• 제목/요약/키워드: $Mg_2SiO_4$

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초전형 적외선 센서를 위한 MgO(100)/$Si_3N_4/SiO_2/Si_3N_4$/Si 기판 제작 (Fabrication of MgO(100)/$Si_3N_4/SiO_2/Si_3N_4$/Si Substrate for Pyroelectric IR Sensor)

  • 김성우;성세경;류지열;최우창;최혁환;이명교;권태하
    • 센서학회지
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    • 제9권2호
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    • pp.90-95
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    • 2000
  • $Si_3N_4/SiO_2/Si_3N_4$/Si 판위에 MgO 박막을 성장하여 MgO 단결정과 결정배향성이 유사한 초전형 적외선 센서용 기판을 제작하였다. RF 마그네트론 스퍼터링법으로 MgO 박막을 성장하였고, 그 위에 Pt 하부전극과 PLT 박막을 성장시킨 후 c축 배향성을 조사하였다. $500^{\circ}C$의 기판온도와 30 mTorr의 분위기 압력 및 160 W의 RF power에서 성장된 MgO 박막이 단결정 MgO가 가지는 배향성 정도의 우수한 a축 배향성을 보였고, 그 위에 성장된 PLT 박막은 MgO 단결정 기판위에 성장된 것과 거의 회절강도 변화가 유사한 c축 배향성을 보였다.

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Cu(Mg) alloy의 표면과 계면에서 형성된 MgO의 확산방지능력 및 표면에 형성된 MgO의 전기적 특성 연구 (A study on Electrical and Diffusion Barrier Properties of MgO Formed on Surface as well as at the Interface Between Cu(Mg) Alloy and $SiO_2$)

  • 조흥렬;조범석;이재갑
    • 한국재료학회지
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    • 제10권2호
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    • pp.160-165
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    • 2000
  • Sputter Cu(1-4.5at.%Mg) alloy를 100mTorr이하의 산소압력에서 온도를 증가시키며 열처리하였을 때 표연과 계면에서 형성된 MgO의 확산방지막 특성을 살펴보았다 먼저, $Cu(Mg)/SiO_2/Si$ 구조의 샘플을 열처리했을 때 계면에서는 $2Mg+SiO_2{\rightarrow}2MgO+Si$의 화학반응에 의해 MgO가 형성되는데 이 MgO충에 의해 Cu가 $SiO_2$로 확산되는 것이 현저하게 감소하였다. TiN/Si 기판 위에서도 Cu(Mg)과 TiN 계면에 MgO가 형성되어 Cu(4.5at.%Mg)의 경우 $800^{\circ}C$까지 Cu와 Si의 확산을 방지할 수 있었다. 표면에 형성된 MgO위에 Si을 증착하여 $Si/MgO(150\;{\AA})/Cu(Mg)/SiO_2/Si$구조로 만든 후 열처리했을 때 $150\;{\AA}$의 MgO는 $700^{\circ}C$까지 Si과 Cu의 확산을 방지할 수 있었다. 표면에 형성된 MgO($150\;{\AA}$)의 누설전류특성은 break down 5V, 누설전류 $10^{-7}A/\textrm{cm}^2$의 값을 나타냈다. 또한 $Si_3N_4/MgO$ 이중구조에서는 매우 낮은 누설전류밀도를 나타냈으며 MgO에 의해 $Si_3N_4$ 증착시 안정적인 계면이 형성됨을 확인하였다.

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(Zn1-xMgx)2SiO4:mn 형광체의 제조와 발광특성 (Preparation and Luminescent Properties of (Zn1-xMgx)2SiO4:mn Phosphors)

  • 이지영;유일
    • 한국전기전자재료학회논문지
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    • 제22권5호
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    • pp.415-418
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    • 2009
  • $Zn_{2}SiO_{4}$:Mn green phosphors doped with Mg for PDP were synthesized by solid state reaction method. $Zn_{2}SiO_{4}$:Mn, Mg phosphors with increasing Mg concentration were changed from Rhombohedral to Orthorhombic structure. Photoluminescence intensity of $Zn_{2}SiO_{4}$:Mn phosphors doped with Mg 0.5 mol was definitely higher than that of Mg non-doped sample. The enhanced luminescence with doping Mg in the $Zn_{2}SiO_{4}$:Mn phosphors was interpreted by the increase of energy transfer from host to Mn ions with substitution Mg for Zn in the $Zn_{2}SiO_{4}$:Mn host.

