본 연구는 반도체 기판 히팅 장치의 새로운 구조에 관한 것으로 기판의 바닥면에 밀착된 가열 플레이트층의 직접가열 구조에 따른 빠른 열 응답성 및 열손실 최소화를 이룰 수 있다. 또한 가열 플레이트층에 내장된 히팅 수단인 시즈히터의 접촉면적을 늘려 가열 유효면적 증가와 같은 효과를 갖는다. 이를 위해 감광막이 코팅된 기판과, 상기 기판의 바닥면에 밀착되는 가열 플레이트층, 절연 및 열손실을 최소화하기 위해 상기 가열 플레이트층의 바닥면에 밀착되는 운모층, 상기 운모층의 하부에 밀착되어 바닥 플레이트층으로 이루어지되, 상기 가열 플레이트 층은 바닥면 전체에 걸쳐 연속되는 홈부를 형성하고, 상기 홈부로는 기판을 가열하기 위한 시즈히터가 삽입되어 구성된다. 새로운 기판 히팅 구조를 사용하여 시간 경과에 따른 가열 플레이트의 온도 변화를 확인 한 결과, 간접가열방식인 기존 방식에 비해 약 40 %의 전력 절감효과가 있는 것으로 확인 되었다.
Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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2014.02a
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pp.154.2-154.2
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2014
작은 동전 모양의 게터를 사용하여 간단한 초고진공용 펌프를 제작하여 그 특성을 알아보았다. 이 게터는 대기 측에서 진공용기를 가열하여 금속 열전도를 통하여 활성화되도록 하였으며 상용 게터펌프(또는 이온펌프와의 조합)와도 그 진공성능을 비교하여 보았다. $350^{\circ}C$에서 24시간 활성화 한 후 수소의 배기속도는 약 200 l/s였으며 CO의 배기속도는 매우 낮았다. 그러나 최고 도달진공도는 ~2E-11 mbar로 상용 조합펌프와 견줄 만하였다. 이 실험 결과로부터 간접가열방식으로 적용 가능한 최대 활성화 온도에서 네그펌프가 안전히 활성화 되지 않음을 알 수 있었다. 그러나 네그펌프의 자체 기체방출이 매우 작아서 수소를 주로 배기하는 초고진공, 극고진공에서는 응용 가능할 것으로 보인다.
Proceedings of the Korean Institute of Information and Commucation Sciences Conference
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2003.10a
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pp.805-808
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2003
기존에 적용중인 유전가열 합성수지 접착기술의 경우 진공관 소자를 사용하여 10MHz 대역 이상의 스위칭 주파수를 사용하고, 유전손실이 비교적 높은 PVC 소재에 제한적으로 적용해 왔다. 다른 합성수지 소재에 비해서 유전손실이 낮은 친환경적인 소재에 대해서는 적용이 어려운 기술인 관계로 최근들어 부각되는 친환경적 소재의 적용 확대로 인하여 기존 유전가열 방식의 접착기술은 한계에 접하고 있다. 본 논문에서는 고주파 유도가열 관련 기술을 응용하여 친환경적인 합성소재의 직접가열의 문제점을 간접가열에 의한 온도제어를 적용하여 고주파 유도가열 접착기를 설계하였다.
Proceedings of the Korean Institute of IIIuminating and Electrical Installation Engineers Conference
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2008.05a
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pp.227-230
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2008
본 논문은 알칼리토금속계인 마그네슘 등의 수화 반응에 수반되는 반응열과 전기화학적 작용을 이용하여 버너와 같은 화기를 이용하지 않고 야외에서 생수 등을 간접가열 하여 커피, 컵라면, 분유, 피자등의 음식을 가열 할 수 있는 발열제품을 개발하는 데이터를 얻었다. 마그네슘과 금속계 화합물을 혼합하여 tea bag에 넣어 셀 형태로 만들어 발열효과를 높이기 위해 특수시험관의 재질 및 두께의존성, 발열제 양과 혼합물질에 따른 온도특성 등을 확인하였다. 발열제에서 발생되는 열의 효율적인 전달과 포장 재질의 선정 및 휴대의 간편성 등을 고려하여 타당성을 검증하였다.
