• 제목/요약/키워드: 견실성

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하중 혼합감도함수를 이용한 RTP 시스템의 $H^{\infty}$ 제어기 설계 ($H^{\infty}$ Controller Design for RTP System using Weighted Mixed Sensitivity Minimization)

  • 이상경;김종해;오도창;박홍배
    • 전자공학회논문지S
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    • 제35S권6호
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    • pp.55-65
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    • 1998
  • 산업현장에서는 반도체 공정의 산화막(oxidation)과 소둔(annealing) 공정에서 생산성을 향상시키기 위해 기존의 확산로(furnace)보다 RTP(rapid thermal processing) 시스템을 많이 사용하고 있다. 이러한 RTP 시스템의 주요 제어대상은 정확한 웨이퍼(wafer)의 온도조절과 웨이퍼 내의 균일성이다. 본 논문에서는 RTP 시스템의 온도변화와 같은 외란에 대한 견실안정성 문제를 해결하기 위해 하중 혼합감도함수를 이용하여 $H^{\infty}$ 제어기를 설계하고, 온도추적 및 웨이퍼 내의 균일성 등의 견실성능 개선은 루프쉐이핑 방법을 이용한다. 온도에 따른 선형화된 모델은 차수문제로 인하여 실 시스템 구현시 제약조건이 있으므로 한켈(Hankel), 자승근 균형(square-root balanced) 및 슈어 균형(Schur balanced) 방법을 사용하여 모델 차수축소를 하여 제어기를 설계한다. 원래의 모델과 축소된 모델에 대해 성능을 비교하고 시뮬레이션을 통하여 설계한 제어기의 견실안정성과 성능을 확인한다.

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매개변수의 불확실성에 대한 이산시간 가변구조 제어기법의 견실성 (Robustness of discrete-time variable structure control to parametric uncertainties)

  • 은용순;조동일
    • 제어로봇시스템학회:학술대회논문집
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    • 제어로봇시스템학회 1997년도 한국자동제어학술회의논문집; 한국전력공사 서울연수원; 17-18 Oct. 1997
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    • pp.293-296
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    • 1997
  • Robust stability conditions for discrete-time variable structure control is proposed. Conventionally the discrete-time variable structure control method with a variable structure uncertainty compensator approach requires a bounded changing rate of the uncertainties to ensure robust stability. However, when uncertainties vary as a function of state variables, which occur with parametric uncertainties, it is not reasonable to assume a bounded variation on the uncertainties. In this paper, uncertainties are assumed to consist of exogenous disturbances and parametric uncertainties. An uncertainty compensator is used to deal with the former, and a robust stability condition is derived using Small Gain Theorem for the latter.

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가중함수의 주파수 영역 해석에 따른 $H_\infty$ 최적 제어기 구성 ($H_\infty$ Optimal Controller Synthesis by the Frequency Domain Analysis of Weighting Function)

  • 김용규;류창근
    • 전자공학회논문지SC
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    • 제37권2호
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    • pp.8-15
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    • 2000
  • 본 연구는 가중함수의 주파수 영역 해석에 의한 H∞ 최적 제어기를 설계하고 이를 대상 시스템에 적용하여 해석하였다. 이는 가중함수와 개 루프 전달함수에서 견실성을 만족하는 영역과 매개변수 γ의 최적 값이 존재하는 영역을 도시하고 H∞ 최적 제어기를 구성하기 위한 알고리즘을 간략화 시킬 수 있다. 또한 제안된 방법에 의해 설계된 제어기는 플랜트 불확실성의 변화에도 불구하고 어떠한 동작점에서도 원하는 사양과 성능을 만족하였다.

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MRAC 방식에 의한 비모형화 동특성을 갖는 로봇 매니퓰레이터의 안정한 제어 시스템 설계에 관한 연구 (A Study on Stable Control System Design of Robotic Msanipulator in Presence of Unmodelled Dynamics Using MRAC Method)

  • 한성현;이만형
    • 대한기계학회논문집
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    • 제13권6호
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    • pp.1346-1360
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    • 1989
  • 본 연구에서는 기준 모델 적응제어 방식에서 직접 적응제어 방식을 사용하여 부하의 변동 및 외란이 발생할 경우에도 매니퓰레이터의 정확한 궤적의 추종 및 속도 의 실시간 제어가 가능한 적응제어시스템을 설계하고자 한다. 제2절에서는 로봇 매니퓰레이터의 기구학적 이론 및 동적 모델링에 대한 기본이론을 전개하고, 제3절 에서는 제어시스템의 설계를 위한 제어 알고리즘과 초안정(hyperstability)이론을 통한 안정성 해석을 다룬다. 그리고 제4절에서는 제안된 제어기의 성능 평가를 위해 6관절 로봇인 스탠포드 로봇 매니퓰레이터에 대한 시뮬레이션을 통한 결과를 토오크 계산법(computed torque method)에 의한 결과와 비교 검토함으로서 제안된 제어기의 성능을 예증한다.

불확실성 및 관절 유연성을 고려한 로봇의 견실제어기 설계 (Robust control design for robots with uncertainty and joint-flexibility)

  • M.C. Han
    • 한국정밀공학회지
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    • 제12권5호
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    • pp.117-125
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    • 1995
  • An improved robust control law is proposed for uncertain rigid robots. The uncertainty is nonlinear and (possibly fast) time-varying. Therefore, the uncertain factors such as imperfect modeling, friction, payload change, and external disturbances are all addressed. Based on the possible bound of the uncertainty, the controller is constructed. For uncertain flexible-joint robots, some feedback control terms are then added to the proposed robust control law in order to stabilize the elastic vibrations at the joints. To show that the proposed control laws are indeed applicable, the stability study based on Lyapunov function, a singular perturbation approach, and simulation results are presented.

