• 제목/요약/키워드: 강유전 특성

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Pb(Zr,Ti)$O_3$ 강유전체 박막의 스퍼터링 증착과 열처리 연구 (Spputtering Depposition and Anncaling of Pb(Zr,Ti)$O_3$Ferroelectric Thin Films)

  • 박재영;윤진모;장호정;임상규;정지근
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 1996년도 제11회 학술발표회 논문개요집
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    • pp.175-176
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    • 1996
  • ppt/Ti/SiO2/Si 기판상에 고주파 마그네트론 스퍼터링 방식으로 ppZT 박막[두 께:3000$\AA$]을 증착하고 RTA 방식으로 후속 열처리[열처리온도:550~$650^{\circ}C$]를 실시하여 직 경 0.2mm 소자의 FECApps(ferroelectric cappacitors)를 제작하였다. 증착된 ppZT 박막을 강 유전성 pperovskite 결정상으로 만들기 위해 ppZT 박막의 열처리조건을 연구하였으며, 열처리 방식에 따른 ppZT 박막의 결정특성(상형상, 형상관찰, 성분분석 등)과 커패시터 소자의 전기 적 특성($\varepsilon$r,tan$\delta$,pp-E hysteresis curves, 누설전류 등)을 비교, 분석하였다.

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절연막이 후 열처리가 Metal/Ferroelectric/Insulator/Semiconductor 구조의 전기적 특성에 미치는 영향 (Effects of the Post-annealing of Insulator on the Electrical Properties of Metal/Ferroelectric/Insulator/Semiconductor Structure)

  • 원동진;왕채현;최두진
    • 한국세라믹학회지
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    • 제37권11호
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    • pp.1051-1057
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    • 2000
  • TiO$_2$와 CeO$_2$박막을 Si 위에 증착한 후 MOCVD법에 의해 PbTiO$_3$박막을 증착하여 MFIS 구조를 형성하였다. 절연층의 후열처리가 절연층 및 MFIS 구조의 전기적 특성에 미치는 영향을 관찰하기 위해 산소분위기와 $600^{\circ}C$~90$0^{\circ}C$의 온도범위에서 후 열처리를 행하였고, C-V 특성 및 누설전류 특성을 분석하였다. CeO$_2$와 TiO$_2$박막의 유전상수는 증착 직후 6.9와 15였으며, 90$0^{\circ}C$ 열처리를 행한 후 약 4.9와 8.8로 감소하였다. 누설전류밀도 역시 증착 직후 각각 7$\times$$10^{-5}$ A/$ extrm{cm}^2$와 2.5$\times$$10^{-5}$ A/$\textrm{cm}^2$에서 90$0^{\circ}C$ 열처리를 거친 후에 약 4$\times$$10^{-8}$ A/$\textrm{cm}^2$와 4$\times$$10^{-9}$ A/$\textrm{cm}^2$로 감소하였다. Ellipsometry 시뮬레이션을 통해 계산된 계면층의 두께는 90$0^{\circ}C$에서 약 115$\AA$(CeO$_2$) 및 140$\AA$(TiO$_2$)까지 증가하였다. 계면층은 MFIS 구조에서 강유전층에 인가되는 전계를 감소시켜 항전계를 증가시켰고, charge injection을 방지하여 Al/PbTiO$_3$/CeO$_2$(90$0^{\circ}C$, $O_2$)/Si 구조의 경우 $\pm$2 V~$\pm$10 V의 측정범위에서 memory window가 계속 증가하는 것을 보여주었다.

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유전형질이 동일한 전라도지역 닥나무의 펄프제지 자원으로써의 특성 (Characteristics as Pulp and Papermaking Resources of Paper-mulberry (B. kazinoki) woods in Jeolla-do Region with Identically Genetic Marker)

