• 제목/요약/키워드: 거리예측

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450 mm Wafer Ashing Chamber 최적 구조 설계를 위한 유체해석 Simulation 연구

  • 김기보;김명수;이다혁;박세근
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2014년도 제46회 동계 정기학술대회 초록집
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    • pp.152-152
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    • 2014
  • 최근 반도체의 고집적화로 high dose implant 도입과 소자의 동작 특성 향상을 위한 low-k 물질 도입에 따라 다양한 주변 공정의 변화를 이끌고 있다. 이에 따라 반도체 제조의 핵심 공정 단계 중 하나인 ashing 단계에서 기존 성능 이상의 장비를 기대하고 있으며, 그것을 평가하기 위한 중요 요소로 uniformity와 fast stripping이 있다. 본 연구에서는 유체해석 시뮬레이션을 통해 450 mm ashing 챔버에서의 gas inlet baffle과 wafer stage 사이의 최적 거리를 예측했다. 우선적으로 시뮬레이션의 신뢰도를 높이기 위해 실험으로 측정한 300 mm ashing 결과와 유체해석 결과 molecular flux의 상관관계를 파악하여, 450 mm ashing 챔버의 최적 구조를 예측하였다. 선행 연구한 300 mm 시뮬레이션 결과를 바탕으로 이상적인 450 mm ashing 챔버를 설계하였다. 유체해석 결과는 동일한 형태의 수직형 구조 장비에서 baffle과 wafer stage 사이의 거리가 35 mm에서 60 mm일 때, 450 mm wafer surface 위에서 더욱 균일한 density 분포를 나타내었다. Reactant flux 분포는 거리가 60 mm에서 80 mm 사이일 경우 더 균일하게 나타났다. 그러므로, 450 mm 챔버에서 gas inlet baffle과 wafer stage 간격이 60 mm일 때 최적의 구조로 판단된다.

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3차원 섬유분포를 고려한 섬유보강 시멘트 모르타르의 전단흐름에 따른 섬유방향성 변화 (Variation of Fiber Orientation with Shear Flow of Fiber-Reinforced Cement Mortar considering 3-D Fiber Distribution)

  • 강수태;김진근
    • 한국전산구조공학회:학술대회논문집
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    • 한국전산구조공학회 2011년도 정기 학술대회
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    • pp.648-651
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    • 2011
  • 본 논문에서는 3차원 섬유분포를 가정하여 고유동 섬유보강 시멘트 모르타르의 유동에 따른 섬유방향성변화를 해석적으로 파악해 보았다. 유동흐름은 평면상의 2차원 완전발달 전단흐름을 고려하였다. 유동에 따른 섬유의 회전운동은 섬유간의 상호 간섭효과를 무시한 Jeffery의 기본식에 근거하였다. 굳지 않은 섬유혼입 모르타르의 유동에 따른 섬유방향성 분포 변화를 흐름선과 동일 유동거리 상의 단면에 대해 파악하였다. 그 결과, 단면 내 위치에 따라서 섬유방향성 분포 변화가 크게 차이가 발생하는 것을 확인할 수 있었다. 또한 유동거리에 따른 단면상의 섬유방향성 분포는 초기 유동거리에서 분포 형상에 큰 변화가 발생하였고, 유동에 따라 섬유가 유동방향과 나란하게 놓이는 경향이 커지는 것을 확인할 수 있었다. 이러한 섬유방향성 변화의 예측은 섬유보강 시멘트 복합체의 인장특성에 예측하는데 유용하게 사용될 것이다.

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퍼지 군집, 예측과 하우스돌프 거리를 이용한 이동물체 추적 프레임워크 구축 (Construction of moving object tracking framework with fuzzy clustering, prediction and Hausdorff distance)

  • 소영성
    • 한국지능시스템학회논문지
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    • 제8권2호
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    • pp.128-133
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    • 1998
  • 본 논문에서는 주어진 칼라 영상열을 분석하여 이동물체 추적을 할수 있는 병렬 프레임워크를 구축한다. 병렬 프레임워크는 크게 탐색 공간 축소 부분과 추적 부분으로 나뉘며 탐색 공간 축소 부분은 퍼지 클러스터링과 칼만 필터를 이용한 예측부분으로 구성되고 추적은 거리변환에 기반을 둔 하우스돌프 거리를 이용해 경계선 정합을 함으로써 이루어진다.

