• 제목/요약/키워드: $SF_{6}$ molecular gas

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SF6분자가스의 압력 의존도 (The Dependence on the Gas Pressure in SF6 Molecular Gas)

  • 전병훈
    • 한국전기전자재료학회논문지
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    • 제20권9호
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    • pp.816-820
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    • 2007
  • We measured the electron drift velocity, W, in 0.5% $SF_6-Ar$ mixture over the E/N range from 30 Td to 300 Td and gas pressure range from 0.1 to 0.5 Torr by the double shutter drift tube with a variable drift distance, and calculated over the same E/N and gas pressure range by using the two-term approximation of the Boltzmann equation. The measured and calculated values at different gas pressure at each E/N was appreciable dependence in the results on the gas pressure.

$SF_{6}$-Ar혼합가스에서의 압력 의존도 해석 (The analysis of dependence on the gas number density in $SF_{6}$-Ar mixtures)

  • 전병훈;하성철
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2002년도 하계학술대회 논문집
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    • pp.248-251
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    • 2002
  • We measured the electron drift velocity, W, in 0.5% $SF_{6}$-Ar mixture over the E/N range from 30 Td to 300 Td and gas pressure range from 0.1 to 8 Torr by the double shutter drift tube with a variable drift distance. This coefficient in the mixture was calculated over the same E/N and gas pressure range by using the two-term approximation of the Boltzmann equation. And the measured and calculated values at different gas number density at each E/N was appreciable dependence in the results on the gas number density,

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전자산업 배출 불화가스 회수를 위한 탄소분자체 분리막의 기체분리 연구 (Study on the Gas Separation of Carbon Molecular Sieve (CMS) Membrane for Recovering the Perfluorocompound Gases from the Electronics Industry)

  • 정수정;임주환;한상훈;고형철;하성용
    • 멤브레인
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    • 제26권3호
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    • pp.220-228
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    • 2016
  • 비용매 유도 상분리(NIPS) 법으로 제조된 폴리이미드 전구체를 이용하여 탄소분자체 중공사 분리막을 제조하였으며, 온도변화에 따른 열처리 조건이 탄소분자체 중공사막의 기체 분리 특성에 미치는 영향을 고찰하였다. 열처리 온도 $250{\sim}450^{\circ}C$에서 승온 속도, 안정화 시간을 조정하여 최적화 하였을 때, 중공사 분리막의 단일기체 $N_2$, $SF_6$, $CF_4$ 투과도는 각각 20, 0.32, 0.48 GPU이었고, $N_2/SF_6$ 선택도는 62, $N_2/CF_4$ 선택도는 42로 가장 높은 값을 나타내었다. $SF_6/CF_4/N_2$ 혼합기체 평가에서는 0.5 MPa에서 stage cut이 0.2일 때, $SF_6$, $CF_4$ 회수율이 각각 99, 98% 이상으로 높게 나타났고, 농축농도는 stage cut 0.8에서 주입농도의 4.5배 이상이었다. 이로부터 제조된 탄소분자체 중공사 분리막은 불화가스 회수용 분리막으로써 우수한 소재임을 확인할 수 있었다.

sII $SF_6+H_2$ 하이드레이트의 분자 거동 (Molecular Behavior of $SF_6+H_2$ Structure II Hydrates)