구름의 몬순의 활동에 있어서 직접적으로나 간접적으로 영향을 준다. 본 연구에서는 이러한 구름이 몬순의 활동에 어떠한 영향을 주는지를 알아보기 위해 ISCCP 구름자료와 GAME 재분석 자료를 입력자료로한 장파 복사 모델을 수행하였다. 모델 수행의 결과로 얻어진 대기 상부에서의 플럭스는 CERES 관측치와 비교하였으며, 구름에 의한 가열율은 몬순활동을 해석하기 위해 사용하였다. 구름이 몬순에 끼치는 영향을 파악하기 위해 맑은 대기의 가열율과 구름을 포함한 평균 대기의 가열율의 차이를 구하였으며, 이를 수평과 연직분포의 관점에서 해석하였다. 가열율의 지리적 분포는 수평적으로는 인도양에서 장파 복사 가열율의 최대가 나타났으며, 가열의 최저 (냉각)은 티벳고원에 나타났다. 이러한 공간적 분포는 구름이 남북방향으로 차등가열을 유발시키고 있음을 보여주고 있어 구름의 분포가 열적인 몬순순환을 강화시켜주고 있음을 시사하고 있다. 이러한 차등가열의 강화는 동서방향으로도 나타나 구름이 동서방향 순환에도 영향을 줄 수 있음을 보여준다. 구름에 의한 복사 가열의 연직구조는 운정에 의한 냉각과 운저에 의한 가열이 일어날 수 있음을 보여주고 있으며, 이로 인해 대기의 불안정성이 높아져 연직 운동을 향상시킬 수 있는 역할을 하고 있음이 밝혀졌다. 즉 몬순순환에 의해 생성된 구름은 구름 생성의 원인이 되었던 순환을 더욱 강화시키고 있음을 보이고 있다.
Kim, Jeong-Woo;Jung, Kwang-Soo;Jeon, Min-Joon;Lee, Kyu-Joon
Proceedings of the Korean Society of Propulsion Engineers Conference
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2010.11a
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pp.115-118
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2010
2 Types of heater (Vitiated Type, Clean Air Type) in order to increase the temperature for a test are used for industry. In this report, large capacity clean air type heater was designed. Heater capacity and LNG consumption rate can be calculated by the air mass flow and heater inlet/outlet temperature. The heater is composed by Burner, Furnace, Heat Exchanger, and Stack. The hot air from the burner and cold air from the tube inlet exchange their heat indirectly in the heat exchanger, so the desired temperature can be achieved at the exit of the tube.
Journal of the Korea Institute of Information and Communication Engineering
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v.7
no.7
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pp.1533-1538
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2003
The present technology of dielectric heating welding for synthetic resin sheet has a switching frequency over 10MHz by using vacuum tube elements, and has restrictively been applied to PVC whose dielectric loss is comparably high. The technology, however, has a difficulty in applying to materials which are made for environment and have low dielectric lose compared with other synthetic resin materials. Recently, the application of materials made for environment is increased so that the technology is faced with the limit. In this paper, a high frequency induction heating welder for synthetic resin sheet is designed applying temperature control by indirect heating to solve the problems about direct heating synthetic resin made for environment.
Journal of the Korean Society of Manufacturing Process Engineers
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v.8
no.1
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pp.37-42
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2009
This paper describes the fuel oil characteristics of mulching waste vinyl by indirect heating emulsion system. For the emulsion experiment of waste vinyl, the system is composed of melting furnace, the 1th pyrolysis furnace, and the 2nd pyrolysis furnace. The mulching waste vinyl is used for the fuel oil characteristics analysis of mulching waste vinyl. The refined oil, gasoline, and diesel oil are extracted and quantified to analysis the fuel oil characteristics. From the results of experiments, it has been shown that the production of fuel oil from mulching waste vinyl is possible using the emulsion system.
The base asphalt mixtures that used the waste recycle asphalt correcting from the four different overlay construction sites in Seoul city were made using the foamed asphalt method. The sample mixtures were made in different ratio of the recycle asphalt and new asphalt material and the performance of the mixtures of the different ratio was investigated in the laboratory. The laboratory tests includes the Marshall test, the indirect tensile test, the resilient modulus test, the creep test and the wheel tracking test. The test of the recycle foamed asphalt mixtures(RFA) were compared with the those of the recycle hot mix asphalt(RHA) mixtures. The performance of the RFA is comparable to that of the RHA. On the other hand, the indirect tensile strength of the RFA in dry condition is lower than that of RHA and the indirect tensile strength of the RFA in wet condition is much lower than that of the RHA.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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