• Proceedings of the Korea Information Processing Society Conference
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• 2021.05a
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• pp.505-508
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• 2021

반도체 회로의 미세화로 단위 공정이 증가하면 TAT(turn-around time) 증가에 따른 제조 비용이 늘어난다. 반도체 공정 중 포토 공정은 마스크의 회로를 웨이퍼에 전사하는 공정으로 전사를 담당하는 노광장비의 성능에 의해 회로의 정확성이 결정된다. 이런 정확성을 검증하는 계측공정은 회로의 미세화가 진행될수록 필요성은 증가하나 TAT 증가의 주된 요인으로 최근 기계학습을 사용한 다양한 예측 모형들의 개발로 계측 결과를 예측하는 실험들이 진행되고 있다. 본 논문은 노광장비 센서들의 이상값을 감지하여 분류 후 계측공정을 진행하는 LFDC(Lithography Fault Detection and Classification) 시스템의 문제인 분류 성능이 떨어지는 것을 해결하기 위해 XGBoost를 사용하여 계측공정을 진행하지 않고 노광장비 센서의 이상값을 학습된 학습기를 통해 분류하여 포토 공정을 재진행하거나 다음 공정을 진행하는 방법을 실험하였다. 실험에서 사용된 계측 결과 예측 모형은 89%의 정확도를 확보하였고 반도체 데이터 특성인 심각한 불균형의 데이터에 대해서도 같은 정확도를 얻었다. 이런 결과는 노광장비 센서들의 이상값에 대해 89%는 정상으로 판단하였고 정상으로 판단한 웨이퍼를 실제 계측 시 예측과 같은 결과를 얻었다. 계측 결과 예측 모형을 사용하면 실제 계측을 진행하지 않고 노광장비 센서들의 이상값에 대한 판정을 할 수 있어 TAT 단축으로 제조 비용감소, 계측 장비 부하 감소 및 효율 향상을 할 수 있다. 하지만 본 논문에서는 90%의 성능을 보이는 계측 결과 예측 모형으로 여전히 10%에 대해서는 실제 계측이 필요한 문제에 대해 추후 더 연구가 필요하다.

• Proceedings of the Korea Water Resources Association Conference
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• 2019.05a
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• pp.207-207
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• 2019

최근 우리나라는 지역 특성 및 기후변화의 영향으로 인해 수문학적 요소의 변동성이 커지고 수자원의 지속적인 관리에 있어 유출량은 중요한 문제로 여겨지고 있다. 특히 일부 소하천 또는 접경지역과 같은 미계측유역은 수문학적 요소에 대한 자료가 부족하고 수문모형의 초기치 설정과 과거 유출량 자료를 통하여 최적화한 매개변수를 결정해야하므로 장기유출분석이 어렵다. 본 연구의 적용유역으로 미계측유역인 임진강상류 유역에 대한 유출량 추정을 위해 계측 유역의 자료를 활용하여 모형의 매개변수 등을 추정하는 지역화 기법인 다중선형회귀분석과 공간근접분석을 활용하여 유출량을 산정 및 검증하였다. 또한, 확률론적 예측이 가능한 앙상블 기법 적용을 통한 유출량 예측을 하였고, 이를 예측 정확성 평가지표를 통해 효율성 검토를 수행하여 미계측유역의 유출량에 대해 확률론적 예측을 수행하였다. 대표적 지역화 기법의 적용성을 검토한 결과, 계측유역을 통해 다중선형회귀분석과 공간근접분석을 abcd 모형에 적용하였다. 모의유출량을 산정하고 실측 유출량과 비교 분석 결과 모의정확성이 높게 분석되었다. 이와 같은 검증 결과를 토대로 미계측유역의 유출량을 추정하였다. 또한, 지역화 기법을 앙상블 기법에 적용하여 확률론적 유출량 예측의 효율성을 검토하였다. 적용유역과 같은 지류를 포함하고 있는 임진강하류 유역을 대상으로 수행하였다. 검증기간(2013년~2017년) 동안의 월 예측 유출량 앙상블 생성을 위해 과거 강우량와 증발량(1988년~2012년) 자료를 사용하였으며, 지역화 기법을 적용한 abcd 모형을 이용하였다. 예측 유출량의 정확성 평가를 실시하였으며, 정확성이 비교적 높게 분석되었다. 이와 같은 결과를 토대로 미계측유역의 확률론적 유출량을 예측하였다. 따라서, 대표적 지역화 기법을 앙상블 기법에 적용하여 확률론적 유출량을 예측할 경우 보다 정확한 유출량 예측이 가능하다.

