• Title/Summary/Keyword: 공정개선

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Matching Improvement of RF Matcher for Plasma Etcher (식각장비의 RF 정합모듈 성능 개선)

  • Sul, Yong-Tae;Lee, Eui-Yong;Kwon, Hyuk-Min
    • Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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    • v.9 no.2
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    • pp.327-332
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    • 2008
  • New RF matcher module has been proposed in this paper for improvement of RF matcher in plasma etcher system using in semiconductor and display panel manufacturing process. New designed warm gear was used instead of bevel gear in new driving module, and control system was re-arranged with one-chip micro-process technique. The matching performance of new match module was improved in various process condition with reduction of backlash and matching time, and flexible motion of motor compared commercial match module. However this new type RF match module will improve the productivity in etching process of the mass production line.

Nitrogen-Doping of Nano-Thin Exfoliated (NTE) Graphite by RF Thermal Plasma with NH3

  • Lee, Gyu-Hang;Sin, Myeong-Seon;Choe, Seon-Yong;Jo, Gwang-Seop;Kim, Seong-In
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2016.02a
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    • pp.233.1-233.1
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    • 2016
  • 화학적 방법에 의한 NTE graphite의 박리 또는 전도도 개선을 위한 도핑공정을 수행할 경우, 결함 및 불순물 생성에 의해 재결정화 공정 및 순도 개선을 위한 별도의 공정을 필요로한다. 본 연구에서는 건식 방법으로써 10,000K 이상의 초고온 RF 열플라즈마를 이용하여 in-situ 방법으로 흑연의 박리, 결함 제거, 결정성 향상 및 도핑 공정을 수행하고, 도핑특성을 평가하였다. 질소 도핑을 위하여 암모니아 가스를 첨가하여 NTE graphite를 도핑 처리하였으며, 시뮬레이션을 통하여 반응기 내부의 온도분포를 파악하고, 도핑을 위한 암모니아가스가 분해되어 도핑공정이 수행될 수 있는 투입위치를 결정하였다. 질소 도핑율은 암모니아 가스의 주입위치에서의 온도 및 가스 주입 유량 등의 공정조건에 따라 변화됨을 확인하였고, XPS 분석결과 최대 14.87 atomic%의 도핑율의 결과를 얻었다.

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New Pollution Indices for Use in Minimizing Environmental Impacts from Industrial Processes (새로운 Pollution Index를 이용한 배출 최소화 공정 연구)

  • Choi, Kyeong-Hee;Yoo, Kye-Sang;Moon, Seung-Hyeon;Chang, Young-Soo
    • Clean Technology
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    • v.3 no.2
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    • pp.47-56
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    • 1997
  • This Paper Proposes new pollution indices as a quantitative measure of environmental impact. The pollution index for a process is defined by using pollution balance equations. Three pollution indices were defined on the basis of waste characteristics: mass, BOD, and toxicity. Such pollution indices can be effective and valuable tools for minimizing the waste production of a process in terms of environmental impacts, and, when used with cost estimates, for objectively determining the optimal process. In this paper, the application of these indices was demonstrated in a case study involving the production of detergent, as reported in the literature. Pollution indices for the existing process and two improved processes were calculated and compared to evaluate environmental impacts of these processes.

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Improvement of Construction Process Control to Reduce Construction Risk (건설공사 공정관리이행의 리스크 감소를 위한 개선방안)

  • Park Hong-Tae;Son Chang Baek;Kang Leen Seok
    • Korean Journal of Construction Engineering and Management
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    • v.1 no.1 s.1
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    • pp.35-44
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    • 2000
  • The major objective of construction process control(CPC) is to provide construction managers with operational information that will help reduce project duration and save project cost. However, the CPC in Korea is being applied to construction projects with some basic problems such as the inconvenience of CPC S/Ws and the process control unconcerned with construction information classification system and computer system to integrate cost and schedule. This study analyzes the present condition of CPC including the basic problems, and then suggests the reform measures in technical and operational viewpoints to reduce construction risk. The focus of study is on the technical improvement for the application of construction information management system applicable to both cost estimating and schedule management.

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Suggestions for Energy Utilization Improvement of Fractionation and Hydrodealkylation Units Based on Exergy Analysis (엑서지 해석에 근거한 분별증류 및 수소첨가알킬제거 공정의 에너지 이용 개선 방안)

  • Chung, Yonsoo
    • Clean Technology
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    • v.12 no.2
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    • pp.95-100
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    • 2006
  • Fractionation and hydrodealkylation (HDA) units, subparts of BTX plant, were thermodynamically analyzed using the notion of exergy. Exergy values were calculated as the sum of physical and chemical exergies due to the existence of chemical reactions. The analysis was based on the simulation results with the aid of real operating data. Driving and material exergy losses were separately defined and quantified. Locations and the reason of major exergy losses were identified and improvement strategies were suggested. It was noted that the exergy analysis could provide a sound base for adopting the concept of industrial ecology and developing loss prevention schemes.

