• Title/Summary/Keyword: 광 주사 장치

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A study on optical measurement system with high precision and product of Near-Field Scanning Optical Microscope (고정밀 광계측 시스템 연구 및 근접장 주사 광학현미경의 제작)

  • Sin, Dong-Min;HwangBo, Soung
    • Proceedings of the KIEE Conference
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    • 2008.07a
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    • pp.1743-1744
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    • 2008
  • NSOM(Near-field Scanning Optical Microscopy) 조화 진동자(Tuning fork)와 광섬유 탐침을 결속시켜 미소신호를 검출하여 증폭과 잡음을 제거하기 위한 Pre-amplifier의 설계 및 제작과 더불어 시료-탐침간 거리를 파장보다 짧게 유지시키는 Shear force 검출, 효율적인 시료-탐침 거리유지 알고리즘 구연 및 탐침을 시료 표면에서 일정한 거리를 안정적으로 유지하도록 제어 및 시료의 높이 정보를 얻어내는 시스템을 설계 및 제작하였다. 또한 ����$CO_2Laser$를 이용한 Heat Pulling 장치개발을 통해 탐침을 제작, LabVIEW를 통해 개별적인 시스템을 하나로 통합하여 AFM 테스트 시료인 SiO 샘플의 표면 형상을 측정하였다.

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간격이 조절된 갭 전극을 이용한 전기화학적 신호증폭 연구

  • Park, Dae-Geun;Sin, Jong-Hwan;Kim, Dae-Hui;Yun, Geum-Hui;Park, Jong-Mo;Lee, Cho-Yeon;Yun, Wan-Su
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2014.02a
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    • pp.403.2-403.2
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    • 2014
  • 본 연구에서는 갭을 갖는 전극을 제작하고, 전극사이의 간격이 좁아짐에 따른 분석물질의 전기화학적 신호증폭현상을 확인하였다. 광 리소그래피와 전자빔 리소그래피를 이용하여 기본 전극을 구성하고 이를 바탕으로 전극의 표면에 금속의 환원을 유도함으로써 환원시간에 따라 전극이 점점 좁아지게 하는 방법을 이용하여 다양한 간격의 갭 전극을 제작하였다. 이와같은 방법으로 제작된 전극을 전기화학 신호분석장치에 연결하고, $2{\mu}m$의 간격부터 약 50 nm 까지의 다양한 전극 간격을 가지는 갭 전극 각각에 대한 전기화학적 신호를 분석하였다. 전극에 Ferricyanide 를 노출시켜 전극의 간격이 좁을수록 FeCN63-의 산화 환원에 따른 패러데이 전류가 증폭하는 것을 확인하였으며, 분석물질의 검출 한계 농도 또한 낮아짐을 확인하였다. 이러한 실험결과는 일정전위기의 순환전압전류법, 주사전자현미경, 원자힘현미경을 이용하여 분석되었다.

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사파이어 기판에 증착한 MgMoO4:Eu3+ 박막의 광학 특성

  • Gang, Dong-Gyun;Kim, Jin-Dae;Jo, Sin-Ho
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2015.08a
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    • pp.185.1-185.1
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    • 2015
  • 본 연구에서는 라디오파 마그네트론 스퍼터링 방법을 사용하여 증착 온도를 변화시켜면서 Eu 이온이 도핑된 MgMoO4 적색 형광체 박막을 사파이어 기판 상부에 성장하였다. 타겟은 고상반응법을 사용하여 직접 제작하였다. 형광체 박막의 구조, 표면, 광학적 특성은 X-선 회절장치, 주사전자현미경, 투과도 및 광여기발광 측정장치를 사용하여 측정하였다, 증착 온도는 100, 200, 300, $400^{\circ}C$이었으며, 증착 후 $870^{\circ}C$에서 열처리 공정을 실행하였다. 이와 더불어, $400^{\circ}C$에서 증착한 박막을 다양한 온도 $770-920^{\circ}C$에서 열처리를 수행하여 각각의 특성을 분석하였다. 증착 온도 $200^{\circ}C$에서 성장한 박막의 경우에 614 nm에 피크를 갖는 주 적색 발광 피크가 관측되었으며, 열처리 온도를 달리한 박막의 경우에는 $920^{\circ}C$에서 가장 강한 발광 피크가 나타났다. UV-VIS 분광광도계를 사용하여 박막의 투과도와 흡광도를 측정하였으며, Tauc의 모델을 사용하여 밴드갭 에너지를 계산하였다. 증착 온도 변화에 따라 성장된 박막의 투과도는 평균 82% 이상 이었으며 밴드갭 에너지는 4.1 eV이었다. 박막의 결정 구조는 단사정계임을 확인하였다. 특히, 결정 입자, 발광 피크의 세기와 투과도의 상관 관계를 조사하였다.

