Investigation of Electrical Coupling Effect by Random Dopant Fluctuation of Monolithic 3D Inverter

Monolithic 3D Inverter의 RDF에 의한 전기적 커플링 영향 조사

  • Published : 2022.05.26

Abstract

In this paper, effect of random dopant fluctuation (RDF) of the top-transistor in a monolithic 3D inverter composed of MOSFET transistors is investigated with 3D TCAD simulation when the gate voltage of the bottom-transistor is changed. The sampling for investigating RDF effect was conducted through the kinetic monte carlo method, and the RDF effect on the threshold voltage variation in the top-transistor was investigated, and the electrical coupling between top-transistors and bottom-transistors was investigated.

본 논문은 MOSFET 트랜지스터로 구성된 monolithic 3D 인버터의 구조에서 하부 MOSFET 게이트 전압의 변화에 따라서 상부 MOSFET 트랜지스터의 random dopant fluctuation(RDF) 영향을 3차원 소자 시뮬레이션을 통하여 조사하였다. RDF 영향 조사를 위한 표본화는 kinetic monte carlo 방식을 통하여 진행하였으며, RDF 영향이 트랜지스터의 임계전압 변동에 영향을 주는 것을 확인하였고, 상부 트랜지스터와 하부 트랜지스터 사이에 전기적 커플링을 조사하였다.

Keywords