Abstract
Usually, according as accumulation degree of semi-conductor element increases, dynamic mistake test time increases sharply, and use of pattern generator is essential at manufacturing process to solve these problem. In this paper, we designed the PLD(Programmable Logic Device) circuit of pattern generator to examine dynamic mistake of semi-conductor element. Such all item got result that is worth verified action of return trip and function through simulation, and satisfy.
일반적으로 반도체 소자의 집적도가 증가함에 따라 기능적 오류 검사 시간이 급격하게 증가하며, 이러한 문제를 해결하기 위해 제조공정에서 패턴 발생기의 사용은 필수적이다. 본 논문에서는 반도체 소자의 기능적 오류를 검사 하기 위한 패턴 발생기의 PLD(Programmable Logic Device) 회로를 설계하였다. 이러한 모든 사항은 시뮬레이션을 통하여 회로의 동작과 기능을 검증하였으며, 만족할만한 결과를 얻었다.