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퍼지논리를 이용한 유도모터 드라이브의 견실한 속도 제어기 (A Robust Speed Controller For Induction Motor Driver Using Fuzzy Logic)

  • 신위재;이수흠;이팔진
    • 한국지능시스템학회논문지
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    • 제8권4호
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    • pp.62-68
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    • 1998
  • 본 연구에서는 유도모터 드라이브의 파라미터변동 및 외란의 효과를 고려한 속도 제어기를 설계하였다. 제안된 퍼지 P-I 제어기는 원하는 속도 추종사양에 합치되도록 설계되었으며 외란에 기인된 파라미터 변동의 영향을 최소화 하기위해 퍼지 가중행력을 이용한 견실제어기를 구성하였다. 드라이브의 원하는 속도 추종 제어성은 넓은 동작 범위내에서 지속되었으며 양호한 속도 성능을 모의 실험에 의해 확인 하였다.

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신경회로망을 이용한 산업용 매니퓰레이터의 견실성 해석 (Robustness Analysis of Industrial Manipulator Using Neural-Network)

  • 이진
    • 한국공작기계학회:학술대회논문집
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    • 한국공작기계학회 1997년도 춘계학술대회 논문집
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    • pp.125-130
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    • 1997
  • In this paper, it is presents a new approach to the design of neural control system using digital signal processors in order to improve the precision and robustness. Robotic manipulators have become increasingly important in the field of flexible automation. High speed and high-precision trajectory tracking are indispensable capabilities for their versatile application. The need to meet demanding control requirement in increasingly complex dynamical control systems under significant uncertainties, leads toward design of intelligent manipulation robots. The TMS320C3x is used in implementing real time neural control to provide an enhanced motion control for robotic manipulators. In this control scheme, the networks introduced are neural nets with dynamic neurons, whose dynamics are distributed over all the network nodes. The nets are trained by the distributed dynamic back propagation algorithm. The proposed neural network control scheme is simple in structure, fast in computation, andsuitable for implementation of robust control.

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병렬구조 모션 시뮬레이터 이클립스-II 를 위한 가상현실 시험경로 개발 (Development of the Virtual Test Path for Eclipse-II, A Parallel Mechanism Motion Simulator)

  • 인우성;김종원
    • 한국정밀공학회:학술대회논문집
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    • 한국정밀공학회 2004년도 추계학술대회 논문집
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    • pp.965-968
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    • 2004
  • This paper describes the development of the test path for Eclipse-II, a parallel mechanism motion simulator. Eclipse-II which can be used as a base for general motion simulators, enables unlimited continuous 360-degree spinning in any rotational axes plus finite X, Y, and Z translation motions. The advantage of enabling continuous 360-degree spinning allows various motions for virtual reality. In this paper, the development of the test path to verify the robustness of the Eclipse-II motion simulator is described. The test motions, which satisfy the requirements of test path, are suggested and washout filter enables these motions reproduced in the limited workspace. The trial run is conducted to verify the robustness of the Eclipse-II motion simulator. Additionally the standard data format of virtual reality for Eclipse-II One Man Ride is suggested.

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TMS320C5X 칩을 사용한 산업용 스카라 로봇의 적응제어 (An Adaptive Control Inderstrial SCARA Robot Manipulator Using TMS320C5X Chip)

  • 배길호;김용태;김휘동;염만오;한성현
    • 한국공작기계학회:학술대회논문집
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    • 한국공작기계학회 2001년도 추계학술대회(한국공작기계학회)
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    • pp.128-133
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    • 2001
  • This paper presents a new approach to the design of adaptive control system using DSPs(TMS320C50) for robotic manipulators to achieve trajectory tracking angles. Digital signal processors are used in implementing real time adaptive control algorithms to provide motion for robotic manipulators. In the proposed scheme, adaptation laws are derived from the improved second stability analysis based on the indirect adaptive control theory. The proposed control scheme is simple in structure, fast in computation, an suitable for implementation of real-time control. Moreover, this scheme does not require an accurate dynamic modeling, nor values of manipulator parameters and payload. Performance of the adaptive controller is illustrated by experimental results for a SCARA robot.

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불확실한 퍼지시스템의 견실한 혼합 H2/H 필터 설계 (Robust Mixed H2/H Filter Design for Uncertain Fuzzy Systems)

  • 류석환;최병재
    • 한국지능시스템학회논문지
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    • 제14권5호
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    • pp.557-562
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    • 2004
  • 이 연구는 T-S 퍼지시스템으로 모델 되는 비선형 시스템의 견실한 혼합 ${H_2}/{H_{\infty}}$ 필터 설계문제를 취급한다. 플랜트에 포함된 다양한 종류의 불확실성을 취급하기 위하여 적분 2차 제약조건을 사용하였다. 필터 설계문제의 해가 존재할 충분조건을 볼록 최적화 기법을 사용하여 효과적으로 풀 수 있는 선형 행렬 부등식의 형태로 제시한다. 제시된 방법을 예시하기 위해서 수치 예를 보여준다.