Characteristics of $TiO_2$ Thin Film by R.F. Magnetron Sputtering of $TiO_2$ Target
(R.F. 마그네트론 스퍼터링에 의해 증착된 $TiO_2$ 박막의 특성)
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- Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference
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- 2002.10a
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- pp.116.1-116
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- 2002