  • 조아현;고인희;장경주;박규태;박선미;박선주;정선화
    • 한국자원식물학회:학술대회논문집
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    • 한국자원식물학회 2019년도 춘계학술대회
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    • pp.67-67
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    • 2019
  • 뽕나무과(Moraceae) 닥나무속(Broussonetia)의 품종에 대한 국내 연구동향으로는 잎의 성상이나 암꽃의 포길이, 엽신의 폭과 같은 수목학 분수학적 관점으로 특징을 파악하기 때문에 구분이 어려운 실정이다. 또한 닥나무(Broussonetia kazinoki Siebold)와 꾸지나무[Broussonetia papyrifera (L.) $L^{\prime}H{\acute{e}}r.$ ex Vent.]의 수목학적 특징이 유사하여 오동정의 사례가 발생하기도 한다. 닥나무의 향명은 다양하게 불리지만 그 분류기준은 명확하지 않다. 본 연구에서는 총 4개 마커(ITS, matK, trnL-F, ndhF)의 염기서열 분석과 분자계통학적 분류를 통해 닥나무와 꾸지나무의 교잡종으로 확인된 전라도지역 닥나무 8개체에 대하여 펄프제지 자원으로써의 특성을 확인하였다. 8개체 인피섬유의 형태학적 특징인 섬유장, 섬유폭, 섬유 내강(Lumen)폭을 통해 Runkel ratio, Slenderness ratio, Flexibility coefficient, Rigidity coefficient를 도출하고 종이의 기계적 강도, 내절도와의 상관관계, 섬유와 섬유간의 결합력 등을 예측하였다. 상기와 같은 연구결과는 유전형질이 동일한 전라도지역 닥나무의 형태학적 특성을 통해 펄프제지 공정에 영향을 미칠 수 있는 인자들을 분석 하였다. 이러한 특성에 따라 다양한 품질의 종이를 제조 할 수 있는 기초 자료로 제공될 것이다.

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유전체 시대에 반수체 육종의 재발견 (Rediscovery of haploid breeding in the genomics era)

  • 이슬기;김정선;강상호;손성한;원소윤
    • Journal of Plant Biotechnology
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    • 제43권1호
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    • pp.12-20
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    • 2016
  • DNA 염기서열 분석기술의 진보는 많은 근본적인 생명현상을 이해하는데 기여해왔다. 유례없는 저비용에 염기서열을 대량으로 분석을 할 수 있게 되어 단일 규모의 실험실에서도 관심이 있는 종의 신규유전체를 해독할 수 있다. 게다가 유전집단의 전체 염기서열을 편향되지 않은 채 분석하여 무수한 분자마커를 발굴할 수 있게 됨에 따라 집단유전학 연구도 두드러지게 가속화되어 왔다. 그러나 식물의 유전체가 이형접합성, 반복염기서열, 배수성과 같은 복잡한 특성이 있다는 것을 고려해 볼 때 기술이 매우 빠르게 진화함에 따라 적절한 개체 혹은 집단을 확보하는 것이 식물 연구에서 주요한 문제가 되었다. 이러한 난제는 오래되었지만 매우 효율적인 기술인 반수체 육성을 통하여 극복될 수 있을 것이다. 정상적인 개체가 갖는 염색체의 절반을 보유하는 반수체 식물은 주로 자방이나 화분과 같은 배우체 세포를 배양함으로써 빠르게 구축될 수 있다. 뒤이은 반수체 식물의 염색체 배수화는 완벽한 동형접합성을 보이는 안정된 배가반수체를 만든다. 본 논문에서는 반수체 식물을 육성하고 판별하기 위한 고전적인 방법론을 요약할 것이다. 게다가 동원체의 히스톤을 후성적으로 조절함으로써 반수체를 유도하는 방법을 설명할 것이다. 마지막으로, 유전체 시대에 반수체 식물의 활용 방안을 유전체 해독과 집단 유전학의 측면에서 논의할 것이다.

소결 조건이 스크린 인쇄법으로 제조한 PZT계 후막의 물성에 미치는 영향 (Effect of Sintering Conditions on Properties of PZT-based Thick Films Prepared by Screen Printing)

  • 이봉연;천채일;김정석;김준철;방규석;이형규
    • 한국세라믹학회지
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    • 제38권10호
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    • pp.948-952
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    • 2001
  • 스크린 인쇄법으로 알루미나 기판 위에 PZT 후막을 제조하였으며, 공기 또는 Pb 분위기의 $750{\sim}1050^{\circ}C$에서 1시간 동안 소결하여 소결 조건이 후막의 물성에 미치는 영향을 조사하였다. 공기 중에서 $950^{\circ}C$ 이상의 온도로 소결한 PZT 후막에는 파이로클로 상이 제 2상으로 존재하고 있었으며, Pb분위기에서 소결한 PZT 후막이 공기 중에서 소결한 후막보다 치밀한 미세구조와 큰 유전상수 그리고 잘 발달된 P-E 이력특성을 보였다. $900^{\circ}C$의 Pb 분위기에서 소결한 PZT 후막은 잘 포화된 전형적인 강유전 P-E 이력곡선 모양을 보였으며, 잔류분극과 항전계가 각각 $29.8{\mu}C/cm^2$, 48.4 kV/cm이었다.