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3-Dimensional Circuit Device Fabrication for Improved Design Freedom based on the Additive Manufacturing (설계자유도 향상을 위한 부가가공 기반의 3차원 회로장치 제작)

  • Oh, Sung Taek;Jang, Sung Hyun;Lee, In Hwan;Kim, Ho Chan;Cho, Hae Yong
    • Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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    • v.31 no.12
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    • pp.1077-1083
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    • 2014
  • Multi-material Additive Manufacturing (AM) is being focused to apply for direct manufacturing of a product. In this paper, a three-dimensional circuit device (3DCD) fabrication technology based on the multi-material AM technology was proposed. In contrast with conventional two-dimensional Printed Circuit Board (PCB), circuit elements and conducting wires of 3DCD are placed in threedimensional configuration at multiple layers of the structure. Therefore, 3DCD technology can improve design freedom of an electronic product. In this paper, 3DCD technology is proposed based on AM technology. Two types of 3DCD fabrication systems were developed based on the Stereolithography and the Fused Deposition Modeling technologies. And the 3DCD samples which have same function were fabricated, successfully.

전기화학적증착 방법으로 인가전압 변화에 따라 형성한 SnO2 나노구조의 전기적 및 구조적 성질

  • Hwang, Jun-Ho;No, Yeong-Su;Lee, Dae-Uk;Kim, Tae-Hwan
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2012.08a
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    • pp.397-397
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    • 2012
  • 에너지갭이 큰 SnO2 반도체는 빛 투과율이 우수하여 투명성이 좋으며 화학적으로 안정된 구조를 가지고 있어 전자소자 및 광소자 응용에 대단히 유용하다. SnO2 박막을 증착하는 방법은 Physical Vapor Deposition과 Chemical Vapor Deposition이 있으나 나노 구조를 가진 SnO2를 형성하기 어렵다. 전기 화학적 증착 (Electrochemical Deposition: ECD)은 낮은 온도에서 진공 공정이 필요하지 않기 때문에 경제적이며 빠른 성장 속도를 가지고 있기 때문에 SnO2 나노 구조를 효과적으로 형성 할 수 있다. 본 연구에서는 Indium Tin Oxide (ITO) 기판 위에 SnO2 나노 구조를 형성시켜 전기적 및 구조적 특성을 관찰하였다. 0.015 M의 Tin chloride pentahydrate(SnCl4 5H2O)를 타켓 물질로 사용하고 0.1 M의 KCl을 완충물질로 사용하여 SnO2 나노구조를 성장하였다. 타겟 물질이 잘 녹지 않으므로 DI water와 ethanol을 7:3의 비율로 용매 사용하였다. 전류-전압 곡선을 분석하여 최적의 성장조건을 확보하고, $65^{\circ}C$ 1기압 하에서 -2.5 V 부터 -1.0 V까지 0.5 V 간격으로 나누어서 SnO2 나노구조를 성장하였다. X-선 회절 분석결과에서 SnO2의 피크의 크기가 큰 전기화적적 성장 전압구간과, 주사전자현미경 분석 결과에서 나노 구조가 가장 잘 나타난 성장 전압구간을 다시 0.1 V 간격으로 세분화하여 최적화 조건을 분석하였다. X-선 회절 실험으로 형성한 SnO2 나노구조의 피크가 (110) (101) (200) (211) (310)로 나타났다. X-선 회절 분석의 intensity의 값이 (101)방향이 가장 크게 나타났으므로 우선적으로 (101) 방향으로 SnO2 나노구조가 성장됨을 알 수 있었다. 주사전자현미경상은 grain size가 50~100 nm 사이의 SnO2 나노구조가 형성되며, grain size가 전기화학적 증착 장치의 성장전압이 저 전압 구간에서 커지는 것을 알 수 있었다.

