 진공펌프들의 배기속도를 현장에서 간단하게 평가할 수 있는 '현장 성능평가 장치'에 활용할 예정이며, 현재 공정현장에서 배기속도 측정에 널리 사용 중인 MFC를 대체할 수 있을 것으로 예상된다.

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Development of the calibration procedure of the reference sound source and case study on the uncertainty evaluation (기준음원의 교정 절차 개발 및 불확도 평가 사례)

  • Jae-Gap Suh;Wan-Ho Cho
    • The Journal of the Acoustical Society of Korea
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    • v.43 no.3
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    • pp.344-350
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    • 2024
  • A Reference Sound Source (RSS) is an important standard device employed in measuring sound power. The specifications of RSS is specified in international standards, and it is classified as a major calibration item in the field of acoustic metrology. Since the output power of RSS is affected by the supply voltage, each country needs to secure its own calibration service system. In this study, a procedure for calibrating a RSS is established based on the reverberant room conditions and uncertainty evaluation is conducted. Basically, the calibration procedure can apply a precision measurement process of acoustic power, and here, the measurement method using the reverberation chamber of ISO 3741 is applied. For this purpose, a measurement system is constructed, measurements are conducted with two types of RSS, and measurement uncertainty is evaluated. Through measurement examples, it is confirmed that the non-uniformity of the sound pressure distribution in the reverberation room and the volume measurement uncertainty contributed significantly to the overall uncertainty. Additionally, the influence of input voltage is experimentally examined to examine the uncertainty contribution that can be reflected in acoustic power measurements.

Evaluation of Uncertainty in the Primary $O_3$-SRP by the Precise Determination of Light Path Length (광로 길이의 세부적인 결정에 의한 일차 오존 표준분광기 (O$_3$-SRP)의 측정 불확도 평가)

  • 우진춘;배현길;김용두;김영진;문광융;조성일
    • Proceedings of the Korea Air Pollution Research Association Conference
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    • 2003.11a
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    • pp.243-244
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    • 2003
  • 오존은 매우 불안정한 물질로서, 기타의 환경 대기 가스 분석법에서와 같이 해당 성분의 측정기를 표준 가스로 교정한 후 분석할 수 없다. 이러한 이유로, 환경 대기 중의 오존을 분석하는 일반 분석기의 교정을 목적으로, 본 연구실에서는, 국가 일차 오존 표준분광기(O$_3$-SRP)를 제작하여 운영하고 있다. 운영되고 있는 $O_3$-SRP의 측정 원리는 자외선 흡광 광도법이며, 농도값의 결정은 순수하게 Beer-Lambert 법칙에 따른다. Beer-Lambert 법칙에 따라서 오존 농도를 절대적으로 측정하기 위해서는 몰 흡광계수, 광로의 길이, 투과도, 온도 및 압력을 정확히 측정하여야 한다. (중략)

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Manufacture of a Gamma-ray Source using the Neutron Activation and Determination of a HPGe Detector Efficiency (중성자 방사화법을 이용한 감마선원 제조 및 HPGe 검출기 효율 결정)

  • Seo, Bum-Kyoung;Lee, Kil-Yong;Yoon, Yoon-Yeol;Lee, Kune-Woo
    • Journal of Radiation Protection and Research
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    • v.29 no.1
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    • pp.17-23
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    • 2004
  • In order to save time and money needed in the purchase commonly used gamma-ray standard sources, a new radioactive standard source was manufactured by the neutron activation of some regent in the research reactor HANARO. The source was manufactured with an aqueous solution by mixing and dissolving the irradiated reagents. The manufactured source was compared with a commercial standard source. It was confirmed that it could be used as an efficiency calibration source. Also, in order to compare the variation of efficiency due to the volume difference for various containers used in radioactivity assay, the efficiency variation as a function of sample volume was investigated.