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비납계 (Bi0.5Na0.5)TiO3-BaTiO3 강유전 세라믹 재료의 유전 및 압전 특성 (Dielectric and Piezoelectric Properties Of Lead-free (Bi0.5Na0.5)TiO3-BaTiO3 Ferroelectric Ceramics)

  • 국민호;김명호;조정아;성연수;송태권;배동식;정순종;송재성
    • 한국재료학회지
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    • 제15권11호
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    • pp.683-689
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    • 2005
  • The structural, piezoelectric and ferroelectric properties of $(1-x)(Bi_{0.5}Na_{0.5})TiO_3$ x=0.00, 0.02, 0.04, 0.06, 0.08, and 0.10) ceramics were investigated. A gradual change in the crystal and microstructures with tile increase of $BaTiO_3$ (BT) concentration was observed. The $(Bi_{0.5}Na_{0.5})TiO_3$ (BNT) samples show unusual properties as ferroelectric relaxer materials. We observed a phase transition in BNT solid solutions with BT having normal ferroelectric phase transition. At room temperature, BNT presents a single phase without the morphotropic phase boundary (MPB). In the case of samples doped with $4\~8 mol\%$ BT, rhombohedral-tetragonal MPB was formed and the piezoelectric properties were improved.

저 유전성 Mullite/Glass 복합체에 관한 연구 (Low dielectric mullite/glass composite)

  • 백용혁;김주영;강선명
    • 한국결정성장학회지
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    • 제9권6호
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    • pp.606-611
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    • 1999
  • Kaolin으로부터 합성한 mullite에 brosilicate계 유리를 혼합하여 기판재료로 적합한 저유전성 Mullite/Glass 복합체를 제조하였다. 유리를 첨가함으로써 액상소결에 의한 Cu, Au, Ag-Pd 등의 배선 사용이 가능한 저온에서 치밀한 소결체를 얻을수 있었다. 기판의 물성저하의 원이 되는 유리의 결정화는 나타나지 않았다. 소결온도 950~$1100^{\circ}C$의 범위에서 유리 50 wt%의 조성의 복합체에서 유전상수 약 5.2~5.4 (at 1 MHz), 열팽창을 5.3~$5.7{\times}10^{-6}{\cdot}^0C^{-1}$, , 꺾임강도 130 MPa로 high-performed substrate로서 적합한 특성을 나타내었다.

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디스플레이용 PDP의 X-ray에 대한 반응특성 평가

  • 윤민석;조성호;강상식;차병열;김소영;손대웅;허승욱;남상희
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2007년도 하계학술대회 논문집 Vol.8
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    • pp.531-531
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    • 2007
  • 현재 널리 사용되고 있는 X선 영상 검출기의 문제점을 해결하기 위해 새로운 연구가 활발히 진행되고 있다. 본 논문에서는 새로운 X선 검출기로써의 가능성 제시를 위해 Display용 PDP(Plasma Display panel)를 디지털 X-ray Detector로 적용하기 위한 기본적인 X-ray에 대한 반응성을 검증하였다. PDP의 X-ray Detector로의 사용 가능성을 보기 위하여, 실험에 사용된 panel은 상용화된(commercial) Display용 PDP의 기본적인 구조와 똑같은 구조의 sample을 제작하여 사용하였다. 제작된 panel은 상판에 Substrate glass와 유전체층, 투명전극을 형성하고, 버스 전극층과 MgO층을 형성하였다. 하판에는 격벽을 제작하고 형광체(R.G.B)층을 형성하고, 어드레스 전극을 형성하여 기존의 Display용 PDP와 똑같은 구조를 지니게 하였다. 이렇게 제작된 panel의 X-선 검출기로서의 전기적 특성물 조사하기 위해 누설전류(Dark current), X선 민감도(X-ray sensitivity), 그리고 선형특성(Linearity)을 측정하였다. 측정 결과, 누설전류가 낮고 X-선 검출기로서의 가능성이 충분한 민감도를 보이며, 선형적 특성 또한 우수한 결과를 보이는 등 안정된 전기적 동작특성을 보였다. 이러한 결과로부터 기존에 사용되어오던 디스플레이용 PDP의 구조적 변경을 통하여 상용화된 PDP룰 디지털 X-선 검출기로서의 적용 가능성을 확인할 수 있었다.

