• Title/Summary/Keyword: 결점

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The Comparison and Use of Yield Models in Semiconductor Manufacturing (반도체 제조업에서 사용되는 수율 모델의 비교 및 이용)

  • Park, Kwang-Su;Jun, Chi-Hyuck;Kim, Soo-Young
    • IE interfaces
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    • v.10 no.1
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    • pp.79-93
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    • 1997
  • 지난 30여 년간 반도체 제조 공정 중 FAB공정에서 칩 수율 모델의 개발과 적용은 반도체생산 계획 및 조업 관리를 위해 반도체 제조사들에게는 중요한 관리 대상이 되어 왔으며 제조업체들은 다양한 수율 모델들을 각 업체의 조건에 맞게 채택, 적용하여 왔다. 집적 기술의 발전은 반도체 칩의 크기에도 변화를 가져와 웨이퍼상의 결점들이 형성하는 클러스터를 설명할 수 있어야 했으며 칩 면적의 증가는 새로운 수율 모델을 개발케 하였다. 본 논문은 반도체 제조 공정에 대한 고찰과 수율 계산에 영향을 미치는 결점의 클러스터 효과 및 결점 크기를 중심으로 하는 치명 확률에 대하여 살펴보고, 포아송 모델에서 파생된 대표적인 칩 수율 모델들에 대한 설명과 칩 면적의 변화에 따른 각 모델별 수율 계산 비교 및 반도체 수율의 이용에 대하여 기술한다.

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시뮬레이션을 이용한 반도체 수율 예측 모델

  • 박항엽
    • Proceedings of the Korea Society for Simulation Conference
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    • 1994.10a
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    • pp.31-31
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    • 1994
  • 반도체 산업에서 반도체 수율(yeild) 예측은 상당히 중요한 요소로써 고려되고 있다. 정확한 수율 예측은 반도체 공정상에서 문제점을 찾아 개선하는데 도움을 주는 한편, 공정에의 투입량을 산출하는데에도 중요한 요인이 되고 있다. 지난 30년간 반도체 산업의 경향은 점차로 칩(chip)의 크기가 증가하는 방향으로 전개되어 왔고, 이에 따라 수율 예측은 웨이퍼(wafer)내의 결점(defect)수와 칩의 크기외에 결점이 얼마나 웨이퍼내에 모였는가를 나타내는 클러스터 지표(cluster index)가 중요한 파라미터로 제시되고 있다. 본 논문은 머스트니스라는 통신 분야의 개념을 이용하여 새로운 클러스터 지표를 제시하고, 시뮬레이션 기법을 이용한 웨이퍼 내의결점 분포의 자료를 통하여 새로운 클러스터 지표의 특징 및 수율에 따른 패턴을 보여주고자 한다. 아울러 회귀 분석(regression analysis) 기법을 이용하여 수율 예측 모델을 제시하고 기존의 예측 모델과의 차이점을 분석하고자 한다.

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합성 방법에 따른 PET-PEG 블록 공중합체의 생성효율

  • 박영효;최경림;조창기
    • Proceedings of the Korean Fiber Society Conference
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    • 1998.04a
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    • pp.80-84
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    • 1998
  • Poly(ethylene terephthalate)(PET)는 물리적, 기계적 성질이 우수한 고결정성 고분자의 하나로 섬유, 필름 및 여러 가지 용도로 다양하게 사용되고 있으나, 일반적으로 흡습성, 난연성 및 염색성 등이 좋지 않은 결점이 있다. 따라서 이러한 결점을 개선하기 위하여 PET 자체의 성질을 개선하거나 다른 고분자와의 공중합 또는 블렌딩하는 방법, 첨가제의 도입, 그래프팅 등 PET의 개질 연구가 많이 수행되고 있으나 대표적인 방법으로 합성반응시 공단량체를 사용하여 공중합체를 제조하는 것이 널리 알려져 있다.(중략)

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The Mechanical Properties of the Plasma Treated PP Fiber Reinforced Cement Mortar (플라즈마 처리 PP 섬유 보강 시멘트 모르타르의 역학적 특성)