• Journal of Yeungnam Medical Science
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• v.18 no.1
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• pp.123-137
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• 2001

Background: The purpose of this study is to evaluate the accuracy of measurements obtained from 3-dimensional computerized tomography and 3-dimensional cephalogram constructed by using the frontal and lateral cephalogram of six human dry skulls. Materials and Methods: After CT scans and each cephalograms were taken, 3-dimensional coordinates (X, Y, Z) of landmarks were obtained using computer programs. In this study, the accuracy of both methods were determined by means of 14 linear measurements compare with caliper measurements. Results: The standard deviation of landmarks of 3-dimensional CT and 3-dimensional cephalogram were 0.23 mm, and 0.30 mm in X axis, 0.27 mm and 0.25 mm in Y axis, and 0.27 mm and 0.31 mm in Z axis. In both methods, the standard deviation were less than 0.5 mm in all landmarks, and the most of landmarks showed less than 1 mm in range. Concerning the accuracy, the mean difference between 3-dimensional CT and manual measurements was 0.33 mm, and 1.13 mm between 3-dimensional cephalogram and manual measurements. The distance between RGo and LGo showed the largest difference (2.03 mm). There were highly significant, and large correlation with manual measurements in both methods (p<0.01). Conclusion: It is concluded that closeness of repeated measures to each skulls reveal the precision of both methods. Computerized tomography and cephalogram for 3-dimensional measurement of maxillofacial structure are equivalent in quality to caliper measurements.

• Journal of dental hygiene science
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• v.12 no.6
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• pp.617-623
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• 2012

This study was performed to measure the accuracy of different gypsum materials by a white light dental scanner. A master model with the prepared lower full arch tooth was used. The type IV and scannable stone were used for 20 stone casts (10 casts each) duplicated a master model of mandible. The distance between the reference points were measured and analyzed by the Delcam $Copycad^{(R)}$ (Delcam Plc, UK) 3D graphic software. The t-student test for paired samples were used for statistical analysis. The mean differences to master model for type IV stone and scannable stone model were 0.29~0.56 mm, and 0.17~0.35 mm, respectively. There were statistical differences in dimensional accuracy for full arch impression between the master model and type IV/scannable stone (p<0.05). Two different gypsum materials showed clinically acceptable accuracies of full arch digital impression produced by them. Besides, in both gypsum materials, the differences to the master model detected appear to provide enough accuracy for clinical application.

• Proceedings of the Korean Society for Agricultural Machinery Conference
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• 2002.02a
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• pp.486-493
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• 2002

본 연구에서는 정밀시비를 위한 전자지도 작성 시스템을 개발하고, 질소 시비량 지도를 작성하였다. 개발된 토양 유기물 함량 계측 센서는 0.07%~7.96%가지의 토양 유기물 함량을 $R^2$= 0.85, SEP=0.72, bias=-0.13으로 계측할 수 있었으며, 작성된 시비량 지도를 이용한 시비는 58.7%의 정확성을 보였다. 시비량 지도에 의한 정밀시비는 획일적인 시비의 정밀시비 30.5%에 비해 91%의 정확성 향상을 보였다. 그러나 개발된 센서의 오차로 인하여 유기물 함량 등급 분류 간격이나 격자 간격 면에서 세분화된 지도는 작성할 수 없었다. 좀 더 정확하고 세분화된 시비량 지도 작성을 위해서는 오차 범위가 작은 정밀한 센서의 개발이 요구된다. 또한 토양 유기물 센서뿐만 아니라 다른 토양 상태를 계측할 수 있는 센서들이 개발된다면 다양하고 정확한 시비량 지도를 작성할 수 있을 것으로 판단된다. 작성된 전자 지도는 농작업의 의사결정에 도움을 주며, 빠른 처방이 가능할 것이다.

• Proceedings of the Korea Information Processing Society Conference
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• 2022.05a
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• pp.477-480
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• 2022

반도체 성능 향상으로 신호를 전달하는 회로의 단위가 마이크로 미터에서 나노미터로 미세화되어 선폭(linewidth)이 점점 좁아지고 있다. 이러한 변화는 검출해야 할 불량의 크기가 작아지고, 정상 공정상태와 비정상 공정상태의 차이도 상대적으로 감소되어, 공정오차 및 공정조건의 허용범위가 축소되었음을 의미한다. 따라서 검출해야 할 이상징후 탐지가 더욱 어렵게 되어, 높은 정밀도와 해상도를 갖는 검사공정이 요구되고 있다. 이러한 이유로, 미세 공정변화를 파악할 수 있는 신규 검사 및 계측 공정이 추가되어 TAT(Turn-around Time)가 증가하게 되었고, 웨이퍼가 가공되어 완제품까지 도달하는데 필요한 공정시간이 증가하여 제조원가 상승의 원인으로 작용한다. 본 논문에서는 웨이퍼의 검계측 데이터가 아닌, 제조공정 과정에서 발생하는 다양한 센서 및 장비 데이터를 기반으로 웨이퍼 제조 결과가 양품인지 그렇지 않으면 불량인지 구별할 수 있는 가상계측 모델을 제안한다. 기계학습의 여러 알고리즘 중에서 다양한 장점을 갖는 XGBoost 알고리즘을 이용하여 예측모델을 구축하였고, 데이터 전처리(data-preprocessing), 주요변수 추출(feature selection), 모델 구축(model design), 모델 평가(model evaluation)의 순서로 연구를 수행하였다. 결과적으로 약 94% 이상의 정확성을 갖는 모형을 구축하는데 성공하였으나 더욱 높은 정확성을 확보하기 위해서는 반도체 공정과 관련된 Domain Knowledge 를 반영한 모델구축과 같은 추가적인 연구가 필요하다.