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Implementation of Time Management; Based on Road Construction Projects (공정관리 적용에 관한 연구: 도로현장 중심으로)

  • Lee, Kyu-Sun;Park, Hee-Sung
    • KSCE Journal of Civil and Environmental Engineering Research
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    • v.31 no.3D
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    • pp.451-456
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    • 2011
  • There is a relationship between effective time management and project success. Therefore, advanced time management techniques have recently been introduced. This paper investigates the current time management practices for road construction sites and proposes lean construction practices to effectively implement time management. This would be helpful to establish an effective schedule plan. Also, an efficient construction site time management system can be developed base on this fundamental research. Furthermore, future research should be performed to investigate the performance of lean construction.

새 정부의 대기업집단정책

  • 이동규
    • Journal of Korea Fair Competition Federation
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    • no.91
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    • pp.2-7
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    • 2003
  • 새 정부가 국정비전과 국정과제의 하나로 추진하고 있는 $\lceil$공정과 투명$\rfloor$, $\lceil$자유롭고 공정한 시장질서 확립$\rfloor$은 곧 지배구조의 개선을 의미하는 것이다. 그리고 기업 지배구조의 개념 및 목표는 기업 내$\cdot$외부 이해관계자들의 견제와 균형을 통해 기업의 시장가치와 경쟁력을 높이는 것이라는 점에서 지배구조를 개선해 나가기 위한 모든 시장참여자들의 노력이 필수적이다. 특히 대기업집단의 지배구조는 시장에 미치는 영향력이 매우 크기 때문에 훨씬 더 투명해야 하고 바람직한 모델이 필요하게 되는 것이다. 그러나 제도의 완비보다 더욱 중요한 것은 그 제도를 운용하는 정부와 제도의 적용대상이 되는 기업의 의식의 변화라고 생각한다.

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Development of Catalytic Heat Exchanger for Treatment of Off-gas from Oil Refinery Plant (촉매 열교환기를 이용한 정유공장의 Off-gas 처리기술 개발)

  • 유인수;조성준;강성규;정진도
    • Proceedings of the Korea Air Pollution Research Association Conference
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    • 1999.10a
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    • pp.445-446
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    • 1999
  • 근래 여천과 울산 석유화학 단지에서의 유해가스 및 폐수에 의한 환경공해는 심각하여 이제 본격적으로 규제에 진입하였다. 국내외의 환경에 대한 관심이 고조되고 생산 환경 변화에 따라 기존 생산 공정에서도 광해물질 배출과 사용 에너지를 최소화하는 공정 개선이 시급하게 되었다. 특히 기존의 제천 공장이나 석유화학 공장 등에서 배출하였던 가연성 악취 공해 부생가스들은 재처리를 의무화하고 있어 이를 효율적으로 이용 또는 처리할 수 있는 공정 개선이 꼭 필요하다.(중략)

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Improvement of Quality by CAE Flow Analysis (CAE 유동해석을 통한 글라스 홀더 플레이트 (G/H Plate)의 품질개선)

  • 안계운;허용정
    • Proceedings of the KAIS Fall Conference
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    • 2003.06a
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    • pp.122-124
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    • 2003
  • 본 연구는 사출성형공정 후 조립공정에서 발생하고 있는 사출성형물의 Weld line에 의한 사출성형물의 파괴현상을 해석하고 개선된 품질을 얻기 위한 시도이다. 사출성형 관련 설계는 사출금형설계 전문가의 축적된 지식과 경험을 활용하여 수행되어 왔으며, 설계에 필요한 설계자의 경험이 전무한 경우 많은 시행 오차를 유발하고 있는 실정이다. 본 연구에서는 글라스 홀더 플레이트를 사출성형하고 조립공정을 수행함에 있어 생산 중 발생되고 있는 Weld line에 의한 제품의 강도 문제를 수치해석을 통하여 시뮬레이션함으로써 제품 품질을 향상 하고자 해석과 평가를 시도 하였다.

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Improvement of Production Process based on Performance Evaluation System of Unified Heater (통합히터 성능평가장치를 통한 생산 공정 개선)

  • Han, Woo-Hyun;Yoon, Dal-Hwan
    • Journal of IKEEE
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    • v.18 no.1
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    • pp.114-118
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    • 2014
  • This paper presents improvement of the production process of a unified fuel heater with the help of the performance evaluation system. In order to enhance a starting capability of diesel-engine car, the unified fuel heater is proposed, which consists of main body, upper plate, stopper, lower plate, PTC, screw, bimetal and terminals. In the proposed heater, the sensor is combined with heater body not only to maximize the performance of car but also to reduce the production cost. The performance test chamber is proposed to evaluate the performance of heater. Especially, an effective manufacturing progress for assembling the heater elements can cut down expenses.