New calibration apparatus for a precise barometer (초정밀 기압계 교정을 위한 새로운 압력계 교정장치 개발)

  • 우삼용;이용재;최인묵;김부식;최종운
    • Journal of the Korean Vacuum Society
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    • v.12 no.3
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    • pp.157-161
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    • 2003
  • Nowadays there are increasing demands for more accurate measurement of atmospheric pressure according to the development of environmental industries. One of the most important pressure gauges for satisfying these demands is a quartz resonance barometer. In order to calibrate such an accurate barometer, laser/ultrasonic mercury manometers have been used. However, complexity and cost of mercury manometers made it out of use gradually. As a substitute, a gas-operated pressure balance is used for calibration of precise barometers. In such a case, commercially available pressure balances cannot be entirely suitable because consequent exposure of the piston, cylinder and masses to the atmosphere causes the problem of contamination. In this paper a device for changing the masses in situ without breaking the vacuum is described. This device made it possible to add or remove weights in the absolute mode, thereby greatly reducing the time between observations. At the same time, we investigated the characteristics of a commercial precise barometer using this new apparatus.

Development of a Candidate Equipment for Ozone SRP and its Uncertainty Evaluation (오존 SRP 후보 기기의 제작과 측정 불확도 평가)

  • 정규백;이진홍;우진춘
    • Proceedings of the Korea Air Pollution Research Association Conference
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    • 1999.10a
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    • pp.113-114
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    • 1999
  • 일차 오존 표준 분광기(SRP)를 제작하여 오존 측정의 정확성을 확보하고, 이것을 국가 표준으로 이용하여 현장 분석기를 차례로 교정하는 체계(그림 1 참조)를 구축하기 위하여, 먼저 자외선 흡광 광도법을 근간으로 하여 오존 SRP 후보 기기를 제작하였다.(중략)

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A Study on the Calibration of Measuring System for the DC Voltage Withstands Testing System (직류내전압시험기의 측정시스템 교정에 관한 연구)

  • Kim, Dong-Su;Kim, Geun-Yong;Kim, Chul-Hwan
    • Proceedings of the KIEE Conference
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    • 2009.07a
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    • pp.648_649
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    • 2009
  • 직류내전압시험기는 접속재 등의 절연 성능을 평가하는 시험 설비로, 설비의 측정시스템은 성능평가를 주기적으로 실시하여 시험 신뢰성의 유지하여야 한다. 본 논문에서는 직류내전압시험기의 측정시스템을 교정용 표준기를 사용하여 비교 측정을 실시하고, 그 결과를 시험시 반영하고자 한다.

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National Vacuum Standards from Low to Ultra-high Vacuum (저진공에서 초고진공까지의 국가 진공표준)

  • Hong S. S.;Lim I. T.;Shin Y. H.;Chung K. H.
    • Journal of the Korean Vacuum Society
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    • v.15 no.1
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    • pp.1-13
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    • 2006
  • Vacuum laboratory in Korea Research Institute of Standards and Science (KRISS) was opened in 1983 for establishing and disseminating vacuum standard in Korea. The major three systems such as the ultrasonic interferometer manometer (UIM), the static expansion system (SES) and the dynamic expansion system (DES) with orifice and porous plug conductance are developed. In this study, the standard systems from low to ultra-high vacuum, uncertainty analysis by ISO regulation, and key and bilateral comparison results will be described.

Development of Laser Power Meter Calibration System with 12-diode Laser Sources (12개 다이오드 레이저를 활용하는 레이저 복사출력계 교정시스템 개발)

  • Kanghee Lee;Jae-Keun Yoo;In-Ho Bae;Seongchong Park;Dong-Hoon Lee
    • Korean Journal of Optics and Photonics
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    • v.35 no.2
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    • pp.61-70
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    • 2024
  • We demonstrate a laser power meter calibration system based on 12-diode laser sources coupled to single-mode fibres in a wavelength range from 400 to 1,600 nm. In our system, three laser power controllers ensure that the output power uncertainty of all laser sources is less than 0.1% (k=2). In addition, all laser beams are adjusted to have similar beam sizes of approximately 2 mm (1/e2-width) at the measurement position to minimise unmeasured laser power on a detector. As a reference detector, we use an integrating sphere combined with silicon and indium gallium arsenide photodiodes to minimise the non-uniformity and non-linearity of responsivity. The minimum uncertainty of the calibration system is estimated to be 1.1% (k=2) for most laser wavelengths.