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전기화학적 증착방법을 사용하여 형성한 인가 전압에 따른 Al-doped ZnO 나노결정체의 구조적 성질 및 전기적 성질

  • Park, Se-Cheol;Kim, Gi-Hyeon;No, Yeong-Su;Lee, Dae-Uk;Kim, Tae-Hwan
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2013.08a
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    • pp.262.1-262.1
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    • 2013
  • ZnO 나노구조는 전기적 성질과 화학적인 안정성 때문에 가스센서, 투명 전극 및 태양전지와 같은 전자소자와 광소자에 널리 사용되고 있다. ZnO 박막을 증착하는 방법은 Physical Vapor Deposition과 Chemical Vapor Deposition이 있으나 나노 구조를 가진 SnO2를 형성하기 어렵다. 전기 화학적 증착(Electrochemical Deposition: ECD)은 낮은 온도에서 진공 공정이 필요하지 않기 때문에 경제적이며 빠른 성장 속도를 가지고 있기 때문에 ZnO 나노 구조를 효과적으로 형성 할 수 있다. 본 연구에서는 Indium Tin Oxide (ITO) 기판 위에 ZnO 나노 구조를 형성시켜 전기적 및 구조적 특성을 관찰하였다. 0.1 M zinc nitrate와 0.1 M potassium chloride를 용매에 각각 용해하여 ZnO 나노구조를 성장하였다. ZnO 나노구조를 성장하기 위하여 인가전압을 -0.75 V부터 -2.5 V까지 0.5 V 간격으로 변화하였다. X-선 회절 분석결과에서 ZnO의 피크의 크기가 큰 전기화적적 성장 전압구간과, 주사전자현미경 분석결과에서 나노 구조가 가장 잘 나타난 성장 전압구간을 다시 0.1 V 간격으로 세분화하여 최적화 조건을 분석하였다. X-선 회절 실험으로 형성한 ZnO 나노구조의 피크가 (110) (002)로 나타났다. X-선 회절 분석의 intensity의 값이 (002)방향이 가장 크게 나타났으므로 우선적으로 (002) 방향으로 ZnO 나노구조가 성장됨을 알 수 있었다. 주사전자현미경상은 grain size가 200~300 nm 사이의 ZnO 나노구조가 형성되며, grain size가 전기화학적 증착 장치의 성장전압이 커짐에 따라 커지는 것을 알 수 있었다.

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Development of a MTF Measurement System for an Infrared Optical System (적외선 광학계용 MTF 측정장치 개발)

  • Son, Byoung-Ho;Lee, Hoi-Yoon;Song, Jae-Bong;Yang, Ho-Soon;Lee, Yun-Woo
    • Korean Journal of Optics and Photonics
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    • v.26 no.3
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    • pp.162-167
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    • 2015
  • In this paper, we developed a MTF (Modulation Transfer Function) measurement system using a knife-edge scanning method for infrared optics. It consists of an objective part to generate the target image, a collimator to make the beam parallel, and a detector to analyze the image. We used a tungsten filament as the light source and MCT (Mercury Cadmium Telluride) to detect the mid-infrared(wavelength $3-5{\mu}m$) image. We measured the MTF of a standard lens (f=5, material ZnSe) to test this instrument and compared the result to the theoretical value calculated using the ZEMAX commercial software. It was found that the difference was within ${\pm}0.035$ at the cut-off frequency (50 1/mm). Also, we calculated the A-type measurement uncertainty to check the reliability of the measurement. The result showed only 0.002 at 20 1/mm in spatial frequency, which means very little variation in the MTF measurement under the same conditions.

THE EFFECT OF INTERMITTENT COMPOSITE CURING ON MARGINAL ADAPTATION (복합레진의 간헐적 광중합 방법이 변연적합도에 미치는 영향)

