Journal of the Microelectronics and Packaging Society (마이크로전자및패키징학회지)
- Volume 3 Issue 2
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- Pages.27-38
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- 1996
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- 1226-9360(pISSN)
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- 2287-7525(eISSN)
Manufacture and Characterization of Low Firing Temperatur Substrate using Glass Ceramics with Fluorine
Fluorine 함유 Glass Ceramics를 이용한 저온 소결기판 제조 및 기판의 특성 평가
Abstract
Lithium fluorhectorite 결정상을 함유한 glass ceramics 분말의 형성과 제조된 glass ceramics 분말을 이용한 저온 소결기판의 특성평가를 하였다. Li2O-MgO-MgF2-SiO2 계 유 리로 핵형성 및 결정 성장을 실시하여 lithium fluorhectorite 결정상을 지닌 glass ceramics 를 제조하였다. 유리시편의 핵형성 온도는 46
Keywords