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유기 강유전 박막의 종이기판 응용가능성 검토 (Experimental study on the Organic Ferroelectric Thin Film on Paper Substrate)

  • 박병은
    • 한국산학기술학회논문지
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    • 제16권3호
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    • pp.2131-2134
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    • 2015
  • 본 논문에서는 종이를 기판으로 사용하고 용액공정이 가능한 강유전체 메모리 소자의 제작 가능성을 검토하였다. 유기물 강유전체인 "폴리비닐리덴트리플루오르에틸렌" 용액을 하부전극이 형성된 종이기판 위에 스핀코핑 방법을 이용하여 도포하였다. 하부전극으로는 진공증착법을 이용하여 알루미늄을 증착하였고, 도포된 "폴리비닐리덴트리플루오르에틸렌" 용액은 열처리 과정을 통해 결정화하였다. 제작된 "폴리비닐리덴트리플루오르에틸렌" 박막은 주사 전자 현미경법(SEM), 원자간력 현미경(AFM)을 이용하여 박막의 단면 및 표면의 특성을 평가하였다. 전압에 따른 분극특성 측정을 통해, 종이기판 위에 형성된 "폴리비닐리덴트리플루오르에틸렌" 박막이 매우 훌륭한 강유전체 특성을 보여주고 있음을 확인하였다. 또한, 종이기판의 응용가능성을 검토하기 위하여, 실리콘 기판위에 제작한 "폴리비닐리덴트리플루오르에틸렌" 박막과의 비교에 있어서도 손색없는 강유전체 특성을 보여주고 있음을 알 수 있었다. 이러한 결과들은 종이를 기판으로 이용하여 전자소자들을 제작 할 수 있음을 시사하며, 또한 용액공정으로 고밀도의 저렴한 강유전체 메모리 소자를 손쉽게 제작 할 수 있다는 것을 의미한다.

Fluorine 함유 Glass Ceramics를 이용한 저온 소결기판 제조 및 기판의 특성 평가 (Manufacture and Characterization of Low Firing Temperatur Substrate using Glass Ceramics with Fluorine)

  • 강원호
    • 마이크로전자및패키징학회지
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    • 제3권2호
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    • pp.27-38
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    • 1996
  • Lithium fluorhectorite 결정상을 함유한 glass ceramics 분말의 형성과 제조된 glass ceramics 분말을 이용한 저온 소결기판의 특성평가를 하였다. Li2O-MgO-MgF2-SiO2 계 유 리로 핵형성 및 결정 성장을 실시하여 lithium fluorhectorite 결정상을 지닌 glass ceramics 를 제조하였다. 유리시편의 핵형성 온도는 46$0^{\circ}C$였고 결정성장온도는 600, 640, 110$0^{\circ}C$에서 나타났다. $600^{\circ}C$에서의 결정상으 Li2.4LiSi4O10F2가 나타났다. Li2.4Mg8LiSi4와 Li2.8Mg0.6SiO4은 lithium fluorhectorite 결정상으로 되기 위한 중간상임을 확인할수 있었다. 64$0^{\circ}C$에서 열처리 후 110$0^{\circ}C$에서 재열처리하여 형성된 결정은 lithium fluorhectorite 와 tridymite가 최종 결정 상으로 나타났다. 이것은 수중에서 water swelling 현상에 의하여 분말화할 수 있었다, 기판 제조용 slurry를 제조하기 위해 glass ceramics 분말에 Al2O3분말을 0,25,50wt%로 혼합한것 과 glass ceramics 분말에 potashborosilica-te glass 분말을 15, 30, 45, 60 wt% 로 배합하 여 doctor blade 법으로 green sheet를 제조하였다. green sheet 는 950~150$0^{\circ}C$로소성하여 기판의 특성을 평가하였다. 겉보기 기공율은 3.06~19,14%이었고, 전기적 특성으로 유전상수 는 3~5(100KHz)를 나타내었다.