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발파소음의 예측기법과 환경규제 기준으로의 변환 연구 (A Study on the Prediction & Transformation of Blasting Noise for Environmental Regulation Standard)

  • 김남수;양형식
    • 화약ㆍ발파
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    • 제18권2호
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    • pp.14-22
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    • 2000
  • 발파소음을 계측하여 예측방법의 타당성을 검토하였고, 환경규제 기준으로의 변환방식을 규명하였다. 환산거리에 따른 발파소음의 예측은 환산거리와 음압레벨의 상관성이 더 좋았으나, 상관계수가 낮아서 환산거리 설계 의한 발파소음의 조절은 어려움이 있었다. 발파시 동시에 측정된 음압레벨과 소음레벨의 상관식에 의한 변환과, 음압레벨의 우세주파수에 해당하는 청감보정회로의 보정치만큼 간이 보정하여 변환하는 방법과, 퓨리에 변환을 하여 청감보정한 후 소음레벨을 구하는 방법을 시도하였다. 세 가지 방법 모두 변환하는 데에는 많은 오차가 발생하였으나 우세주파수, FFT를 이용한 변환보다는 발파시 동시에 측정된 음압레벨과 소음레벨의 상관식에 의한 변환 방법이 가장 실용적인 방법이었다.

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중학교 혼성·동성학급의 체육수업 걱정거리에 대한 융복합교육 방안 탐색 (Convergence Educational Exploration of Anxiety about PE Class in Middle School Coed Class and Single-sex Class)

  • 이양구;이승희
    • 디지털융복합연구
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    • 제13권11호
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    • pp.561-569
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    • 2015
  • 본 연구에서는 중학교 학생들이 체육수업에서 느끼는 걱정거리 수준을 혼성학급과 동성학급으로 구분하여 걱정거리의 하위 요인별 차이를 심층적으로 분석하여 융복합적 교육 방안을 탐색하는데 목적을 두었다. 연구대상은 경기도에 위치한 중학교 6개교를 무선적으로 선정하여 554명의 학생을 대상으로 하였다. 학급별, 학년별, 학업성적별, 체력등급별에 따른 걱정거리 하위 요인과의 관계를 파악하기 위하여 다변량분산분석 모형을 설정하여 실시하였다. 연구를 통해 얻어진 결과는 다음과 같다. 첫째, 중학교 체육수업에서 느끼는 걱정거리 수준은 학급별(혼성, 동성)에서 '처벌' 요인에 많은 영향을 미치는 것으로 예측되었다. 둘째, 중학교 체육수업에서 느끼는 걱정거리 수준은 학년별에서 '운동종목에 대한 걱정'과 '수업 중 마찰' 요인에 많은 영향을 미치는 것으로 예측되었다. 셋째, 중학교 체육성적별 학생들이 체육수업에서 느끼는 걱정거리 수준은 차이를 나타내지 않는 것으로 나타났다. 넷째, 중학교 체육수업에서 느끼는 걱정거리 수준은 체력등급별에서 '운동종목'에 대한 걱정 요인에 많은 영향을 미치는 것으로 예측되었다.

무선 애드 혹 네트워크에서 향상된 DV-Hop 기반 위치인식 알고리즘 (An Improved DV-Hop Localization Algorithm in Wireless Ad Hoc Networks)

  • 이상우;이동열;이채우
    • 전자공학회논문지CI
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    • 제46권4호
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    • pp.69-78
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    • 2009
  • DV-Hop 알고리즘에서 일반노드의 위치는 앵커노드 간 거리의 평균적인 값을 통해 계산되기 때문에 일반노드의 예측 위치와 실제 위치 간에 많은 오차가 존재한다. 본 논문에서는 앵커노드의 예측 위치와 실제 위치에서 발생하는 오차를 최소화하는 한 홉의 거리를 산출하고 그 거리를 이용하여 일반노드의 위치 정확도를 향상시키는 알고리즘을 제안한다. 또한 실제 거리에 비해 많은 홉 수를 지니는 앵커노드의 홉 당 거리로 인해서 발생하는 일반노드의 위치 오차를 보정하기 위해 일반노드는 앵커 노드들의 홉 당 거리를 평균으로 하는 자신만의 홉 당 평균 거리를 통해서 자신의 위치를 인식한다. 시뮬레이션을 통해서 제안하는 알고리즘이 기존의 DV-Hop보다 높은 위치인식 정확도를 보임을 확인한다.

전기동력 소형무인항공기의 성능분석 (Performance Analysis of an Electric Powered Small Unmanned Aerial Vehicle)

  • 이창호;김성욱;김동민
    • 한국추진공학회:학술대회논문집
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    • 한국추진공학회 2010년도 제34회 춘계학술대회논문집
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    • pp.226-230
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    • 2010
  • 본 논문에서는 배터리와 전기모터 방식의 추진장치를 사용하는 소형무인항공기의 비행성능을 분석한다. 비행시험을 통해 얻은 데이터로부터 공력특성을 예측하고, 이를 활용하여 비행성능을 예측한다. 최대 항속시간을 얻을 수 있는 적정 비행속도를 제시하고, 비행속도에 따른 항속시간 및 항속거리를 예측한다.

