• Clean Technology
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• v.10 no.1
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• pp.47-51
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• 2004

현재 반도체 공정에서 사용되는 세정기술은 대부분이 1970년대 개발된 RCA 세정법인 과산화수소를 근간으로 하는 습식 세정으로, 표면의 입자를 제거하기 위한 SC-1 세정액은 강력한 산화제인 과산화수소에 의한 표면과 입자의 산화와 암모니아에 의한 표면의 에칭이 동시에 일어나 입자를 표면으로부터 분리시킨다. 금속 불순물을 제거하기 위한 SC-2 세정액은 염산과 과산화수소 혼합액을 사용하며 금속 불순물을 용해시켜 알칼리나 금속 이온을 형성하거나 용해 가능한 화합물을 형성시켜 제거한다. 또한 황산과 과산화수소를 혼합한 Piranha 세정액은 효과적인 유기물 제거제로서 웨이퍼에 오염된 유기물을 용해 가능한 화합물로 만들거나 과산화수소에 의해 형성되는 산화막내에 오염물을 포함시켜 불산 용액으로 산화막을 제거할 때 함께 제거된다. 최근 금속과 산화막을 동시에 제거하기 위해 희석시킨 불산에 과산화수소를 첨가한 세정공정이 사용되고 있으며 불산에 의해 표면의 산화막이 제거될 때 산화막내에 포함된 금속 불순물을 동시에 제거시킬 수 있다. 그러나 이와 같이 습식세정액 내에 공통적으로 포함되어 있는 과산화수소의 분해는 그만큼 가속화되어 사용되는 화학 약품의 양이 그만큼 증가하게 되고 조작하기 어려운 단점도 있다. 이를 해결하기 위해 환경친화적인 관점으로 화학약품의 사용을 최소화하는 등 RCA세정을 보완하는 연구가 계속 진행되고 있다. 본 연구에서는 RCA세정법을 환경적으로 대체할 수 있는 세정에 사용되는 전리수의 pH변화에 따른 전리수 분석을 하였다. 전리수의 제조를 위하여 전해질로는 NH4CI (HCI:H2O:NH4OH=1:1:1)를 사용하였다. pH 11 이상, ORP -700mV~-850mV인 환원수와 pH 3 이하, ORP 1000mV~1200mV인 산화수를 제조하였으며, 초순수를 첨가하여 pH 7.2와 ORP 351.1mV상태까지 조절하였다. 이렇게 만들어진 산화수와 환원수를 시간 변화와 pH 변화에 따라 Clean Room 안에서 FT-IR과 접촉각 측정기로 실험하였다. FT-IR분석에서 산화수는 pH가 높아질수록, 환원수는 낮아질수록 흡수율이 낮아졌다. 접촉각 실험에서는 산화수의 pH가 높아질수록 환원수의 pH가 낮아질수록 접촉각이 커짐을 확인하였다. 결론적으로 전리수를 이용하여 세정을 하면, 접촉성을 조절할 수 있어 반도체 세정을 가능하게 할 수 있으며, 환경친화적인 결과를 도출할 것으로 전망된다.

• Journal of Korean Ophthalmic Optics Society
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• v.9 no.1
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• pp.173-180
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• 2004

This study aims to investigate the effects of hydrogen peroxide and grapefruit seed extract used as a chemical and natural disinfectants on human conjunctival cells in vitro. The main component of grapefruit seed extract is a narigin. It is one of the flavonoid types in citrus fruits and f1avonoids are widely recognized as naturally occurring(삭제) antioxidants. Cytotoxicity was determined by mitochondrial activity(MTT assay) and DNA damage was analyzed by measuring Comet assay. In LDH assay, 5% of grapefruits seed extract has been observed as a material is giving recovery effect of damaged cultured conjuctival cells by hydrogen peroxide. And also, each of concentrations has been treated simultaneously with same amounts and cytotoxicity of hydrogen peroxide and grapefruit seed extract have been estimated by LDH leakage assay after 24 hours. In conclusion, H2O2-induced cytotoxicity, apoptosis were Significantly prevented by grapefruit seed extract. It is a main component of bioflavonoids that we can simply take it as food. The present results suggest that grapefruit seed extract is a useful disinfectanct having antioxidant and antiapoptopic activity as a natural product.

• Proceedings of the Korean Society of Propulsion Engineers Conference
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• 2009.05a
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• pp.49-52
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• 2009

The response times of monopropellant thrusters at a pulse mode were investigated experimentally as design parameters and feed pressure conditions. Five different model thrusters as injection direction/uniformity, aspect ratio of reactor, volumes of manifold and chamber were designed. As a results, two parameters, aspect ratio and manifold volume, were directly related to response characteristics. Additionally, chugging instability at reaction chamber was observed when pressure drop across the catalyst bed was increased due to high aspect ratio or when low pressure was built at reaction chamber.

• Proceedings of the Korean Society of Propulsion Engineers Conference
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• 2009.05a
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• pp.41-45
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• 2009

The small-sized bi-propellant thruster using a high concentrated hydrogen peroxide and kerosene as the oxidizer and fuel was designed and fabricated in this study. The water cold-flow test was performed to verify the performance characteristics of the injector. The mixing head assembly used in this model thruster was designed as a structure to combine igniter, injectors and film cooling, which are capable of regulating each mass flowrate. This maximize the experimental verification and efficiency of the design optimization. Finally, the mass flowrate and spray pattern of injector were evaluated by the hydraulic test. Therefore, the design validity of the mixing head was verified.