• International Journal of Highway Engineering
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• v.5 no.3 s.17
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• pp.31-42
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• 2003

The KHC Test Road project was initiated on 1991 to develop Korean Pavement Design Guide. It was constructed along the Joongbu Inland Expressway line between Yeoju and Gamgok. It is two-lane wide expressway containing fifteen asphalt and twenty-five Portland cement concrete test pavement sections. Various sensors were installed in the Test Road to evaluate the behavior of test pavement sections under the influence of traffic load and environmental change. The most important issues in the sensor installation are the accurate location and long-term survivability. They are directly influenced by the sensor installation methodology. The methodology for asphalt strain gages is mainly discussed in this paper because it is the second important sensors in the KHC Test Road project. In order to find the best methodology, we evaluated existing methodology from prior experience and several conducted test installations. We have tried mound, block out, and trench cuts since 2000. Among three methods, block out was the most effective one in terms of accurate location, long-term survivability, and material homogeneity. However, this method cannot be applied to the wearing coarse so that the mound method was used as an alternative. The block out method was applied to base and intermediate layers while the mound method was used to the wearing coarse. Three hundred seventy-four asphalt strain gauges were installed on asphalt pavement sections from September 3rd to November 18th in 2002. According to the sensor measurement evaluation, 6.3% of sensor demonstrated over ranged readings for mound method installation and 2.5% did for block out method installation. We lost only two sensors during the installation. It is 99.5% survival and it is excellent survival rate according to other experience.

• Journal of the korean academy of Pediatric Dentistry
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• v.47 no.1
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• pp.17-24
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• 2020

The purpose of this study was to evaluate the accuracy and precision of the three-dimensional (3D) imaging system of children's facial soft tissue by comparing linear measurements. The subjects of the study were 15 children between the ages of 7 and 12. Twenty-three landmarks were pointed on the face of each subject and 16 linear measurements were directly obtained 2 times using an electronic caliper. Two sets of 3D facial images were made by the 3D scanner. The same 16 measurements were obtained on each 3D image. In the accuracy test, the total average difference was 0.9 mm. The precision of 3D photogrammetry was almost equivalent to that of direct measurement. Thus, 3D photogrammetry by the 3D scanner in children had sufficient accuracy and precision to be used in clinical setting. However, the 3D imaging system requires the subject's compliance for exact images. If the clinicians provide specific instructions to children while obtaining 3D images, the 3D device is useful for investigating children's facial growth and development. Also the device can be a valuable tool for evaluating the results of orthodontic and orthopedic treatments.

• Proceedings of the Korean Nuclear Society Conference
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• 1996.05a
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• pp.433-439
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• 1996

노심 외각에 설치되어 노심 외각으로 누설되는 중성자를 검출하여 노심내의 출력 변화를 지시해 주는 노외계측기(Excore Detector)는 운전중 노심의 변화를 정확히 감지하도록 정기적으로 교정되어져야 한다. 노외계측기는 노내계측기(Incore Detector)를 통하여 측정되어진 축방향 출력편차(Axial Offset)를 이용하여 교정하고 있다. 기존의 방법은 노내계측기로 최소한 4회 노심 출력을 측정하여 최소자승법(Least Square Method)으로 상수들을 구한후 노외계측기를 교정한다. 여기서 소개되는 단순 노외계측기 교정법은 노내계측기로 2회 측정되어진 자료들을 이용하는 2점 교정법과 1회 측정되어진 자료들을 이용하는 1점 교정법으로, 계측기 반응상수(Detector Response Factor)를 계산한후 교정되어진 노외계측기의 출력편차를 측정값과 비교하였다. 위의 두가지 방법을 고리 3호기 9주기, 10주기에 적용하여 노심 운전영역(~$\pm$10%)에서 2점 교정법은 최대 1.40 %, 1점 교정법은 최대 0.63 %의 오차를 보여주고 있다. 단순 노외계측기 교정법은 노심출력을 1회 또는 2회 측정하므로 교정시간을 줄이고 제어봉의 사용을 억제하여 방사성 폐기물을 감소시키는 효과와 기존의 교정 방법과 같은 정확성을 기대할수 있다.

• Proceedings of the Computational Structural Engineering Institute Conference
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• 2009.04a
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• pp.521-524
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• 2009

구조물의 동적특성은 FE 해석에 의해 주로 평가된다. 따라서 실제 구조물과 유사하게 모델링 될수록 구조물의 동적특성을 실제 동적특성에 보다 부합되게 예측할 수 있다. 그러나 FE model을 실제 구조물의 조건과 동일하게 작성하는 것이 어렵고 또한 모델의 정확성을 정량적으로 판단하기가 어렵다. 따라서 본 연구에서는 벽식아파트에 대하여 계측을 실시하고 실제 구조물의 동적특성을 분석하였다. 분석결과를 바탕으로 FE 해석결과와 비교함으로써 FE model의 정확성을 판단하는 한편 실 구조물과 근사하게 FE model의 보정방안을 제시하였다.