Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)
- 2008.07a
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- Pages.1743-1744
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- 2008
A study on optical measurement system with high precision and product of Near-Field Scanning Optical Microscope
고정밀 광계측 시스템 연구 및 근접장 주사 광학현미경의 제작
- Sin, Dong-Min (Honam University) ;
- HwangBo, Soung (Honam University)
- Published : 2008.07.16
Abstract
NSOM(Near-field Scanning Optical Microscopy) 조화 진동자(Tuning fork)와 광섬유 탐침을 결속시켜 미소신호를 검출하여 증폭과 잡음을 제거하기 위한 Pre-amplifier의 설계 및 제작과 더불어 시료-탐침간 거리를 파장보다 짧게 유지시키는 Shear force 검출, 효율적인 시료-탐침 거리유지 알고리즘 구연 및 탐침을 시료 표면에서 일정한 거리를 안정적으로 유지하도록 제어 및 시료의 높이 정보를 얻어내는 시스템을 설계 및 제작하였다. 또한 ����
Keywords