  • 박다혜;이보람;사정훈;;이건홍
    • 한국신재생에너지학회:학술대회논문집
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    • 한국신재생에너지학회 2011년도 추계학술대회 초록집
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    • pp.122.2-122.2
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    • 2011
  • Sulfur hexafluoride ($SF_6$), one of the most potent greenhouse gases, is known as a hydrate former and has been studied at the high pressure up to 1.3 GPa with gas mixtures and with aqueous surfactant. Since we regard $SF_6$ as a potential promoter molecule that can stabilize hydrate structure more effectively compare to the other promoters, further investigation is required to verify the stabilizing ability of $SF_6$ in the hydrate structure. However, the insoluble nature of $SF_6$ in water or gases hinders fine scale analyses. This work discusses the data obtained by using molecular dynamics simulations of structure II (sII) clathrate hydrates containing $SF_6$ and $H_2$. The simulations were performed using the TIP4P/Ice model for water molecule and a previously reported $SF_6$ molecular model (optimized at the pure $SF_6$ single phase system (Olivet and Vega, 2007)), and a $H_2$ molecular model (adapted from the THF+$H_2$ hydrate system (Alavi et al., 2006)). The simulations are performed to observe the stability of $SF_6$ and $H_2$ in the sII clathrate hydrate system with varying temperature and pressure conditions and occupancies of $SF_6$ and $H_2$, which cannot be easily tuned experimentally. We observe that stability of H2 enclathrated in the hydrate structure more affected by the occupancy of $SF_6$ molecules and temperature than pressure, which ranges from 1 to 100 bar.

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라만 분광학과 분자모델링을 이용한 메탄 및 육불화황 혼합 가스 하이드레이트 성장 거동 연구 (Raman Spectroscopy and Molecular Modeling Study on the CH4 and SF6 Mixture Gas Hydrate Growth Behavior)

  • 임준혁;이주동;박성수;엄기헌;원용선
    • 청정기술
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    • 제19권4호
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    • pp.476-480
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    • 2013
  • 라만 분광학과 분자 모델링을 이용하여 메탄과 육불화황의 혼합 기체 가스 하이드레이트의 성장거동을 연구하였다. 라만 분광학 결과에 의하면 메탄을 객체 가스로 사용할 경우 메탄이 물 분자로 이루어지는 가스 하이드레이트 호스트 구조 내의 큰 동공을 채우고 차례로 작은 동공이 채워지게 되는데 반하여 육불화황을 혼합한 경우 육불화황과 메탄이 경쟁적으로 큰 동공을 채우고 이어 작은 동공에는 메탄만 채워지는 방식으로 전체 가스 하이드레이트 구조가 안정화됨을 관찰하였다. 분자 모델링에 의한 결합에너지 계산 결과 큰 동공의 경우 육불화황은 -26.9 kcal/mol, 메탄은 -24.2 kcal/mol의 결합에너지를 보여 육불화황이 채워지는 것이 약간 더 안정함을 알 수 있었고 작은 동공의 경우 육불화황은 1.2 kcal/mol, 메탄은 -22.0 kcal/mol로 큰 크기의 육불화황이 작은 동공에는 채워질 수 없음을 보여주었다. 이와 같은 접근법은 향후 다양한 객체 기체 가스 하이드레이트의 성장거동을 예측하는데 적용될 수 있을 것이다.

볼츠만 방정식에 의한 C3F8분자가스의 전리 및 부착 계수에 관한 연구 (The Character of Electron Ionization and Attachment Coefficients in Perfluoropropane(C3F8) Molecular Gas by the Boltzmann Equation)

  • 송병두;전병훈;하성철
    • 한국전기전자재료학회논문지
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    • 제18권4호
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    • pp.375-380
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    • 2005
  • CF₄ molecular gas is used in most of semiconductor manufacture processing and SF/sub 6/ molecular gas is widely used in industrial of insulation field. but both of gases have defect in global warming. C₃F/sub 8/ gas has large attachment cross-section more than these gases, moreover GWP, life-time and price of C₃F/sub 8/ gas is lower than them, therefor it is important to calculate transport coefficients of C₃F/sub 8/ gas like electron drift velocity, ionization coefficient, attachment coefficient, effective ionization coefficient and critical E/N. The aim of this study is to get these transport coefficients for imformation of the insulation strength and efficiency of etching process. In this paper, we calculated the electron drift velocity (W) in pure C₃F/sub 8/ molecular gas over the range of E/N=0.1∼250 Td at the temperature was 300 K and gas pressure was 1 Torr by the Boltzmann equation method. The results of this paper can be important data to present characteristic of gas for plasma etching and insulation, specially critical E/N is a data to evaluate insulation strength of a gas.