  • Yun, Yong-Hwan;Park, Sung-Ho
    • Restorative Dentistry and Endodontics
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    • v.32 no.3
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    • pp.248-259
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    • 2007
  • The aim of this research was to study the effect of intermittent polymerization on marginal adaptation by comparing the marginal adaptation of intermittently polymerized composite to that of continuously polymerized composite. The materials used for this study were Pyramid (Bisco Inc., Schaumburg, U.S.A.) and Heliomolar (Ivoclar Vivadent, Liechtenstein) . The experiment was carried out in class II MOD cavities prepared in 48 extracted human maxillary premolars. The samples were divided into 4 groups by light curing method: group 1- continuous curing (60s light on with no light off), group 2-intermittent curing (cycles of 3s with 2s light on & 1s light off for 90s); group 3- intermittent curing (cycles of 2s with 1s light on & 1s light off for 120s); group 4- intermittent curing (cycles of 3s with 1s light on & 2s light off for 180s). Consequently the total amount of light energy radiated was same in all the groups. Each specimen went through thermo-mechanical loading (TML) which consisted of mechanical loading (720,000 cycles, 5.0 kg) with a speed of 120 rpm for 100hours and thermocycling (6000 thermocycles of alternating water of $50^{\circ}C$ and $55^{\circ}C$). The continuous margin (CM) (%) of the total margin and regional margins, occlusal enamel (OE), vertical enamel (VE), and cervical enamel (CE) was measured before and after TML under a $\times200$ digital light microscope. Three-way ANOVA and Duncan's Multiple Range Test was performed at 95% level of confidence to test the effect of 3 variables on CM (%) of the total margin: light curing conditions, composite materials and effect of TML. In each group, One-way ANOVA and Duncan's Multiple Range Test was additionally performed to compare CM (%) of regions (OE, VE CE). The results indicated that all the three variables were statistically significant (p < 0.05). Before TML, in groups using Pyramid, groups 3 and 4 showed higher CM (%) than groups 1 and 2, and in groups using Heliomolar. groups 3 and 4 showed higher CM (%) than group 1 (p < 0.05). After TML, in both Pyramid and Heliomo)ar groups, group 3 showed higher CM (%) than group 1 (p < 0.05) CM (%) of the regions are significantly different in each group (p < 0.05). Before TML, no statistical difference was found between groups within the VE and CE region. In the OE region, group 4 of Pyramid showed higher CM (%) than group 2, and groups 2 and 4 of Heliomolar showed higher CM (%) than group 1 (p < 0.05). After TML, no statistical difference was found among groups within the VE and CE region. In the OE region, group 3 of Pyramid showed higher CM (%) than groups 1 and 2, and groups 2,3 and 4 of Heliomolar showed higher CM (%) than group 1 (p < 0.05). It was concluded that intermittent polymerization may be effective in reducing marginal gap formation.

Structural, Morphological, and Optical Properties of AlN Thin Films Subjected to Oxygen Flow Ratio (산소 유량비 변화에 따른 AlN 박막의 구조, 표면 및 광학적 특성)

  • Cho, Shin-Ho;Kim, Moon-Hwan
    • Journal of the Korean Vacuum Society
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    • v.19 no.4
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    • pp.287-292
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    • 2010
  • We have investigated the effects of oxygen flow ratios on the structural, morphological, and optical properties of AlN thin films grown by using radio-frequency reactive magnetron sputtering. The AlN thin films were deposited at $300^{\circ}C$ of substrate temperature, and the reactive gas were supplied with both nitrogen and oxygen. The oxygen flow ratio was varied by controlling the amount of oxygen with respect to the total mixed gases, 0%, 10%, 15%, 20%, 25%, and 30%. The structural, morphological, and optical properties of the deposited AlN thin films were examined by using X-ray diffractometer, scanning electron microscopy, and ultraviolet-visible spectrophotometer. The AlN thin film grown at 10% of oxygen flow ratio indicated an average transmittance of 91.3% in the wavelength range of 350~1,100 nm and an optical band gap of 4.30 eV. The experimental results suggest that AlN thin films can be deposited optionally by varying the oxygen flow ratio.

Synthesis and Photoluminescence Properties of Blue Phosphor Y1-xBO3:Cex3+ (청색 형광체 Y1-xBO3:Cex3+의 합성과 발광 특성)

  • Cho, Shin-Ho
    • Journal of the Korean Vacuum Society
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    • v.20 no.3
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    • pp.176-181
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    • 2011
  • $Y_{1-x}BO_3:Ce_x^{3+}$ ceramic phosphors were synthesized with changing the concentration of $Ce^{3+}$ ion by using a solid-state reaction method. The crystal structure, surface morphology, and optical properties of the blue phosphors were investigated by using X-ray diffractometer (XRD), scanning electron microscopy, and photoluminescence and photoluminescence excitation spectrophotometry, respectively. The XRD results showed that the main peak of the phosphor powders occurs at (401)와 ($31\bar{2}$) planes. As for the optical properties, the excitation spectrum occurred at 243 nm and the value of blue emission intensity peaking at 469 nm reached the maximum when the concentration of $Ce^{3+}$ ion was 0.10 mol.