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화물기반모형과 트럭통행기반모형의 통행거리분포 분석에 관한 연구 (Analysis of Trip Length Distribution between Commodity-Based Model and Truck Trip-Based Model in Seoul Metropolitan Area)

  • 권혁구;김건영;임홍상;강경우
    • 대한교통학회지
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    • 제20권2호
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    • pp.125-134
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    • 2002
  • 도시화물수요예측모형에는 화물기반모형과 트럭통행기반모형이 있는데 화물기반모형은 화물체계가 기본적으로 화물운송과 관계가 있다는 개념에 기초를 두고 있으며, 차량이 아닌 화물의 움직임을 주요 분석대상으로 삼고 있다. 반면에, 트럭통행기반모형은 집합화된 독립변수를 이용하여 각 죤(Zone)에 유·출입하는 트럭의 통행을 분석하는 것이다. 본 연구의 목적은 트럭통행기반모형의 O-D 추정시 화물통행과 트럭통행 사이의 관계식을 산출하고 이를 설명할 수 있는 통행거리분포함수(Trip Length Distribution : TLD)를 추정함에 있다. 본 연구의 자료는 교통개발연구원에서 수행한 '서울시 물류조사 및 물류종합계획수립구상(1998)'의 화물 물동량 조사 자료를 이용하였으며, 이를 통해 통행거리분포에 따르는 화물 및 차량의 비율을 함수로서 나타내었다. 본 연구를 통하여 트럭통행기반모형에서 트럭통행거리분포를 이용하여 화물기반모형에서 도출할 수 있는 화물의 통행거리분포를 추정할 수 있었으며, 또한 각각의 통행거리분포는 감마분포를 이용하여 함수식으로 도출하고 상기한 두 가지 분포모형을 하나의 관계식을 통해 재산정할 수 있는 이론적인 틀을 제공하였다는 데 의의가 있다고 하겠다. 트럭통행거리분포, 화물통행거리분포 모두 통계적인 검증을 통해 적합한 것으로 분석되었으며, 전체화물의 통행거리분포와 매개함수를 통해 재산정된 모형의 결과 값 또한 통계적으로 유의하였다. 품목별 적용에서는 잡공업품과 화학공업품은 본 연구의 매개함수식을 통해 화물거리분포 모형이 적합하였으나 금속공업 품과 경공업품은 다소 차이가 있는 것으로 분석되었다.

가스의 성분변화가 확산에 미치는 영향 (Effects on the Gas Dispersion by Changed Gas Composition)

  • 민동철;계혜리;김성태;김종민;권정락;김병덕
    • 에너지공학
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    • 제24권4호
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    • pp.117-123
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    • 2015
  • 최근 산업체에서는 성분을 알 수 없거나, 데이터베이스를 보유하지 않는 가스들의 사용이 증가하고 있는 추세이다. 가스들의 사용양이 증가함에 따라 확산범위와 속도를 예측 할 수 있는 소프트웨어들이 사용의 중요성이 증가하고 있는데, 이들 소프트웨어들은 기존에 보유하고 있는 가스들의 자료에 의존하여 확산거리 및 속도를 예측하기 때문에 새로운 가스들이 확산거리(속도)를 예측하기는 매우 어려운 실정이다. 따라서 본 연구에서는 가스의 확산 및 폭발을 예측할 수 있는 FLACS S/W 및 등가가스를 이용하여 불특정한 가스들의 확산을 예측할 수 있는 방법을 제시하고자 한다.

가상 현실 갤러리를 위한 관람자와 미술품의 거리 변화에 따른 해상도 변화

  • 박세근;박길철
    • 한국산업정보학회:학술대회논문집
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    • 한국산업정보학회 1999년도 춘계학술대회 발표논문집
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    • pp.118-134
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    • 1999
  • 가상 현실 미술관에서 시각적 요소인 해상도는 참여자에게 매우 중요한 인공현실감을 제공하며 실제 세계와의 상호 교류의 차이의 극복 요소로서 매우 중요한 부분으로 볼 수 있다. 이러한 시각적 측면을 중심으로 가상현실 전시관에서 관람객과 전시물 사이의 거리에 따른 감상 위치를 분석하고, avatar의 이동에 따른 원근법을 적용하여 해상도를 동적으로 변화시킨다. 특히, 가상 공간의 이동 예측 및 거리 측정에 따른 해상도의 변화는 현장감 향상에 도움을 준다.

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