$Mg_2SiO_4$ : Tb 소자의 기본 특성에 관한 연구 (A Study of Fundamental Characteristics for $Mg_2SiO_4$ : Tb Phosphor)

  • 박명환;박종삼;권덕문;이준일
    • 대한방사선기술학회지:방사선기술과학
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    • 제19권2호
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    • pp.79-83
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    • 1996
  • The thermoluminescence(TL) response in changing annealing condition, triboluminescence, and darkroom temperature for $Mg_2SiO_4$:Tb phosphor are examined. The experimental results are summerized as follows : 1. The uniformity of TL intensity is better In the disinfected $Mg_2SiO_4$ : Tb than in contaminated one. 2. The triboluminescence of $Mg_2SiO_4$ : Tb is almost not detected even if numbers of $Mg_2SiO_4$ : Tb falling are increased. 3. The fading effect of $Mg_2SiO_4$ : Tb is scarcely affected by freezing room. The followings are resulted from the study. The disinfected $Mg_2SiO_4$ : Tb phosphor should be used in the dose measurement and the immediate reading for $Mg_2SiO_4$ : Tb after exposure is better. And if the reading is not immediately taken, a law darkroom temperature for $Mg_2SiO_4$ : Tb storage is recommended.

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$BaWO_4$-$Mg_2$$SiO_4$세라믹스의 $CaTiO_3$첨가에 따른 고주파 유전특성 (Effect of $CaTiO_3$Additions on Microwave Dielectric Properties in $BaWO_4$-$Mg_2$$SiO_4$Ceramics)

  • 박일환;김경용;김병호
    • 한국세라믹학회지
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    • 제38권3호
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    • pp.280-286
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    • 2001
  • 10 이하의 저유전율을 갖는 (1-x)BaWO$_4$-xMg$_2$SiO$_4$(x=0.1~0.9) 세라믹스의 미세구조와 고주파 유전특성을 조사하였다. (1-x)BaWO$_4$-xMg$_2$SiO$_4$(x=0.1~0.9) 세라믹스는 정방정(tetragonal) 구조를 가진다. 0.1BaWO$_4$-0.9Mg$_2$SiO$_4$세라믹스는 BaWO$_4$$Mg_2$SiO$_4$의 상들이 공존하는 혼합상을 보였으며, $Mg_2$SiO$_4$가 이차사으로 형성된 것이 관찰되었다. 120$0^{\circ}C$~140$0^{\circ}C$에서 2시간 동안 소결된 (1-x)BaWO$_4$-xMg$_2$SiO$_4$(x=0.1~0.9) 세라믹스는 $\varepsilon$$_{r}$=6.37~8.21, Q.f=15000~99422 그리고 $ au$$_{f}$=73.9~48.9 ppm/$^{\circ}C$의 고주파 유전특성을 가졌다. $\tau$$_{f}$를 보정하기 위해, CaTiO$_3$(1,5 wt%)가 (1-x)BaWO$_4$-xMg$_2$SiO$_4$(x$\geq$0.9) 세라믹스에 첨가되었다. 135$0^{\circ}C$에서 2시간 동안 소결된 0.1BaWO$_4$-0.9Mg$_2$SiO$_4$+CaTiO$_3$(5 wt%) 세라믹스는 $\varepsilon$$_{r}$=7.3, Q.f=30532 그리고 $\tau$$_{f}$=-30 ppm/$^{\circ}C$의 고주파 유전특성을 얻었다. 얻었다.

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기계적 활성화된 분말로부터 고주파유도 가열 연소합성에 의한 나노구조 Mg2SiO4-MgAl2O4 복합재료 제조 및 기계적 특성 (Mechanical Properties and Fabrication of Nanostructured Mg2SiO4-MgAl2O4 Composites by High-Frequency Induction Heated Combustion)

  • 손인진;강현수;홍경태;도정만;윤진국
    • 대한금속재료학회지
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    • 제49권8호
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    • pp.614-618
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    • 2011
  • Nanopowders of MgO, $Al_2O_3$ and $SiO_2$ were made by high energy ball milling. The rapid sintering of nanostructured $MgAl_2O_4-Mg_2SiO_4$ composites was investigated by a high-frequency induction heating sintering process. The advantage of this process is that it allows very quick densification to near theoretical density and inhibition of grain growth. Nanocrystalline materials have received much attention as advanced engineering materials with improved physical and mechanical properties. As nanomaterials possess high strength, high hardness, excellent ductility and toughness, undoubtedly, more attention has been paid for the application of nanomaterials. Highly dense nanostructured $MgAl_2O_4-Mg_2SiO_4$ composites were produced with simultaneous application of 80MPa pressure and induced output current of total power capacity (15 kW) within 2min. The sintering behavior, gain size and mechanical properties of $MgAl_2O_4-Mg_2SiO_4$ composites were investigated.

$(Zn_{1-x}Mg_x)_2SiO_4$:Mn 형광체의 제조와 발광특성 (Preparation and Luminescent properties of $(Zn_{1-x}Mg_x)_2SiO_4$:Mn phosphors)

  • 이지영;유일
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2007년도 추계학술대회 논문집
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    • pp.392-393
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    • 2007
  • PDP용 녹색 $Zn_2SiO_4$:Mn 형광체의 발광특성과 결정성을 향상시키기 위해 co-dopant로 Mg를 첨가한 $(Zn_{1-x}Mg_x)_2SiO_4$:Mn 형광체를 합성하였다. 합성된 형광체의 발광특성을 PL로 조사한 결과, $Zn_2SiO_4$:Mn 형광체는 Mg의 농도에 관계없이 530nm에서 녹색 발광을 하였고, Mg의 농도가 0.5 mol%일 때 가장 높은 발광세기가 나타났다. 이것은 Zn과 이온반경이 비슷한 Mg가 치환되어 모체에서의 Mn으로의 에너지 전이가 증가하여 발광세기가 증가한 것으로 생각된다.