  • 김영수;서문호;김형섭;류근상;원종필
    • Proceedings of the Korean Fiber Society Conference
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    • 2003.10b
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    • pp.155-156
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    • 2003
  • 시멘트는 압축강도가 크고 내구성이 좋으며 가격이 저렴한 우수한 토목건축재료이다. 그러나 인장강도가 낮아서 사용 시 발생하는 휨에 의한 인장변형에 의하거나 양생 후 해 표면 크랙이 발생하는 결점이 있다. 이러한 결점을 보완하기위해 크랙의 발생 억제, 성장 지연을 목적으로 시멘트에 보강용 섬유를 투입하고 있다[1]. 시멘트에서의 보강섬유의 역할은 크랙발생에 필요한 에너지를 최대한 증가시키켜 시멘트가 경화되기 시작할 때, 구속에 의해 발생하는 인장응력 및 균열을 억제하구 내부에 형성되는 결함을 방지함에 있다[2]. (중략)

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Fuzzy Mathematical Morphology Ensuring Geometric Morphological Transformations (기하학적 형태 변환을 보장하는 퍼지 수학적 형태학)

  • 윤창락;김황수
    • Journal of the Korean Institute of Intelligent Systems
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    • v.10 no.6
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    • pp.525-532
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    • 2000
  • 본 논문은 영상에서 형태적 정보를 추출하는데 사용되는 수학적 형태학(mathematical morphology)에 퍼지 집합 이론을 적용하여 새로운 퍼지 수학적 형태학을 제안한다. 일반적인 수학적 형태학은 이진 영상에만 적용되는 한계를 가지고 있었다. 이를 그레이 스케일 영상에도 적용 가능하도록 한 Sinha와 Dougherty[8]이 제안한 방법도 기하학적 형태 변환을 보장하지 못하는 결점이 있었는데 본 논문에서는 그 결점을 제거하는 새로운 수축(erosion)과 확장(dilation) 연산을 정의하고 그 특성을 연구하였다. 본 논문이 제안한 방법과 [8]의 방법을 실제 영상에 대한 실험으로 비교하였다.

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The study of anti-oxidation property for carbon/carbon composites (C/C복합재료의 내산화성 연구)

  • Jeong, Seong-Il;Byeon, Eung-Seon;Gwon, Sik-Cheol;Lee, Gu-Hyeon
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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    • 2012.05a
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    • pp.201-201
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    • 2012
  • 탄소 탄소 복합재료(C/C composite)는 고온도 영역에서 강도저하가 없으며 화학적으로 더욱 안정되어 지기 때문에 고온 구조재료로서 널리 사용되어지고 있다. 모재의 성분이 모두 탄소로 구성되어 있어 약 $500^{\circ}C$의 산화분위기에서 부터는 산화되는 결점을 가지고 있다. 본 연구에서는 이러한 결점을 보완하기 위해 Pack Cementation과 Dipping 방법을 통해 내산화 코팅층을 형성 하여 $1300^{\circ}C$에서의 내산화성을 향상 시킬 수 있었다.

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Estimation of Gamut Boundary based on Modified Segment Maxima to Reduce Color Artifacts (컬러 결점을 줄이기 위한 수정된 segment maxima 기반의 색역 추정)

  • Ha, Ho-Gun;Jang, In-Su;Lee, Tae-Hyoung;Ha, Yeong-Ho
    • Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea SP
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    • v.48 no.3
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    • pp.99-105
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    • 2011
  • In this paper, we proposed a method for estimating an accurate gamut based on segment maxima method. According to the number of segments in the segment maxima, a local concavity is generated in the vicinity of lightness axis or a gamut is reduced in high chroma region. It induces artifacts or deterioration of the image quality. To remove these artifacts, the number of segment is determined according to the number of samples. and a local concavity is modified by extending a detected concave point to the line connecting two adjacent boundary points. Experimental results show that the contours in a uniform color region and speckle artifacts from the conventional segment maxima algorithm are removed.