레이저 여기된 기체분자들의 차가운 표면 응고저지 현상 (Cold Wall Condensation Retardation of Laser Excited Gaseous Molecules)

  • Kim Jae-U;Jeong Do-Yeong;Jeff W. Eerkens;William H. Miller
    • 한국광학회:학술대회논문집
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    • 한국광학회 2002년도 하계학술발표회
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    • pp.248-249
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    • 2002
  • The gaseous molecular condensation retardation by laser excitation has been known, but with limited success. Condensation inhibition between the gas phase molecules by laser excitation was clearly shown in many experiments.(1)-(2) However, surface condensation inhibition of the excited molecules has been controversial for the last several decades.(3)-(4) In 1994, S. J, Sibener and Y. T. Lee published an experimental evidence of the internal energy dependence of the surface condensation of gaseous $SF_{6}$ and $CCl_4$ molecules. (omitted)

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초음파 조영제의 합성 및 합성된 초음파 조영제의 특성 분석 (Synthesis of Ultrasound Contrast Agent: Characteristics and Size Distribution Analysis)

  • 이학종;윤태종;윤영일
    • Ultrasonography
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    • 제32권1호
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    • pp.59-65
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    • 2013
  • 목적: 본 연구는 초음파 조영제를 직접 합성하고 그 크기 및 소멸 시간 등의 특성을 분석하며, 기존의 초음파 조영제와의 영상을 비교하여 앞으로 초음파 조영제를 매개로 한 영상 유도 하 약물 및 유전자 치료제의 전달 시스템 구축의 기본을 갖추고자 한다. 대상 및 방법: 초음파 조영제는 21마이크로 몰의 DPPC(1, 2-Dihexadecanoyl-sn-glycero-3-phosphocholine, $C_{40}H_{80}NO_8P$), 9 마이크로 몰의 콜레스테롤, 1.9 마이크로 몰의 DCP(Dihexadecylphosphate, $[CH_3(CH_2)_{15}O]_2P(O)OH$) 및 클로로포름 및 SF6 기체를 이용하여 합성하였다. 약 12-24시간의 동결건조 후에 초음파 조영제는 SF6 기체와 초음파 처리(sonication) 법을 이용하여 합성하였고 그 초음파 조영제의 크기는 압출기를 이용하여 일정한 크기로 조정하였다. 합성된 초음파 조영제는 동적 광산란 측정법(dynamic light scattering measurement)을 이용하여 그 크기를 분석하였다. 한편 합성한 초음파 조영제의 소멸 양상을 평가하기 위하여 광학 현미경을 이용하여 그 숫자를 합성 직후, 12시간, 24시간, 36시간, 48시간, 60시간, 72시간 및 84시간 후에 평가하였다. 초음파 조영제로서의 효과를 평가하기 위하여 모형을 만들어 현재 임상적으로 사용되고 있는 초음파 조영제와 그 에코를 비교 분석하였다. 결과: 초음파 조영제는 동결건조-초음파 처리 방법을 통하여 성공적으로 합성 할 수 있었다. 합성된 초음파 조영제는 154.2 nm의 정점 (peak)에서 가장 많이 분포하였으며 합성 후 24시간부터는 입자의 숫자들이 감소하는 양상을 보였다. 소노뷰와 합성된 초음파 조영제의 에코밝기는 유의한 차이를 보이지 않았으나 소노뷰와 생리식염수 및 합성된 초음파 조영제와 생리식염수의 에코 밝기는 통계적으로 유의한 차이를 보였다 (p < 0.01). 결론: 본 연구를 통하여 초음파 조영제를 직접 합성할 수 있는 방법을 습득할 수 있었고 그 크기 및 특성을 분석할 수 있었다.