• Proceedings of the Membrane Society of Korea Conference
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• 1996.06a
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• pp.149-153
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• 1996

반도체 소자 제조 공정이 고 집적화 됨에 따라 습식 세정방법에 의한 세정공정의 중요성이 더욱 증가 되어지고 있으며, 특히 그 중에서 전체 세정공정의 약 절반을 차지하고 있는 Deionised water에 의한 rinsing 공정의 경우 ultrapure water의 quality가 최근 지속적으로 향상이 되어짐에 따라 많은 발전을 자져 왔다. 일반적으로 Deionised water에 함유하고 있는 TOC(total oxidisable components), bacteria, metallic impurity, desolved oxygen cencentration, colloidal material impurity (예를 들면 Silica, oraganic substrate)등은 ultra pure water의 quality를 결정하는데 매우 중요한 factor로 작용하고 있으며, 이러한 불순물들이 반도체 제조공정중 wafer surface에 흡착되어 졌을때 여러형태의 defect들을 유발한다고 알려져 있다. 그러나 pseudommonas, flavobacterlum, alcaligene등의 기 얄려진 bacteria들의 경우 Deionised water를 supply해주는 배관의 Inner surface에 잘 흡착 되지만 고온의 water 혹은 과산화수소수($H_{2}O_{2}$) 를 이용하여 주기적으로 처리 해줌으로 인하여 이에 대한 문제점을 어느정도 최소화 시킬수 있다. 위의 두가지 방법중 전자의 경우 chemical을 사용하지 않고, 유지 및 관리가 간편하며, 용존산소량을 줄일수 있다는 점에서 장점이 있으나, 전 ultra pure water의 system이 열적으로 안정해야 하고 경제적인 문제가 수반하는 단점을 가지고 있다. 후자의 경우, 미량의 과산화수소수 (1~10,000 ppm)를 이용해 처리 해주는 방법의 경우 경제적으로 큰 장점이 있고, 처리가 단순하다는 장점이 있으나 과산화수소수 자체에 포함하고 있는 높은 impurit level, 그리고 처리후 장시간의 flushing time을 가져야 한다는 단점등이 존재 하고 있다.

• Proceedings of the Korean Society of Propulsion Engineers Conference
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• 2010.05a
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• pp.95-98
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• 2010

A multi-injector rocket engine using high concentrated hydrogen peroxide and kerosene as the oxidizer and fuel was designed and fabricated. Six coaxial swirl injectors were mounted on the mixing head and flow analysis in the manifold was performed to minimize stagnation and recirculation zones. Finally, uniformity of mass flow rate and spray pattern was evaluated by cold flow tests and the mixing head design process was successfully verified the results.

• Proceedings of the Korean Society of Propulsion Engineers Conference
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• 2010.05a
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• pp.81-84
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• 2010

In this study, a coaxial swirl injector using hydrogen peroxide and kerosene was designed and combustion performance tests were performed to evaluate combustion characteristic according to mixture ratio. Spray characteristic of the injector was verified by cold flow test and combustion performances according to mixture ratio were evaluated by the characteristic exhaust velocity. Test results showed that the combustion efficiency at the design condition was about 95% and the pressure fluctuation was very small.

• Proceedings of the Korean Society of Propulsion Engineers Conference
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• 2012.05a
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• pp.129-132
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• 2012

In this study, combustion performance tests of a multi coaxial-swirl injector engine using hydrogen peroxide and kerosene as propellants were performed to evaluate combustion characteristic according to mixture ratio between 6.0 and 9.0 by criterion of designed(7.6). Combustion characteristics were evaluated by calculated characteristic exhaust velocity($c^*$) and pressure fluctuation. Test results showed that the combustion efficiency was over 90% and the pressure fluctuation was within 1%.

• Proceedings of the Korea Technical Association of the Pulp and Paper Industry Conference
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• 2001.04a
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• pp.63-70
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• 2001

Sodium persulfate, prestogen W, prestogen EB, citric acid 및 thiourea의 첨가에 따른 $H_2O_2$ 표백 효과가 연구되었다. Sodium persulfate(1%), Prestogen EB(15.0%)를 $H_2O_2$ 활성제로 첨가하여 표백할 경우 기존 $H_2O_2$ 표백(86.0% ISO)보다 표백 펄프의 백색도가 2-3% ISO 더 증가하였다. $H_2O_2$ 표백 후 thiourea를 첨가하여 표백하는 산화-환원 연속표백(87.9% ISO)에서도 $H_2O_2$ 표백 후 FAS로 2단 표백(88.3% ISO)을 한 경우와 비슷한 백색도를 나타내었다. 한편 표백 펄프의 인장지수, 파열지수 그리고 인열지수는 기존 표백 또는 Prestogen EB를 첨가할 경우 높고 sodium persulfate 첨가에서 가장 낮았다. 산화-환원 연속 표백된 펄프의 강도도 기존 $H_2O_2$ 표백보다 미세하게 낮았다.

• Journal of fish pathology
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• v.30 no.2
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• pp.107-114
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• 2017

We evaluated the anti-parasitic efficacy of hydrogen peroxide against a scuticociliate Miamiensis avidus in olive flounder Paralichthys olivaceus. In vitro tests showed that hydrogen peroxide above 50 mg/l is effective for killing M. avidus. In vivo effects were assessed in olive flounder after immersion infection with $2.8{\times}10^3M.\;avidus/ml$ for 2 days, and in naturally infected fish obtained from Jeju area farms. Bathing treatment with 100 and 200 mg/l hydrogen peroxide showed markedly higher survival rates of olive flounder than control groups (p<0.05). The number of live M. avidus in fish tissues were reduced for 3 days in naturally-infected fish after a single bath. In conclusion, hydrogen peroxide can be a good therapeutant particularly in the early stage of M. avidus infection.