• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2000.07c
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• pp.1620-1621
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• 2000

본 실험에서는 PMD Liner Nitride 공정의 최적화의 일환으로 현재 반도체 제조 공정에서 적용하고 있는 Nitride막들의 특성을 비교 분석함과 더불어 연관 공정인 BPSG 증착 및 Densification과의 관련 여부를 파악하기 위한 시도를 하였다. 특히 Nitride 박막 특성을 결정하는 중요한 요소인 Si-H 결합과 Si-NH-Si 결합의 농도 변화 분석을 위하여 FTIR Area 분석법을 이용하였다. 또한 증착된 Film의 안정성 여부를 판단하기 위하여 발생 가능한 정도의 RF Power 흔들림에 대한 Nitride 막의 Stress 변화 정도를 측정하였다.

• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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• 2015.05a
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• pp.29-29
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• 2015

Al과 Ni이 나노 두께로 적층되어 있는 나노 포일은 외부의 촉발에 의해 원자수준의 상호 확산을 통해 합금화 된다. AlNi 합금이 되서 $-{\Delta}H$의 변화로 인하여, 외부에 열을 공급하게 되어 최대 엔탈피의 변화 일어날 수 있는 Al과 Ni의 혼합비율을 조사하였다. 나노 포일의 제조 공정은 마그네트론 스퍼터링을 이용하였으며, 나노 박막의 두께 및 적층 공정에 대한 공정 최적화를 하였다. 제조된 나노 포일은 금속-세라믹의 상온접합을 실시하여 산업적 응용에 대한 가능성을 고찰하고자 하였다.

• Journal of Korean Society of Environmental Engineers
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• v.35 no.5
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• pp.356-362
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• 2013

An attempt has been made to optimize elongated rotating arc plasma $NH_3$ scrubber. Among diverse semiconductor processes, diffusion and implantation process inevitably produce $NH_3$ as byproduct and efficient dry process for the decomposition of $NH_3$ is required. Plasma process does not produce NOx that is commonly produced in combustion process and there is no problem of deactivation, usually experienced in catalyst process. However, plasma process uses electrical energy and needs to be optimized to achieve feasibility of application. In this work, mode control of rotating arc is presented as tentative solution for the possible optimization of the process. Based on existing rotating arc, scale-up and following mode mapping was tried. Proposed reactor design was evaluated in the $NH_3$ decomposition process and revealed that optimization scheme is at hand. In the experiment of full scale scrubber including heat exchanger, the process gave more stable and efficient process of $NH_3$ decomposition.

• Proceedings of the KWS Conference
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• 1999.10a
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• pp.83-86
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• 1999

• Proceedings of the Korea Technical Association of the Pulp and Paper Industry Conference
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• 2005.11a
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• pp.309-315
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• 2005

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2008.08a
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• pp.147-147
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• 2008

• Proceedings of the Korea Technical Association of the Pulp and Paper Industry Conference
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• 2004.11a
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• pp.114-120
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• 2004

• Journal of the Korea Society for Simulation
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• v.26 no.4
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• pp.35-41
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• 2017

With the advances in Internet over Things, the demand in diverse electronic devices such as mobile phones and sensors has been rapidly increasing and boosting up the researches on those products. Semiconductor materials, devices, and fabrication processes are becoming more diverse and complicated, which accompanies finding parameters for an optimal fabrication process. In order to find the parameters, a process simulation before fabrication or a real-time process control system during fabrication can be used, but they lack incorporating the feedback from post-fabrication data and compatibility with older equipment. In this research, we have developed an artificial intelligence based simulator, which finds parameters for an optimal process and controls process equipment. In order to apply the control concept to all the equipment in a fabrication sequence, we have developed a prototype for a manipulator which can be installed over an existing buttons and knobs in the equipment and controls the equipment communicating with the AI over the Internet. The AI is based on the deep learning to find process parameters that will produce a device having target electrical characteristics. The proposed simulator can control existing equipment via the Internet to fabricate devices with desired performance and, therefore, it will help engineers to develop new devices efficiently and effectively.

• Journal of the KSME
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• v.29 no.2
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• pp.184-198
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• 1989

가공공정에 관한 여군 및 개발의 목적은 결함없는 부품을 경제적으로 최적의 방법으로 생산하 는데 있다. 최적가공조건은 부품에 부여된 요구사항에 따라 달라지나 그 조건을 예측함은 가 공공정 전반에 관한 깊은 이해를 요한다. 최적화 측면에서 볼 때 소성가공이나 고분자재료, 복 합재료, 금속 및 세라믹 분말 등의 신소재 성형가공 등에 있어서의 공정 설계와 제어는 주어진 가공조건하에서 가공중의 재료의 상태를 정확하게 해석하는 데서 출발한다. 유한요소법을 사 용한 공정의 시뮬레이션이 현대적 성형가공 기술에 있어서 중요한 위치를 차지하고 있는 이유는 바로 여기에 기인한다. 이 글에서는 소성가공 공정을 요약하고 공정 설계에 유한요소법을 적 용하는 방법을 몇 가지 공정의 예를 들어 설명하였다. 각각의 예에 있어서는 개발의 동기와 핵심, 그리고 최근의 연구동향을 언급하였다.

• Proceedings of the Korean Environmental Sciences Society Conference
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• 2002.05b
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• pp.271-272
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• 2002

하수 또는 폐수의 재이용시 사용되는 역삼투막설비의 전처리공정으로 사용되는 연속식정밀여과기의 전단에 PAC와 같은 응집제를 10ppm 투입하고 역세주기를 20분으로 하여 막오염을 최소화함으로써 재이용 시스템의 안정적인 운전이 가능하였다.