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불소운모 합성에 따른 $K_2O-MgO-Al_2O_3-SiO_2-MgF_2$계의 연구 (The Study of $K_2O-MgO-Al_2O_3-SiO_2-MgF_2$ System in Fluro-phlogopite Synthesis.)

  • 송경근;오근호;김대웅
    • 한국세라믹학회지
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    • 제20권1호
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    • pp.37-42
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    • 1983
  • An attempt was made to derive a possible synthetic mechanism of Fluoro-phlogopite (Mica, 4Mg.$Al_2O_3$.$6SiO_2$.$K_2O$.$2MgF_2$) The pevention of fluorine vaporization turned out to be the key in the synthesis of Mica in question.l Consequently the quinary system of Mica was seperately synthesized ; frist 4MgO.$Al_2O_3-6SiO_2$(ternary system) was sintered at 135$0^{\circ}C$ and $K_2O$ and $MgF_2$ were added and second 4MgO.$Al_2O_3-6SiO_2$.$K_2O$ (quarternary system) was heat-treated at 135$0^{\circ}C$ and $MgF_2$ was added. The ternary system resulted in Proto-enstatite Cordierite and Spinel phases while Forsterite and Leucite were shown in the quarternay system . In both methods Fluoro-phlogopite was systhesized but the solid state reactions to form Mica from the ternary system and the quarternary system were different. High temperature reactions in the formation of Mica were investigated employing XRD, DTA and SEM The study of the synthesis of Mica indirectly suggested a method of phase analysis of quinary system(MgO-$Al_2O_3-SiO_2-K_2O-MgF_2$) and quarternary system(MgO-$Al_2O_3-SiO_2-K_2O-MgF_2$) at various temperatures.

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저유전율을 갖는 $Mg_2$$SiO_4$-$ZnAl_2$$O_4$계 세라믹스의 $CaTiO_3$첨가에 따른 고주파 유전특성 (Effect of $CaTiO_3$Additions on the Microwave Dielectric Properties of $Mg_2$$SiO_4$-$ZnAl_2$$O_4$Ceramics with Low Dielectric Constant)

  • 박일환;김현학;김경용;김병호
    • 한국전기전자재료학회논문지
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    • 제13권12호
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    • pp.1017-1024
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    • 2000
  • Effect of the microwave dielectric properties and the microstructure on a mole fraction(x=0.1~0.9) of (1-x)Mg$_2$SiO$_4$-xZnAl$_2$O$_4$ ceramics was investigated. When (1-x)Mg$_2$SiO$_4$-xZnAl$_2$O$_4$(x=0.1~0.9) ceramics were sintered at 130$0^{\circ}C$, 135$0^{\circ}C$ and 140$0^{\circ}C$ for 2hr, the microwave dielectric properties were obtained $\varepsilon$r=6.8~8.3, Q.f$_{0}$=36000~77600. On the other hand, the temperature coefficients of resonant frequency($\tau$$_{f}$) were obtained in the properties of -62ppm/$^{\circ}C$ to -49ppm/$^{\circ}C$. In order to adjust the temperature coefficient of resonant frequency($\tau$$_{f}$), CaTiO$_3$was added in (1-x)Mg$_2$SiO$_4$-xZnAl$_2$O$_4$ceramics. 0.7Mg$_2$SiO$_4$-0.2ZnAl$_2$O$_4$-0.1CaTiO$_3$ceramics sintered at 135$0^{\circ}C$ for 2hr showed the excellent microwave dielectric properties of $\varepsilon$r=7.7, Q.f$_{0}$=32000, and $\tau$$_{f}$=-7.9 ppm/$^{\circ}C$.EX>.>.EX>.

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알루미나와 실리케이트 액상간의 반응에 따른 $CaO{\cdot}6Al_2O_3$ 상의 성장 및 용해 거동 (Growth and dissolution behavior of $CaO{\cdot}6Al_2O_3$ phase by reaction between alumina and silicate liquid phase)

  • 백용균;박상엽
    • 한국결정성장학회지
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    • 제5권3호
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    • pp.291-298
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    • 1995
  • 알루미나 고상소결체와 $CaMgSiO_4$간의 반응에 따른 반응상들의 성장 및 용해 거동을 $1600^{\circ}C$에서 열처리 시간을 변화하여 고찰하였다. 열처리시 알루미나는 $CaMgSiO_4$ 액상에 용융되어 중간에 반응상인 $CaO{\cdot}6Al_2O_3$와 최종 반응상인 $CaMgSiO_4$ 스피넬 형성이 관찰되었다. 중간상인$CaO{\cdot}6Al_2O_3$ 결정은 성장 모양과 용해 모양이 뚜렷하게 구분되었다.

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